北京怀柔实验室SIC2024年第一批机电设备采购项目评标结果公示公告
****SIC2024年第一批机电设备采购项目评标结果公示公告
项目名称：****SIC2024年第一批机电设备采购项目
招标项目编号：****
招标范围：N型碳化硅外延炉是一种通过化学气相沉积（CVD）方法生长碳化硅外延层的设备，该设备气流进气方向与晶圆表面垂直，兼容6/8英寸衬底，单次生长最大厚度 100微米，且满足片内厚度不均匀性小于2%，片内掺杂浓度不均匀性小于5%,表面致命缺陷密度小于0.5cm^-2的技术指标。
招标机构：****
招标人：****
开标时间：2024-12-11 09:30
公示开始时间：2024-12-16 13:36
评标公示截止时间：2024-12-19 23:59
中标候选人名单：
| 1 | NuFlare Technology, Inc. | NuFlare Technology, Inc. | 日本 |
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