热蒸发设备
热蒸发设备(****)自购结果公示
发布时间：2024-12-09
该项目经自行采购程序，允许自购：
| **** |
| 190000 |
| 2024-12-09 | 公示截止日期2024-12-10 17:28:30 | |
| ****学院 | 付款方式货到验收合格后付款 | |
| 到货时间要求 | ||
| 山****图书馆楼119 | ||
采购清单1
| 热阻镀膜机 | 1 | 台 |
| 创世威纳 | 规格型号MEB-600 | |
| 1、设备功能： 可镀制各种金属薄膜、光学薄膜、透明导电薄膜、介质膜等薄膜。全自动控制系统，能够自动控制各个工艺流程及参数，并同时能够自动实现数据采集、分析和安全控制的能力。 2、主要技术指标： 2.1 真空室数量：单室，不锈钢桶形立式结构，前开门形式 2.2 真空室规格：Φ600mm×H600mm 2.3 极限真空：6.7×10-5 Pa（环境湿度≤55%） 2.4 抽气速率：采用N2充气短暂开腔后，从大气抽至9.0×10-4Pa所需时间≤40min 2.5 系统升压率：设备抽至极限以后关机12小时，真空室压力≤5.0Pa 2.6 可蒸发材料：金属、非金属、有机物等材料 2.7 ****中心距离为：330mm-370mm 2.8 两套蒸发电极，兼容蒸发舟、螺旋蒸发丝，带有自动档板。 2.9 蒸发电源最大功率3KW，可在两套蒸发电极之间自动切换，并支持不同阻值的蒸发舟。 2.10 膜厚监测系统： 监测厚度显示范围：0~99μ9999 厚度显示分辨率：1 速率显示范围：0~9999.9 速率显示分辨率：0.1/S 监测时间显示范围：1分~99小时 2.11 工件盘：可调速自转，转速1~10rpm可调 2.12 样片尺寸及数量：平面工件盘最大尺寸Φ6英寸1片； 2.13 加热系统：石英灯加热器，加热温度为 室温~300℃，PID自动控温测温，控温精度±1℃ 2.14 镀膜不均匀性：≤±5%（平面工件盘Φ6英寸范围内） | ||
| 服务网点:当地;质保期限:2年;响应期限:报修后24小时;质保期为18个月; | ||
****管理部
2024-12-09
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