半导体先进装备研发及国产化项目二期工程

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半导体先进装备研发及国产化项目二期工程

更新时间	2024年12月24日
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关键信息	半导体先进
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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0214MA3MM4978N	聂翔
孔祥琦	省市**区
无

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

半导体先进装备研发及国产化项目二期工程	****

2021版本:070-采矿、冶金、建筑专用设备制造；化工、木材、非金属加工专用设备制造；食品、饮料、烟草及饲料生产专用设备制造；印刷、制药、日化及日用品生产专用设备制造；纺织、服装和皮革加工专用设备制造；电子和电工机械专用设备制造；农、林、牧、渔专用机械制造；医疗仪器设备及器械制造；环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造	C3562-C3562-半导体器件专用设备制造
	**市西海岸新区牧路 11 号 3#厂房
经度:120.**42009 纬度: 36.**59310	**环境局**分局
	2024-06-20
青环审（**）〔2024〕130号	****0214MA3MM4978N001Y
2024-06-28	120
20	****
****0214MA3MM4978N	******公司
****0203MA7CKP3QXL	******公司
****0281MA3UQH3X7X	2024-09-10

2024-11-25	2024-12-23
	https://www.eiaclou d.com/gs/detail/2id=41125MdftE

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

扩建	扩建
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

对现有项目的10台离子注入机（IMP设备）进行通气测试	对现有项目的10台离子注入机（IMP设备）进行通气测试
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

源气准备→电离→加速→注入→检测→交付	源气准备→电离→加速→注入→检测→交付
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

电离废气经一期现有的尾气处理设备LocalScrubber（TA001）处理后，再经过CentralScrubber（TA003）处理，通过楼顶20m高排气筒DA001排放。生活污水依托现有化粪池处理后，经市政污水管****处理厂处理。严格落实固体废物污染防治措施。废机油、废油桶、晶圆废样、清洗废水、废滤芯（含废金属氧化物和氢氧化钙）等危险废物分类暂存于现有5m2危废暂存间内，及时委托有危废处置资质单位处置。废包装材料等工业固体废物，暂存于现有5m2工业固体废物暂存间，外售综合利用；生活垃圾分类收集后定期清运。各类固体废物应根据特性分区、分类贮存和管理。一般工业固体废物贮存过程应满足相应防扬散、防流失、防渗漏等环境保护要求；危险废物暂存管理需满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求。	电离废气经尾气处理设备LocalScrubber（TA001）处理后，再经过CentralScrubber（TA003）处理，通过楼顶20m高排气筒DA001排放。生活污水经化粪池处理后，经市政污水管**处理厂处理。项目现有危废暂存间、固废暂存间满足相关要求。废包装材料属于一般固废，暂存于固废暂存间内，定期外售综合利用。废机油、废油桶、晶圆废样、清洗废水、废滤芯属于危险废物，收集后暂存于危险废物暂存间，委托**进行处置。生活垃圾由环卫部门定期清运。
无

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

/	/
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0.1094	0.0499	0.159	0.05
0.055	0.025	0.08	0.025
0.005	0.002	0.007	0.002
0	0	0	0
0	0	0	0
180	249.72	429.72	249.72	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0.0002	0	0	0	/
0	0	0	0	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

生活污水

项目废水排放执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4中三级标准，氨氮参照执行《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）表1中B等级标准。

项目无生产废水产生，生活污水经化粪池处理后，经市政污水管****处理厂处理。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

电离废气

照执行**市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）表1标准限值

电离废气经尾气处理设备LocalScrubber（TA001）处理后，再经过CentralScrubber（TA003）处理，通过楼顶20m高排气筒DA001排放。

验收监测期间排气筒DA001中氟化物排放浓度均未检出，排放速率最大值满足**市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）表1标准限值。

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

厂界噪声

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准

项目选用低噪声设备，合理布局，除风机外的生产设备布置于车间内，采取减振、隔声等降噪措施。

验收监测期间：厂界昼间噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准。

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

严格落实固体废物污染防治措施。废机油、废油桶、晶圆废样、清洗废水、废滤芯（含废金属氧化物和氢氧化钙）等危险废物分类暂存于现有5m2危废暂存间内，及时委托有危废处置资质单位处置。废包装材料等工业固体废物，暂存于现有5m2工业固体废物暂存间，外售综合利用；生活垃圾分类收集后定期清运。各类固体废物应根据特性分区、分类贮存和管理。一般工业固体废物贮存过程应满足相应防扬散、防流失、防渗漏等环境保护要求；危险废物暂存管理需满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求。

项目现有危废暂存间、固废暂存间满足相关要求。废包装材料属于一般固废，暂存于固废暂存间内，定期外售综合利用。废机油、废油桶、晶圆废样、清洗废水、废滤芯属于危险废物，收集后暂存于危险废物暂存间，委托****进行处置。生活垃圾由环卫部门定期清运。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

严格落实环境风险防范措施。按照《突发环境事件应急管理办法》的相关要求，修订突发环境事件应急预案并向我局备案。

项目已制定突发环境事件应急预案，并备案（370211-2024-02087-L）。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程