绍兴比亚迪半导体离子注入机X射线装置应用项目
建设项目环境影响登记表
填表日期：2024-12-25
| 项目名称 | **比亚迪半导体离子注入机X射线装置应用项目 | ||
| 建设地点 | ****开发区**省**市越****街道**路168号（PJ-02-D-1）地块 | 占地面积 （平方米） | 277260 |
| 建设单位 | **** | 法定代表人 | 陈刚 |
| 联系人 | 张子轩 | 联系电话 | 189****6699 |
| 项目投资(万元) | 46400 | 环保投资(万元) | 30 |
| 拟投入生产运营日期 | 2025-02-01 | ||
| 建设性质 | ** | ||
| 备案依据 | 该项目属于《建设项目环境影响评价分类管理名录》中应当填报环境影响登记表的建设项目，属于第172 核技术利用建设项目项中销售Ⅰ类、Ⅱ类、Ⅲ类、Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；使用Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；医疗机构使用植入治疗用放射性粒子源的；销售非密封放射性物质的；销售Ⅱ类射线装置的；生产、销售、使用Ⅲ类射线装置的。 | ||
| 建设内容及规模 | **比亚迪半导体新增22台离子注入机X射线装置应用项目 使用的22台离子注入机放置在**比亚迪半导体FAB车间前道工序离子注入区域 22台离子注入机情况如下： 3 台 Axcelis punon M 注入机的管电压 900Kv，管电流 500ua，用于前道工序芯片离子注入。 12 台 Applied vlsta 900 3D 注入机的管电压 900KV，管电流 1.5ma，用于前道工序芯片离子 注入。 1台Apphed vlsta javlin 注入机的管电压 900Ky,管电流 1.5ma,用于前道工序芯片离子注入。 5台ULVACIH-86OPSICI注入机的管电压 900KV，管电流 1ma,用于前道工序芯片离子注入。 1台中科信 CI-S400A5 注入机的管电压 900KV，管电流 1.5ma，用于前道工序芯片离了注入。 | ||
| 主要环境影响 | 采取的环保措施及排放去向 | ||
| 辐射环境影响 | 环保措施: 环保措施:一 辐射影响防治措施1源项控制:设备有较为完善的辐射防护措施，注入区域有铅板进行防护，并且注入区域的工作环境要求为真空状态，如出现漏缝，空气进入注入区，高能电子束无法开启，也不会伴随辐射产生。注入机通电运行时有联锁装置无法打开铅门，只有在断电后联锁装置才会释放才能打开防护门。机身前后四周及内部设有紧急停止按钮，异常情况下周围工作人员可立即切断电源。2距离防护:离子注入区域X射线装置工作场所设置明显的电离辐射警示标志，设备上安装工作警示灯，设备工作时开启警示灯及工作状态指示灯，告诫无关人员勿靠近此场所。射线装置操作区域与设备工作区隔离，防止无关人员进入。3屏蔽防护措施:注入机进行离子注入时芯片均在装置内部进行操作，主射线不朝向机门，设离子源部分，束线管道部分设有铅板防护，设备机身门板含有铅板进行屏蔽防护。二 规范管理1根据相关辐射安全管理规定，进行日常管理，并根据辐射事故应急预案组织定期演练。2根据公司设备维护保养和检修规范，由专职工程师定期保养维护和安全检查。3有专职管理人员负责辐射安全管理4防护用品和监测仪器:公司为30名辐射工作人员配备30只个人剂量计（具体人数视日后产线生产情况需求而定），1台辐射监测仪。5有辐射工作人员的职业安全档案，个人剂量贴每季度按时送检并建立个人剂量档案，辐射工作人员按照法规进行职业健康体检6公司定期对全体辐射工作人员进行辐射安全和防护知识培训。三 噪声影响本射线装置工作时将产生一定的噪声，其噪声值小于60db，经装置机壳及车间墙壁隔声，工作环境满足声环境要求。 | ||
| 承诺：**** 陈刚承诺所填写各项内容真实、准确、完整，建设项目符合《建设项目环境影响登记表备案管理办法》的规定。如存在弄虚作假、隐瞒欺骗等情况及由此导致的一切后果由 ****， 陈刚 承担全部责任。 | |||
| 备案回执：该项目环境影响登记表已经完成备案，备案号：202********0000006。 | |||
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