半导体用碳化硅及莫桑石材料示范线
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| **** | 建设单位代码类型：|
| 914********779733L | 建设单位法人：董建勋 |
| 魏志勇 | 建设单位所在行政区划：**省平顶****开发区 |
| **省平****开发区（含高新技术产业集聚区） |
建设项目基本信息
| 半导体用碳化硅及莫桑石材料示范线 | 项目代码：|
| 建设性质： | |
| 2021版本:098-专业实验室、****基地 | 行业类别（国民经济代码）：M7320-M7320-工程和技术研究和试验发展 |
| 建设地点： | **省平顶****开发区 平****开发区（含高新技术产业集聚区） |
| 经度:113.402980 纬度: 33.731474 | ****机关：平****开发区****环境局 |
| 环评批复时间： | 2024-01-05 |
| 平开建环许〔2024〕2号 | 本工程排污许可证编号：无 |
| 项目实际总投资(万元)： | 7000 |
| 19 | 运营单位名称：**** |
| 914********779733L | 验收监测(调查)报告编制机构名称：******公司 |
| ****0100MA45255A7G | 验收监测单位：******公司 |
| ****0103MA3X9Q7N5L | 竣工时间：2024-09-03 |
| 调试结束时间： | |
| 2024-11-01 | 验收报告公开结束时间：2024-11-28 |
| 验收报告公开载体： | 工程建设验收公示网 |
2、工程变动信息
项目性质
| ** | 实际建设情况：** |
| / | 是否属于重大变动：|
规模
| 莫桑石晶锭年研发100个，高纯碳化硅微粉年研发11.384t（其中11.084t供下游产品测试用，0.3t用于本项目莫桑石晶锭研发） | 实际建设情况：莫桑石晶锭年研发100个，高纯碳化硅微粉年研发11.384t（其中11.084t供下游产品测试用，0.3t用于本项目莫桑石晶锭研发） |
| / | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| 本次研发项目具体工作流程为：投料-混合-合成-回炉-装炉长晶-退火冷却、拆炉-切割碳、硅面-定向滚圆-表面冲洗-性能测试及包装。 | 实际建设情况：本次研发项目具体工作流程为：投料-混合-合成-回炉-装炉长晶-退火冷却、拆炉-切割碳、硅面-定向滚圆-表面冲洗-性能测试及包装。 |
| / | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| 1、废气主要为投料工序产生的粉尘、出料工序产生的粉尘、清合成炉工序产生的粉尘、清长晶炉工序产生的粉尘以及真空泵油雾废气。其中投料工序产生的粉尘、出料工序产生的粉尘、清合成炉工序产生的粉尘、清长晶炉工序产生的粉尘经袋式除尘器处理达标后，通过1根15m高的排气筒（DA005）外排，真空泵油雾废气从真空泵排口排出，经管道进入油雾净化器处理后通过1根15m高的排气筒（DA006）外排。 2、本项目废水主要为冲洗废水、纯水制备浓水和生活污水，清洗废水经沉淀处理后与纯水制备浓水和生活污水排入市政污水管网，后排入****处理厂，****处理厂处理达标后，尾水排入**。 3、噪声主要通过安装基础减振、厂房隔声等措施控制噪声影响。 4、**一间面积20平方米的一般固废暂存间，依托现有一间面积10平方米的危废暂存间。 | 实际建设情况：1、废气主要为投料工序产生的粉尘、出料工序产生的粉尘、清合成炉工序产生的粉尘、清长晶炉工序产生的粉尘以及真空泵油雾废气。其中投料工序产生的粉尘、出料工序产生的粉尘、清合成炉工序产生的粉尘、清长晶炉工序产生的粉尘经袋式除尘器处理达标后，通过1根15m高的排气筒（DA005）外排，真空泵油雾废气从真空泵排口排出，经管道进入油雾净化器处理后通过1根15m高的排气筒（DA006）外排。 2、本项目废水主要为冲洗废水、纯水制备浓水和生活污水，清洗废水经沉淀处理后与纯水制备浓水和生活污水排入市政污水管网，后排入****处理厂，****处理厂处理达标后，尾水排入**。 3、噪声主要通过安装基础减振、厂房隔声等措施控制噪声影响。 4、**一间面积20平方米的一般固废暂存间，依托现有一间面积10平方米的危废暂存间。 |
| / | 是否属于重大变动：|
其他
| / | 实际建设情况：/ |
| / | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 1.2 | 0.029 | 1.3733 | 0 | 0 | 1.229 | 0.029 | |
| 0.0845 | 0.0029 | 0.0972 | 0 | 0 | 0.087 | 0.003 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 1.0666 | 0.0002 | 1.0718 | 0 | 0 | 1.067 | 0 | / |
| 0 | 0.0036 | 0.0194 | 0 | 0 | 0.004 | 0.004 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | 化粪池（依托现有） | 《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1电子专用材料间接排放限值，同时满足****处理厂收水标准 | 化粪池（依托现有） | 本项目废水依托厂区现有化粪池暂存后排放。因现有工程废水排入该化粪池，其实际情况并不能代表本项目废水排放达标情况，故本次不再针对废水排放达标情况进行监测。 |
表2 大气污染治理设施
| 1 | 袋式除尘器+1根15m高排气筒（DA005） | 《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中的二级标准排放要求（排放速率严格50%执行），颗粒物排放浓度同时能够满足《工业炉窑大气污染物排放标准》（DB41/1066-2020）表1排放浓度限值（其他炉窑）和《**市2021年重污染天气通用行业应急减排措施制定技术指南（试行）》PM排放浓度限值要求（10mg/m3） | 袋式除尘器+1根15m高排气筒（DA005） | 验收监测期间DA005排气筒出口颗粒物最大排放浓度为3.2mg/m3，最大排放速率为1.18×10-3kg/h | |
| 2 | 油雾净化器+1根15m高排气筒（DA006） | 《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中的二级标准排放要求（排放速率严格50%执行），排放浓度同时能够满足《**市2021年重污染天气通用行业应急减排措施制定技术指南（试行）》通用行业绩效A级要求（20mg/m3）和《关于全省开展工业企业挥发性有机物专项治理工作中排放建议值的通知》（豫环攻坚办[2017]162号）中其他行业（80mg/m3） | 油雾净化器+1根15m高排气筒（DA006） | 验收监测期间DA006排气筒非甲烷总烃最大排放浓度为2.22mg/m3，最大排放速率为5.75×10-4kg/h |
表3 噪声治理设施
| 1 | 基础减震、厂房隔声 | 东 、 南 及 西 厂 界 噪 声 执 行 《 工 业 企 业 厂 界 环 境 噪 声 排 放 标 准 》（GB12348-2008）表 1 中（昼间65dB（A），夜间 55dB（A））排放限值要求；北厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）表 1 中（昼间 70dB（A），夜间 55dB（A））排放限值要求 | 基础减震、厂房隔声 | 东、南、北厂界昼间噪声最大值为：55dB（A）；东、南、北厂界夜间噪声最大值为：45dB（A）。 |
表4 地下水污染治理设施
| 1 | 厂房等具有防雨、防渗、防风、防日晒等功能。厂区严格执行分区防渗，辅料库、危 险废物暂存间、沉淀池等区域作为重点防渗区 | 厂房等具有防雨、防渗、防风、防日晒等功能。厂区严格执行分区防渗，辅料库、危 险废物暂存间、沉淀池等区域作为重点防渗区 |
表5 固废治理设施
| 1 | **一间面积20m2的一般固废暂存间，依托现有一间面积10m2的危废暂存间 | **一间面积20m2的一般固废暂存间，依托现有一间面积10m2的危废暂存间 |
表6 生态保护设施
| 1 | 本项目依托现有厂区进行建设，不会对周边生态环境造成明显影响。厂区生产区已全 部硬化 | 本项目依托现有厂区进行建设，不会对周边生态环境造成明显影响。厂区生产区已全 部硬化 |
表7 风险设施
| 1 | 本项目涉及少量切削液、真空泵油的储存和使用，以及少量危险废物的暂存，在危废 暂存间下方设置围堰，并采用环氧树脂进行防腐、防渗和防漏处理；注意危险废物贮 存、转运等过程的风险控制；配备必要的消防设施及应急处理设施；设置 1000m3事故 池，可待外排废水超标状况下有效暂存废水。 | 本项目涉及少量切削液、真空泵油的储存和使用，以及少量危险废物的暂存，在危废 暂存间下方设置围堰，并采用环氧树脂进行防腐、防渗和防漏处理；注意危险废物贮 存、转运等过程的风险控制；配备必要的消防设施及应急处理设施；设置 1000m3事故 池，可待外排废水超标状况下有效暂存废水。 |
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| 依托现有化粪池；依托现有危废暂存间。 | 验收阶段落实情况：依托现有化粪池；依托现有危废暂存间。 |
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环保搬迁
| / | 验收阶段落实情况：/ |
| / |
区域削减
| / | 验收阶段落实情况：/ |
| / |
生态恢复、补偿或管理
| / | 验收阶段落实情况：/ |
| / |
功能置换
| / | 验收阶段落实情况：/ |
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其他
| / | 验收阶段落实情况：/ |
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6、工程建设对项目周边环境的影响
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7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
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