SK海力士系统集成电路（无锡）有限公司年产138万片8英寸非存储晶圆项目（重新报批）（二阶段年产138万片8英寸非存储晶圆）

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SK海力士系统集成电路（无锡）有限公司年产138万片8英寸非存储晶圆项目（重新报批）（二阶段年产138万片8英寸非存储晶圆）

更新时间	2024年11月29日
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关键信息	力士系统集成存储晶圆
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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

SK****
****0214MA1X3UR84L	李相和
罗艳红	省市**区
新鸿路以东、锡张高速以西地块

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

SK****年产138万片8英寸非存储晶圆项目（重新报批）（二阶段：年产138万片8英寸非存储晶圆）	****

2021版本:080-电子器件制造	C3973-C3973-集成电路制造
	省市**区新鸿路以东、锡张高速以西地块
经度:120.47232 纬度: 31.51566	****审批局
	2020-07-14
锡行审环许〔2020〕7282号	****0214MA1X3UR84L001V
2024-06-20	501400
52000	SK****
****0214MA1X3UR84L	913********034087A
**设计研究院**公司	康达**公司
913********077258K	2024-04-12
2024-04-12
2024-11-01	2024-11-28
	https://www.js-eia.cn/project/detail?type=6 proid=6034f6e1eebfe08292ebabf1f6eb6226

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

（1）生产能力：形成年产138万片8英寸非存储晶圆的生产能力。（2）储存能力：设施基础利用已有，其它所有贮存设施设备为本次**。本项目化学品库3座，气站1座，废品库2座，采油储罐1个（30m3），仓库1座，大宗气体供应（氢气和氦气有长管拖车供应，内容在本次评价范围内，其他气体相关生产、贮存、管理等均不在本次评价范围内），特气站包括特气柜和硅烷等存储。	（1）生产能力：二阶段形成年产138万片8英寸非存储晶圆的生产能力。（2）储存能力：储存工程与环评一致
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

（1）产品品种年产8英寸非存储晶圆138万片；（2）生产工艺、原辅材料与燃料本项目生产主体工艺主要由清洗、薄膜（金属沉积 PVD、化学气相沉积CVD）、光刻、刻蚀、扩散、离子注入、化学机械研磨 CMP 等子工序网状循环进行；主要工艺设备为扫描曝光机、涂胶显影机、加热炉、扩散炉、中束流离子注入机、大束流离子注入机、大能量离子注入机、清洗机、金属刻蚀机、刻蚀机、光刻胶去除、多晶硅刻蚀机、化学气相沉积设备、接合机、磁控溅射镀膜机、测量装备等。主要原辅料为硫酸、异丙醇、氨水、过氧化氢、氟化氢、磷酸、硝酸、盐酸、六氟乙烷；（3）贮存工程：化学品库3座，气站1座，废品库2座，采油储罐1个（30m3），仓库1座，大宗气体供应（氢气和氦气有长管拖车供应，内容在本次评价范围内，其他气体相关生产、贮存、管理等均不在本次评价范围内），特气站包括特气柜和硅烷等存储。运输方式：大宗气体主要评价氢气和氦气，氢气、氦气均采用长管车运至供应点，经过建设的三级调压、纯化之后，经由管道供应至生产车间。特气站主要涉及硅烷、笑气、氨气、三氟化氮的贮存及供应，气体从鱼雷车至大宗气体供应系统（BGDS），通过大宗气体供应系统的调压之后，气体至阀门分配箱（VDB），阀门分配箱设计6个出口供业主使用。	二阶段工程物料运输、装卸和贮存方式与环评一致。
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

（1）废气酸性废气：F03区域共3套二级碱喷淋吸收塔，2用1备；F04区域共5套二级碱喷淋吸收塔，4用1备。碱性废气：F03区域共2套二级酸液喷淋吸收塔，1用1备；F04区域共2套二级酸液喷淋吸收塔，1用1备。有机废气：2套沸石转轮浓缩+三室RTO燃烧装置，F03区域和F04区域各一套。特殊废气：预处理：磷烷和砷烷：干式吸附+水洗；硅烷：Plasma/热氧化+水洗涤；末端处理：水洗涤；F03区域：处理设施2用1备；F04区域：处理设施1用1备。工艺尾气：预处理：Plasma/焚烧/热氧化＋水洗；末端处理：依托酸性废气处理系统。（2）废水酸碱废水：酸碱废水进入酸碱废水集水池后经过三个中和反应槽处理后尾水进入综合处理池，采用絮凝沉淀的方式进一步降低废水中的含磷、氮等污染物。含氟废水：含氟废水进入含氟废水收集池，进行匀质匀量后，进入第一级絮凝沉淀后，再进入第二级反应池和沉淀池中，尾水在进入综合处理池，采用絮凝沉淀的方式进一步降低废水的污染物。含氨废水：含氨废水进入氨废水集水池后经过管路混合器后通过氨氮-吹脱塔处理后进入有机废水集水池。刻蚀废水：BOE废水进入BOE废水集水池后通过BOE氨-吹脱塔处理后，经过两次凝聚+沉淀后进入有机废水集水池。显影废水：通过特殊微生物的TMAH 分解处理后，再通过半透膜过滤处理，对于大分子有机物去除率较高，然后进入含氨废水进行蒸氨处理。有机废水：采用中和沉淀+A/O 生化法+絮凝沉淀的方法进行处理。末端综合处理系统：末端综合处理系统采取中和、絮凝沉淀的方式，进一步调节尾水中的pH及进一步降低废水中的污染物。生活污水：经厂区隔油和化粪池预处理后，****处理厂进一步处理。	（1）废气酸性废气：F03区域共3套二级碱喷淋吸收塔，2用1备；F04区域共5套二级碱喷淋吸收塔，4用1备。碱性废气：F03区域共2套二级酸液喷淋吸收塔，1用1备；F04区域共2套二级酸液喷淋吸收塔，1用1备。有机废气：2套沸石转轮浓缩+旋转式RTO燃烧装置，F03区域和F04区域各一套。特殊废气：预处理：磷烷和砷烷：干式吸附+水洗；硅烷：Plasma/热氧化+水洗涤；末端处理：水洗涤；F03区域：处理设施2用1备；F04区域：处理设施1用1备。工艺尾气：预处理：Plasma/焚烧/热氧化＋水洗；末端处理：依托酸性废气处理系统。（2）废水酸碱废水：酸碱废水进入酸碱废水集水池后经过三个中和反应槽处理后尾水进入综合处理池，采用絮凝沉淀的方式进一步降低废水中的含磷、氮等污染物。含氟废水：含氟废水进入含氟废水收集池，进行匀质匀量后，进入第一级絮凝沉淀后，再进入第二级反应池和沉淀池中，尾水在进入综合处理池，采用絮凝沉淀的方式进一步降低废水的污染物。含氨废水：含氨废水进入氨废水集水池后经过管路混合器后通过氨氮-吹脱塔处理后进入有机废水集水池。刻蚀废水：BOE废水进入BOE废水集水池后通过BOE氨-吹脱塔处理后，经过两次凝聚+沉淀后进入有机废水集水池。显影废水：通过特殊微生物的TMAH 分解处理后，再通过半透膜过滤处理，对于大分子有机物去除率较高，然后进入含氨废水进行蒸氨处理。有机废水：采用中和沉淀+A/O 生化法+絮凝沉淀的方法进行处理。末端综合处理系统：末端综合处理系统采取中和、絮凝沉淀的方式，进一步调节尾水中的pH及进一步降低废水中的污染物。生活污水：经厂区隔油和化粪池预处理后，****处理厂进一步处理。
为提高废气处理效率和达标稳定性，节约能源，建设过程中企业将三室RTO装置调整为旋转式RTO装置。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

建立环境风险应急管理体系与环境安全管理制度，严格落实报告表环境风险评价篇章中的事故应急防范、减缓措施，防止生产过程、物流贮运过程以及污染治理设施事故发生；定期组织应急演练，提升环境风险防范和应急处置能力，按导则要求另行编制企业环境风险应急预案，并报我局备案。	企业建立环境风险应急管理体系与环境安全管理制度，严格落实了报告表环境风险评价篇章中的事故应急防范、减缓措施，防止生产过程、物流贮运过程以及污染治理设施事故发生；企业每年组织一次应急演练，提升环境风险防范和应急处置能力，并按导则要求另行编制企业环境风险应急预案，应急预案编号为320214-2024-079-H。
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年） SS(吨/年) BOD5(吨/年) 氟化物(吨/年) 总砷(吨/年) 动植物油(吨/年) 废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）氟化物(吨/年) 氯化氢(吨/年) 氯气(吨/年) 硫酸雾(吨/年) 氨(吨/年) 异丙醇(吨/年)

704.122	704.122	704.122	704.122
71.6	320.15	71.6	71.6
20.08	141.58	20.08	20.08
2.83	6.66	2.83	2.83
36.28	231.52	36.28	36.28
35.98	166.73	35.98	35.98
22.29	212.15	22.29	22.29
17.64	19.75	17.64	17.64
0	0.0001	0	0
0.4	3.21	0.4	0.4
0	0	0	0	/
0	0.042	0	0	/
12.4374	18.12	12.437	12.437	/
0	0.033	0	0	/
5.2516	51.18	5.252	5.252	/
0	4.92	0	0	/
2.2356	7.79	2.236	2.236	/
2.868	3.71	2.868	2.868	/
0.2304	3.06	0.23	0.23	/
0.3887	5.2	0.389	0.389	/
0.7948	30.71	0.795	0.795	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	****处理站	**处理厂接管要求和省《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747- 2020）间接排放标准	酸碱废水进入酸碱废水集水池后经过三个中和反应槽处理后尾水进入综合处理池，采用絮凝沉淀的方式进一步降低废水中的含磷、氮等污染物；含氟废水进入含氟废水收集池，进行匀质匀量后，进入第一级絮凝沉淀后，再进入第二级反应池和沉淀池中，尾水在进入综合处理池，采用絮凝沉淀的方式进一步降低废水的污染物；含氨废水进入氨废水集水池后经过管路混合器后通过氨氮-吹脱塔处理后进入有机废水集水池；BOE废水进入BOE废水集水池后通过BOE氨-吹脱塔处理后，经过两次凝聚+沉淀后进入有机废水集水池；显影废水通过特殊微生物的TMAH分解处理后，再通过半透膜过滤处理，对于大分子有机物去除率较高，然后进入含氨废水进行蒸氨处理；有机废水采用中和沉淀+A/O 生化法+絮凝沉淀的方法进行处理；末端综合处理系统采取中和、絮凝沉淀的方式，进一步调节尾水中的pH 及进一步降低废水中的污染物。	在各股废水进出口进行采样监测，在生产废水接管口进行采样，连续监测两天，每天四次。
2	生活污水处理设施	《污水综合排放标准》（GB8978- 1996）表4中的三级标准和《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962- 2015）表1中标准	化粪池	在生活污水接管口进行采样，连续两天每天四次。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	酸性废气处理设施	《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747‐ 2020）	八套二级碱喷淋	废气排放口取样，监测因子为氟化物、氯化氢、氯气、氮氧化物、硫酸雾，连续两天每天三次
2	碱性废气处理设施	《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747‐ 2020）	四套二级酸喷淋	废气排放口，监测因子为氨，连续两天每天三次。
3	有机废气处理设施	沸石转轮焚烧天然气废气中的二氧化物、氮氧化物、烟粉尘执行《工业炉窑大气污染物排放标准》（DB32/3728‐ 2019）表1 标准，其他因子执行《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747‐ 2020）	两套套沸石转轮浓缩+旋转式RTO燃烧装置	有机废气进出口进行采样监测，监测因子为、VOCs、非甲烷总烃、异丙醇、氮氧化物、二氧化硫、烟尘，连续两天每天三次

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

冷冻机组、真空泵、空压机、通风机、空调、循环水塔和水泵等

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008） 3 类标准

选用低噪声设备、基础减震、隔声、消声器等

厂界四周进行监测

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

本项目重点防渗区渠采用“灰土+碎石+混凝土”做基础，然后表层采取环氧树脂涂层做防腐、防渗处理，组成的复合防渗渗透系数不大于10-9cm/s。各种液态化学品均是分区存放，集中存放区采取围堰方式，并设有应急收集系统。通过以上措施，可减少对土壤和地下水的影响。

根据环评要求，各区域均落实了防渗措施，可减少对土壤和地下水的影响。

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

按“减量化、**化、无害化”的处置原则，落实各类固体废物的收集、处置和综合利用措施，固体废物零排放。生活垃圾委托环卫部门处理；一般固废综合利用处置；废刻蚀液、废硝酸等危险废物须委托有资质单位处置，实施转移****管理部门申报转移手续。

二阶段工程产生的废刻蚀液、废硝酸等危险废物委托有资质单位处置，实施****管理部门申报转移手续；一般固废综合利用处置；生活垃圾委托环卫部门处置。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

建立环境风险应急管理体系与环境安全管理制度，严格落实报告表环境风险评价篇章中的事故应急防范、减缓措施，防止生产过程、物流贮运过程以及污染治理设施事故发生；定期组织应急演练，提升环境风险防范和应急处置能力，按导则要求另行编制企业环境风险应急预案，并报我局备案。

二阶段工程按照按环评、风险评估及应急预案要求，落实风险防范措施，应急预案已于2024年在**市******调查中心备案，备案编号：320214-2024-079-H。企业按照要求，定期组织应急演练。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程