MEMS器件研发与制造项目
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| **** | 建设单位代码类型：|
| 916********105299K | 建设单位法人：周翔 |
| 赵冬峰 | 建设单位所在行政区划：**省**市高新区 |
| **市高新区毕原三路3000号 |
建设项目基本信息
| MEMS器件研发与制造项目 | 项目代码：**** |
| 建设性质： | |
| 2021版本:080-电子器件制造 | 行业类别（国民经济代码）：C3976-C3976-光电子器件制造 |
| 建设地点： | **省**市高新区 毕原三路3000号 |
| 经度:108.79524 纬度: 34.16418 | ****机关：****服务局 |
| 环评批复时间： | 2023-08-14 |
| 高新环评批复〔2023〕054号 | 本工程排污许可证编号：916********105299K001W |
| 2024-02-20 | 项目实际总投资(万元)：3200 |
| 349.5 | 运营单位名称：**** |
| 916********105299K | 验收监测(调查)报告编制机构名称：**** |
| 916********105299K | 验收监测单位：******公司 |
| ****0131MAB0J14A0W | 竣工时间：2024-06-27 |
| 2024-08-25 | 调试结束时间：2024-11-25 |
| 2024-11-22 | 验收报告公开结束时间：2024-12-20 |
| 验收报告公开载体： | https://www.****.com/gs/ |
2、工程变动信息
项目性质
| MEMS器件生产 | 实际建设情况：MEMS器件生产 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
规模
| 年生产MEMS光电器件5000片，其中4500片为产品，500片为研发实验的不良品 | 实际建设情况：年生产MEMS光电器件5000片，其中4500片为产品，500片为研发实验的不良品 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| 清洗-前烘烤-涂胶-预烘烤-曝光-显影-后烘烤-干法刻蚀1-干法去胶1-成膜-涂胶-预烘烤-曝光-显影-后烘烤-干法刻蚀2-干法去胶2-成膜3-涂胶-预烘烤-曝光-显影-后烘烤-湿蚀刻-湿法去胶-成膜4-铬湿蚀刻 | 实际建设情况：清洗-前烘烤-涂胶-预烘烤-曝光-显影-后烘烤-干法刻蚀1-）干法去胶1-成膜-涂胶-预烘烤-曝光-显影-后烘烤-干法刻蚀2-干法去胶2-成膜3-涂胶-预烘烤-曝光-显影-后烘烤-湿蚀刻-湿法去胶-成膜4-铬湿蚀刻 |
| 本项目未新增生产工艺，主要原辅材料增加BOE溶液（10%HF） | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| 1. 废气 项目运行期间产生的清洗碱性废气经负压收集后经酸液喷淋洗涤吸收塔处理后经过1根20m 高排气筒达标排放;产生的清洗酸性废气经负压收集后引至碱液喷淋洗涤吸收塔处理，干法刻蚀废气、干法去胶废气、成膜废气分别经管道收集后通过POU处理系统后引至碱液喷淋洗涤吸收塔处理，后经过1根20m高排气筒达标排放;前烘烤、光刻、湿法去胶工序产生的有机废气经负压收集后经活性炭吸附塔处理后经过1根20m高排气筒达标排放。 2. 废水 ****处理站一座，内设含氨废水处理系统和芬顿废水系统处理系统。项目运行期产生的清洗废水W1、酸液喷淋洗涤吸收塔排污水经收集后送入废水站含氨废水系统处理后经厂区排污口排入市政管网;产生的显影清洗废水W2、湿蚀刻清洗废水W3、去胶液清洗废水 W4、异丙醇清洗废水W5、碱液喷淋洗涤吸收塔排污水经收集后送入废水站芬顿废水系统处理后经厂区排污口排入市政管网;****园区化粪池处理后排入市政污水管网。 3. 噪声 合理设置高噪声设备，采取基础减振、柔性连接、隔声等降噪措施，确保运营期厂界噪声达标排放。 4. 生产产生的清洗废液、清洗废液、显影废液、湿蚀刻废液、去胶液废液、IPA 废液、铬蚀刻废液、废活性炭、废试剂瓶、不良实验品等属于危险废弃物，专用容器分类收集后存放于危险废物暂存间，定期交有资质的单位处置，危废暂存间设置要符合国家规范要求。 | 实际建设情况：1. 废气 项目运行期间产生的清洗碱性废气经负压收集后经酸液喷淋洗涤吸收塔处理后经过1根20.6m 高排气筒达标排放;产生的清洗酸性废气经负压收集后引至碱液喷淋洗涤吸收塔处理，干法刻蚀废气、干法去胶废气、成膜废气分别经管道收集后通过POU处理系统后引至碱液喷淋洗涤吸收塔处理，后经过1根20.6m高排气筒达标排放;前烘烤、光刻、湿法去胶工序产生的有机废气经负压收集后经活性炭吸附塔处理后经过1根21.1m高排气筒达标排放。 2. 废水 ****处理站一座，内设含氨废水处理系统和芬顿废水系统处理系统。项目运行期产生的清洗废水W1、酸液喷淋洗涤吸收塔排污水经收集后送入废水站含氨废水系统处理后经厂区排污口排入市政管网;产生的显影清洗废水W2、湿蚀刻清洗废水W3、去胶液清洗废水 W4、异丙醇清洗废水W5、碱液喷淋洗涤吸收塔排污水经收集后送入废水站芬顿废水系统处理后经厂区排污口排入市政管网;****园区化粪池处理后排入市政污水管网。 3. 噪声 合理设置高噪声设备，采取基础减振、软连接、隔声等降噪措施，确保运营期厂界噪声达标排放。 4. 项目产生的清洗废液、清洗废液、显影废液、湿蚀刻废液、去胶液废液、IPA 废液、铬蚀刻废液、废活性炭、废试剂瓶、不良实验品等属于危险废弃物，专用容器分类收集后存放于危险废物暂存间，定期交******公司处置，危废暂存间设置要符合国家规范要求。 |
| 排气筒高度增高 | 是否属于重大变动：|
其他
| 落实环境风险防范措施，加强项目运营期的环境风险管理，制定环境风险应急预案并定期演练，保证环境安全。 项目应严格执行排污许可证制度，项目新增污染物****生态环境厅排污权交易确认。 | 实际建设情况：建设单位已落实环境风险防范措施，突发环境事件应急预案已备案 建设单位已取得排污许可（登记编号916********105299k001w），项目新增污染物化学需氧量、****生态环境厅排污权交易确认。 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
| 0 | 0.13 | 0 | 0 | 0 | 0.13 | 0.13 | |
| 0 | 0.035 | 0.2 | 0 | 0 | 0.035 | 0.035 | |
| 0 | 0.0086 | 0.01 | 0 | 0 | 0.009 | 0.009 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 3322 | 0 | 0 | 0 | 3322 | 3322 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.145 | 0 | 0 | 0 | 0.145 | 0.145 | / |
| 0 | 0.033 | 0 | 0 | 0 | 0.033 | 0.033 | / |
| 0 | 0.005 | 0 | 0 | 0 | 0.005 | 0.005 | / |
| 0 | 0.026 | 0 | 0 | 0 | 0.026 | 0.026 | / |
| 0 | 0.026 | 0 | 0 | 0 | 0.026 | 0.026 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | ****处理站（含氨废水处理系统、芬顿处理系统） | 《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）、《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T 31962-2015）B级标准 | 已建成 | 排放口出口 |
表2 大气污染治理设施
| 1 | 管道收集+酸液喷淋洗涤吸收塔 | 《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93） | 已建成 | 排气筒出口 | |
| 2 | 管道收集+本地处理系统（POU）+碱液喷淋洗涤吸收塔 | 《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）、《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93） | 已建成 | 排气筒出口 | |
| 3 | 管道收集+活性炭吸附塔 | 《挥发性有机物排放控制标准》（DB61/T1061-2017） | 已建成 | 排气筒出口 |
表3 噪声治理设施
| 1 | 基础减振、软连接、厂房隔声 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中2类标准 | 已建成 | 北厂界 |
表4 地下水污染治理设施
| 1 | 重点防渗区：危险废物暂存库、废水处理间、化学品存储房；一般防渗区：纯水站、洁净生产车间； | 已落实 |
表5 固废治理设施
| 1 | 生产产生的清洗废液、清洗废液、显影废液、湿蚀刻废液、去胶液废液、IPA 废液、铬蚀刻废液、废活性炭、废试剂瓶、不良实验品等属于危险废弃物，专用容器分类收集后存放于危险废物暂存间，定期交有资质的单位处置，危废暂存间设置要符合国家规范要求。 | 已落实 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
| 1 | 按照《报告表》要求落实环境风险防范措施，加强项目运营期的环境风险管理，制定环境风险应急预案并定期演练，保证环境安全。 | 建设单位落实环境风险防范措施，突发环境事件应急预案已备案 |
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| ****园区化粪池处理后排入市政污水管网。 | 验收阶段落实情况：****园区化粪池处理后排入市政污水管网。 |
| / |
环保搬迁
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
区域削减
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
生态恢复、补偿或管理
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
功能置换
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
其他
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
6、工程建设对项目周边环境的影响
| / |
| / |
| / |
| / |
| / |
| / |
7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
招标导航更多>>
工程建筑
交通运输
环保绿化
医疗卫生
仪器仪表
水利水电
能源化工
弱电安防
办公文教
通讯电子
机械设备
农林牧渔
市政基建
政府部门
换一批
换一批