雷生强式TLL-600-A20-40.8-J型单晶炉
雷生强式TLL-600-A20-40.8-J型单晶炉(****)自购结果公示
发布时间:2024-12-15
该项目经自行采购程序,允许自购:
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495000 |
2024-12-15 | 公示截止日期2024-12-16 14:30:07 | |
**** | 付款方式货到安装调试验收合格后一次性付清(无息) | |
到货时间要求 | ||
****中心校区新一代半导体大楼215室 |
采购清单1
TLL-600-A20-40.8-J型单晶炉 | 1 | 台 |
雷生强式 | 规格型号TLL-600-A20-40.8-J | |
1. 炉体单元:炉膛采用不锈钢板,内径600mm,高1000mm,双层水冷结构。侧开门。门上有观察窗。可以在真空或惰性气体保护下工作。 2. 运动单元:采用波纹管保护形式称重传感器;采用中空陶瓷杆或不锈钢杆杠,外径为D12,旋转速度为±1-30rpm;采用快速电机,拉速为±0.1-2000mm/h 3. 控制单元 软件:提拉法晶体生长控制软件V1.0;控制单元采用上称重方法来控制晶体各阶段自动生长;晶体形状,晶体密度,熔体密度,PID及运动参数可设定和修改;屏幕上数据交叉显示提供生长过程中数据综合分析工具 硬件:Windows操作系统的国产高性能工控机;光栅数码显示分辨率0.001mm;1KVA增强板不间断电源 4. 加热单元:采用感应加热40kW 5. 真空单元:直联式真空泵;空炉膛冷态真空度≤5.0Pa | ||
服务网点:外地;质保期限:1年;响应期限:报修后24小时; |
****管理部
2024-12-15
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