合肥新阳半导体材料有限公司集成电路关键工艺材料项目

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合肥新阳半导体材料有限公司集成电路关键工艺材料项目

更新时间	2024年12月17日
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关键信息	半导体材料集成电路关键
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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0100MA2UC9F622	王福祥
韩田贵子	省市****开发区
省市新站区高峰路236号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

****集成电路关键工艺材料项目

2018版本:083-电子元件及电子专用材料制造	C3985-C3985-电子专用材料制造
	省市**开发区珠路与九顶山路交叉口西南角
经度:117.304183 纬度: 31.953800	****开发区生态环境局
	2020-06-23
环建审（新）字〔2020〕56号	****
2023-10-11	30000
940	****
****0100MA2UC9F622	**研究院**公司
914********805261X	******公司
****0100MA8L989B9F	2023-12-31
2024-07-01	2024-09-30
2024-11-12	2024-12-09
	https://gongshi.****.com/h5public-detail?id=430545

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无变化

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

项目占地面积50000m2，规划建筑面积50515m2。规划建设乙类厂房、丙类厂房、乙类仓库、丙类仓库，配套建设三废车间、危废库、动力站等。项目总投资35000万元，其中环保投资1000万元，项目达产后可实现生产各类电子专用化学材料17000t/a的生产规模，其中芯片铜互连超高纯硫酸铜电镀液及晶体6500t/a、芯片超纯清洗液系列8500t/a、高分辨率光刻胶系列500t/a、芯片级封装与集成电路传统封装引线脚表面处理功能性化学材料系列1500t/a。	项目占地面积50000m2，规划建筑面积50515m2。规划建设乙类厂房、丙类厂房、乙类仓库、丙类仓库，配套建设三废车间、危废库、动力站等。项目达产后可实现生产各类电子专用化学材料8500t/a的生产规模，其中芯片铜互连超高纯硫酸铜电镀液及晶体3500t/a、芯片超纯清洗液系列5000t/a。
阶段性验收

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

硫酸铜电镀液的主要生产工艺包括：工作液配制、铜电解精炼、硫酸铜溶液制作、冷却、离心、硫酸铜溶液初配、过滤、硫酸铜溶液精配、检测和灌装。硫酸铜晶体的生产工艺包括：工作液配制、铜电解精炼、硫酸铜溶液制作、冷却、离心。清洗液产品包括4种：超纯清洗液（芯片清洗液1、芯片清洗液2、Post CMP清洗液）、高选择比氮化硅清洗液。各清洗液产品的生产工艺相同。清洗液产品的主要生产工序包括：洗釜、投料、搅拌溶解、保温熟化、循环过滤、精滤、检验及灌装。其中，保温熟化工序，部分产品会发生酸碱中和反应，反应过程无废气，其他环节无化学反应。	硫酸铜电镀液的主要生产工艺包括：工作液配制、铜电解精炼、硫酸铜溶液制作、冷却、离心、硫酸铜溶液初配、过滤、硫酸铜溶液精配、检测和灌装。硫酸铜晶体的生产工艺包括：工作液配制、铜电解精炼、硫酸铜溶液制作、冷却、离心。清洗液产品包括4种：超纯清洗液（芯片清洗液1、芯片清洗液2、Post CMP清洗液）、高选择比氮化硅清洗液。各清洗液产品的生产工艺相同。清洗液产品的主要生产工序包括：洗釜、投料、搅拌溶解、保温熟化、循环过滤、精滤、检验及灌装。其中，保温熟化工序，部分产品会发生酸碱中和反应，反应过程无废气，其他环节无化学反应。
无变化

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

本项目产生的废气主要有：硫酸铜生产线产生的酸性废气，甲基磺酸锡生产线产生的酸性有机废气，清洗液系列生产线产生的挥发废气，研磨液和添加剂系列生产线产生的挥发废气，光刻胶系列生产线产生的有机废气，常规化学品生产线（去毛刺溶液系列/电镀液及前后处理液系列）产生的挥发废气，污水处理站废气、仓库换风废气、食堂油烟废气。拟采取的具体净化措施：硫酸铜电解废气、甲基磺酸锡电解废气收集汇总经1套碱洗塔处理后经1根27米高排气筒（P1）排放；硫酸铜电镀液冷却结晶、配制工段废气收集经1套两级碱洗塔处理后经1根27米高排气筒（P2）排放；清洗液系列的投料工段、原料中间储罐废气以及常规化学品生产废气汇总经1套碱洗塔+活性炭装置处理后经1根27米高排气筒（P3）排放；光刻胶系列生产废气收集经碱洗塔+活性炭装置处理后经1根27米高排气筒（P4）排放；清洗液系列灌装废气、产品质检废气收集经碱洗塔+活性炭装置处理后经1根27米高排气筒（P5）排放；研磨液和添加剂系列生产废气收集经碱洗塔处理后经1根27米高排气筒（P6）排放；污水处理站废气收集经“生物滤池除臭装置”处理后经1根15米高排气筒（P7）排放；仓储换风废气收集后经1套“碱洗塔+活性炭”装置”处理后经1根27米高排气筒（P8）排放；食堂油烟废气收集经“静电式油烟净化器”处理后高于楼顶排放（P9）。本项目建成后，各有组织排气筒中颗粒物、NMHC、硫酸雾、氯化氢、NOx、磷酸雾、乙醇胺、甲醛的排放浓度和排放速率均可达到市《大气污染物综合排放标准》（DB/31 933-2015）的标准要求；氨、硫化氢可达到市《恶臭（异味）污染物排放标准》（DB31/1025-2016）标准要求；食堂油烟废气满足《饮食业油烟排放标准（试行）》（GB18483-2001）中标准要求。本项目基本可以将逸散的废气统一收集并处理后以有组织形式排放。考虑到集气罩收集系统不能做到百分之百控制无组织排放，故还会存在少量未有效收集的废气，通过车间通风进入大气环境。本项目废水包括：各生产线洗釜废水、产品周转桶洗桶废水、氧化铈研磨液压滤洗涤废水、湿法研磨废水、碱洗塔排水、纯水制备浓排水、车间地面清洗废水、循环冷却塔排水、员工生活污水。其中，含铜废水、含锡废水单独设一套废水预处理系统，采用“化学反应+混凝沉淀”工艺，含氟废水单独设一套废水预处理系统，采用“化学反应+混凝沉淀”工艺，食堂废水经隔油池预处理、生活污水经化粪池预处理，预处理后的废水与其他各股废水汇总**处理站处理，采用“水解酸化+好氧池+MBR膜处理”工艺，处理达标后，经厂区污水总排口纳入市政污水管网，水厂进一步处理。项目综合废水排放量90146t/a，主要污染物为pH、COD、BOD、氯化物、氨氮、总氮、总磷、动植物油，处理后经污水总排口排放，各类污染物均能够达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中三级标准处理厂接管要求，其中含氟处理系统出水满足《污水综合排放标准》（GB 8978-1996）中一级标准。处理厂处理达标后排入板桥河。本项目产生的噪声主要引风机、空压机、冷却塔、各类泵等，源强约为75~90dB（A），主要通过优先选用低噪声设备，对噪声源进行减振、隔声罩、进口消声，通过建筑隔声降低噪声源。经预测，各厂界源噪声贡献值能够满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准要求。本项目产生的固体废物包括一般工业固废、危险废物和待鉴定固废三类。 ①一般固废：废纯水滤膜/滤芯、废滤袋，全部收集后由物质部门回收：生活垃圾由环卫部门定期清运。 ②危废：本项目产生的危险废物包括：废铜渣、滤渣及废滤芯、清洗有机溶剂、废离子交换树脂、废活性炭、预处理污泥（含铜、锡、氟）、报废固体原料、废化学品原料包装、报废产品或样品、报废产品周转桶等。本项目设1座面积189m2的危险库贮存。 ③待鉴定固废：处理站污泥性质待鉴定，若鉴定为危险废物则需交由有危险废物处理资质的单位进行处置；若鉴定为一般固废，则交由相应的单位进行化、无害化处置。在鉴别前，上述污泥需按照危险废物管理的要求，在厂区设置单独区域暂存，暂存区需经过防渗、防腐处理，并设置经防渗、防腐处理的地沟或围堰。	本项目产生的废气主要有：硫酸铜生产线产生的酸性废气，清洗液系列生产线产生的挥发废气，污水处理站废气、仓库换风废气。拟采取的具体净化措施：硫酸铜电解线的初制槽和精制槽均加盖密闭，并设槽边抽风，共用1套12000m3/h碱洗塔，27m排气筒P2(两级碱洗）；硫酸铜电镀液冷却结晶、配制工段废气经呼吸阀密闭管道收集，经1套碱液喷淋塔处理，排风量为6000m3/h，27m排气筒P1；清洗液系列灌装废气、质检室废气，灌装废气设特制密闭集气罩+灌装间密闭负压收集，质检室设通风橱，废气汇总至1套20000m3/h“碱洗塔+活性炭吸附”装置处理，经27m排气筒P5排放；清洗液区域废气经密闭管道收集后经碱洗塔(32000m3/h)+活性炭吸附装置（32000m3/h）处理；氮化硅清洗区域废气经密闭管道收集后经碱洗塔(32000m3/h)处理；废气汇总至P6排气筒排放；综合调节池、水解酸化池、好氧池、MBR池、污泥浓缩池进行加盖密闭，经“碱洗+活性炭”处理（5000m3/h），经15m排气筒P7排放；仓储换风废气收集后经1套“碱洗塔+活性炭”装置”处理后经1根27米高排气筒（P8）排放。本项目废水包括：各生产线洗釜废水、产品周转桶洗桶废水、碱洗塔排水、纯水制备浓排水、车间地面清洗废水、循环冷却塔排水、员工生活污水。其中，含铜废水单独设一套废水预处理系统，采用“化学反应+混凝沉淀”工艺，含氟废水单独设一套废水预处理系统，采用“化学反应+混凝沉淀”工艺，预处理后的废水与其他各股废水汇总**处理站处理，采用“水解酸化+好氧池+MBR膜处理”工艺，处理达标后与生活污水一起经厂区污水总排口纳入市政污水管网，水厂进一步处理。项目综合废水主要污染物为pH、COD、BOD、氯化物、氨氮、总氮、总磷、动植物油，处理后经污水总排口排放，各类污染物均能够达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中三级标准处理厂接管要求，其中含氟处理系统出水满足《污水综合排放标准》（GB 8978-1996）中一级标准。处理厂处理达标后排入板桥河。企业已对主要产噪设备进行合理布局、安装减震设施，根据监测数据可知，项目排放的噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类区标准。厂区已建成一般工业固体废物储存场所、危险废物贮存点，生活垃圾定期交由环卫部门清运。设置189m2的危废库，危废在厂内危废库暂存后，委托有资质的单位处置，已与嘉朋特**公司、浩悦****公司签订了危废处置协议。
由于产线布局调整，各工序废气收集管线布置调整，但废气收集方式及处理方式未发生变化

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

强化厂区建筑防渗，特别要加强三废车间、生产车间、仓库、危废库、事故水池等可能因渗漏对地下水产生影响场所的防渗处理,避免对地下水水质产生影响。加强环境风险预防和控制，制定突发环境风险应急预案，加强危险化学品在使用和贮运过程中的管理，落实环境风险控制措施，防止污染事故发生。	已按照环评及其批复要求进行了分区防渗，重点防渗区域防渗方式为3mm耐腐蚀环氧地面+2mm玻璃钢隔离层。已编制环境风险应急预案，并备案。
无变化

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

4.5363	0	4.536	4.536
1.991	3.61	1.991	1.991
0.093	0.18	0.093	0.093
0	0	0	0
0	0	0	0
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0.457	1.176	0.457	0.457	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	含氟废水处理设施	《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中一级标准（10mg/L）	含氟废水收集经预处理设施（化学反应+混凝沉淀）处****处理站，设计处理能力50t/d	出水口氟化物浓度在5—7.3mg/L之间
2	含铜废水处理设施	《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中三级标准限值（2.0mg/L）	含铜废水收集经预处理设施（化学反应+混凝沉淀）处****处理站，设计处理能力50t/d。	总排口铜含量在0.15—0.58mg/L
3	综合废水处理设施	《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中三级标准****处理厂接管要求	1套400t/d****处理站，采用“水解酸化+好氧池+MBR膜处理”工艺	项目废水****处理厂接管标准及《污水综合排放标准》（GB 8978-1996）中三级标准（取较严格限值）

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	P2排气筒（硫酸铜生产线废气处理设施）	《大气污染综合排放标准》（DB31/933-2015）标准限值	电解线的初制槽和精制槽均加盖密闭，并设槽边抽风，共用1套12000m3/h碱洗塔，排气筒P2(两级碱洗）	P2排气筒（硫酸铜电解工序）硫酸雾产生浓度均低于检出限，氯化氢最大产生浓度为0.95mg/m3，产生速率为1.7210-3kg/h，最大排放浓度为0.4mg/m3，排放速率为6.8610-4kg/h。
2	P1排气筒（硫酸铜电镀液冷却结晶、配制工段废气）	《大气污染综合排放标准》（DB31/933-2015）标准限值	经呼吸阀密闭管道收集，经1套碱液喷淋塔处理，排风量为6000m3/h，排气筒P1	P1排气筒（硫酸铜晶体和灌装等工序）硫酸雾产生浓度均低于检出限，氯化氢最大产生浓度为0.52mg/m3，产生速率为1.8310-3kg/h，最大排放浓度为0.25mg/m3，排放速率为9.6810-4kg/h。可满足《大气污染综合排放标准》（DB31/933-2015）标准限值（10mg/m3）要求
3	P5排气筒清洗液系列灌装废气、质检室废气	《恶臭（异味）污染物排放标准》(DB31/1025-2016);《固定源挥发性有机物综合排放标准第5部分电子工业》（DB34/4812.5-2024）中表1标准限值要求	灌装废气设特制密闭集气罩+灌装间密闭负压收集，质检室设通风橱，废气汇总至1套20000m3/h“碱洗塔+活性炭吸附”装置处理，经27m排气筒P5排放	P5***实验室、清洗液灌装工序）气态总磷和氮氧化物产生浓度均低于检出限；氨最大产生浓度为1.44mg/m3，产生速率为3.7810-3kg/h，最大排放浓度为0.84mg/m3，排放速率为2.4010-3kg/h，可满足《恶臭（异味）污染物排放标准》(DB31/1025-2016)中排放限值（氨：30mg/m3）；非甲烷总烃最大产生浓度为42.2mg/m3，产生速率为0.134kg/h，最大排放浓度为7.90mg/m3，排放速率为2.5610-2kg/h，可满足《固定源挥发性有机物综合排放标准第5部分电子工业》（DB34/4812.5-2024）中表1标准限值要求（非甲烷总烃：60mg/m3）要求
4	P6排气筒（清洗液投料、原料储罐）	《固定源挥发性有机物综合排放标准第5部分电子工业》（DB34/4812.5-2024）中表1标准限值	清洗液区域废气经密闭管道收集后经碱洗塔(32000m3/h)+活性炭吸附装置（32000m3/h）处理；氮化硅清洗区域废气经密闭管道收集后经碱洗塔(32000m3/h)处理；废气汇总至P6排气筒排放	P6排气筒（清洗液投料、原料储罐）气态总磷产生浓度均低于检出限；非甲烷总烃最大产生浓度为1.68mg/m3，产生速率为1.7410-2kg/h，最大排放浓度为1.58mg/m3，排放速率为1.8110-2kg/h，可满足《固定源挥发性有机物综合排放标准第5部分电子工业》（DB34/4812.5-2024）中表1标准限值要求（非甲烷总烃：60mg/m3）要求
5	P7****处理站）	《恶臭（异味）污染物排放标准》(DB31/1025-2016)；《固定源挥发性有机物综合排放标准第5部分电子工业》（DB34/4812.5-2024）中表1标准限值要求	综合调节池、水解酸化池、好氧池、MBR池、污泥浓缩池进行加盖密闭，经“碱洗+活性炭”处理（5000m3/h），经15m排气筒P7排放	验收期间，P7***处理站）硫化氢产生浓度均低于检出限；氨最大产生浓度为0.76mg/m3，产生速率为1.6710-3kg/h，最大排放浓度为0.77mg/m3，排放速率为1.3710-3kg/h，臭气浓度最大产生浓度为977，最大排放浓度为354，可满足《恶臭（异味）污染物排放标准》(DB31/1025-2016)中排放限值（氨：30mg/m3）。非甲烷总烃最大产生浓度为2.38mg/m3，产生速率为5.2210-3kg/h，最大排放浓度为1.95mg/m3，排放速率为3.68*10-3kg/h，可满足《固定源挥发性有机物综合排放标准第5部分电子工业》（DB34/4812.5-2024）中表1标准限值要求（非甲烷总烃：60mg/m3）要求。
6	P8排气筒（危废库）	《固定源挥发性有机物综合排放标准第5部分电子工业》（DB34/4812.5-2024）中表1标准限值要求	负压密闭收集后经1套“碱洗塔+活性炭”装置”处理（20000m3/h）	P8排气筒（危废库）非甲烷总烃最大产生浓度为4.07mg/m3，产生速率为7.4010-2kg/h，最大排放浓度为0.89mg/m3，排放速率为1.6110-2kg/h，可满足《固定源挥发性有机物综合排放标准第5部分电子工业》（DB34/4812.5-2024）中表1标准限值要求（非甲烷总烃：60mg/m3）要求

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

降噪设施

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）

低噪声设备，建筑隔声，安装减振基座，风机隔声罩，进口消声

厂界噪声排放均能满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的3类标准要求；昼间最大62dB(A)，夜间最大52dB(A)

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

强化厂区建筑防渗，特别要加强三废车间、生产车间、仓库、危废库、事故水池等可能因渗漏对地下水产生影响场所的防渗处理,避免对地下水水质产生影响

已按照环评及其批复要求进行了分区防渗，重点防渗区域防渗方式为3mm耐腐蚀环氧地面+2mm玻璃钢隔离层。

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

本项目设1座面积189m2的危险库贮存

设置189m2的危废库，危废在厂内危废库暂存后，委托有资质的单位处置，已与**嘉朋特****公司、**浩悦****公司签订了危废处置协议

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

建议企业及时编制环境风险应急预案，并向当地环境保护主管部门备案

已编制环境风险应急预案，并备案

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程