陷波滤光片采购结果公告
申购单主题: | 陷波滤光片 | 申购单位: | **** | ||||
申购备注: | 闫勇/祝汉旺 |
设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | |||
陷波滤光片 | **锐智光学 | RZ-CGH-80-108 | 1 | 国内含税价/人民币 | |||
售后服务 | 保修期内提供设备的使用及安全维护 | ||||||
规格 | 1. 类型:振幅型CGH; 2. 基底材料:石英玻璃; 3. 检测波段:632.8 nm; 4. 检测对象:口径≥108 mm的离轴抛物面; 5. 结构尺寸:直径≥70mm,厚度≤10mm; 6. 产品具有对准区,其中对准区采用十字叉丝定位和标准球面波对准的形式; 7. 设计检测精度:检测区面形检测设计残余波像差RMS值≤0.001λ@632.8nm,对准区面形设计残余波像差RMS值≤****@632.8nm,提供设计报告; 8. 线宽:检测区和对准区的线宽≥2 μm,满足高精度光刻制作; | ||||||
中标供应商 | 单价 | 初选理由 | |||||
**** | 80000 | 最低价原则 |
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