日 期：2024年 11 月 27 日
招标编号：****
项目名称：硅刻蚀设备
****受****委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024年 11 月 27 日发布招标公告。本次招标采用国际公开招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1. 招标条件
1.1 项目概况：全新硅刻蚀设备1套 。
1.2 资金到位或资金来源落实情况:已落实。
1.3 项目已具备招标条件的说明：已具备。
2. 招标内容
2.1 项目实施地点：**市**区西园南街20号
2.2设备主要功能：
1)设备工艺腔室需求：至少满足2个CCP刻蚀工艺腔室+5个ICP刻蚀工艺腔室。
2)满足以下要求：单晶硅、多晶硅以及介质材料氮化硅、氧化硅、氮氧化硅、聚酰亚胺等的刻蚀腔，对下层材料如硅、氧化硅、氮化硅、金属氧化物等等有较高选择比。
2.3交货时间：自合同签订后的6个月内完成设备发货，入场后设备装机与调试不超过60个工作日。
3.投标人资格要求
3.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。
3.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。
3.3本次招标不接受转包、分包或联合体投标。
3.4应标型号设备2022年以来至今在国内8寸 12寸晶圆FAB厂的装机数量不少于10台，且需要提供证据证明（采购合同、验收报告、客户联系方式）
3.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。
3.6投标人未****公司的黑名单，需提供自我声明；
4.招标文件的领购
4.1 招标文件领购开始时间：2024年 11 月 27 日
4.2 招标文件领购结束时间：2024年 12 月 4日
4.3 招标文件领购地点：**市**区五里店嘉景园B座14-1
4.4 招标文件售价：500人民币/套
5.投标文件的递交
5.1 投标截止时间（开标时间）：2024年 12 月 18 日14：00 分,投标文件递交时间：2024年 12 月18日13：30分－2024年12月18日14 ：00 分。
5.2 投标文件送达地点：**市**区西园南街20号****会议室
5.3 开标地点：**市**区西园南街20号****会议室
6.发布公告的媒体
本项目公告在《中国国际招标网》、中国电科电子采购平台（www.****.com）”上发布，投标人在投标前需在中国国际招标网上完成注册，中标情况将在《中国国际招标网》、中国电科电子采购平台（www.****.com）”上公布。
7.联系方式
招标人：****
地址：**市**区西园南街20号
联系人：汪思成
电话：156****7617
招标机构：****
地址：**市**区五里店嘉景园B座14-1
联系人：王静、尹奕
电话：023-****5002、186****8091
8.其他补充说明
****银行账户信息：
开户名称：****
银行帐号：6232 8100 1000 0201 014
开户行：****银行****公司****支行
行号：105****06030
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