东南大学 - 竞价公告（CB102862024002012）

等离子清洗机	1.0/台		雷博	PT40K-SE	腔体材质铝合金供电电源 AC220V、1200W 电源功率 0-1000W可调处理尺寸 ≤8寸频率 40KHz 极限真空度 <10Pa 气体路数 2路气体流量 0-1L/min（可调）控制触屏/按钮清洗时间 1-300s连续可调内腔尺寸 226mm126mm250mm（长宽深）外形尺寸 471mm417mm286mm（宽深高）重量 ≈30KG 真空泵飞越VRD-8	按行业标准提供服务
自动桌面匀胶机	1.0/台		雷博	AC200-COT-CTM-DN	整机尺寸(约):720mm(L)550(W)550mm(H)，(不含压力罐推荐安装尺寸1020mm(L) 850(W)850mm (H); 1.4 整机重量(约):45KG; 基片尺寸规格:6080mm，厚度0.5mm; 设备类型:手动上下片，1个自动滴胶摆臂; 滴胶针头到基片的高度在0-10mm范围内可调；设备带排废功能; 出胶口可安装针式过滤器。最大转速:10000rpm(空载) 最大加速度:50000rpm/S(空载) 转速精度:±1rpm 转速分辨率:0.1rpm 管路:3路(1#光刻胶、2#光刻胶、3#光刻胶) 光刻胶供液方式:压力罐3(将胶瓶直接放入压力罐，不可将胶液直接倒入压力罐)，最大选择 10L压力罐(内径209mm,内桶高 285mm) 液体流量可调	按行业标准提供服务

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