集成电路零部件广东省工程研究中心
| **** |
| 集成电路****研究中心 |
| **市**区云埔街道东众路42号中****创业园 |
| 5000.0000万元 |
| 本项目计划投资5000万元，围绕集成电路关键零部件严重依赖进口、自主可控能力薄弱等核心问题，依托已有约6000平方米的研发平台开展集成电路****研究中心的建设（不涉及产能建设），聚焦薄膜沉积、量检测、涂胶显影三大设备的关键零部件研发，突破精密加工、耐腐蚀技术等多项关键共性技术，并开发复合式大抽速干泵等核心装备零部件。 |
| **** |
| ****改革局 |
| 2024/12/25 16:56:28 |
| 2024-12-25 |
| 2025-01-01至2027-12-01 |
| 办结（通过） |
相关公告
招标导航更多>>
工程建筑
交通运输
环保绿化
医疗卫生
仪器仪表
水利水电
能源化工
弱电安防
办公文教
通讯电子
机械设备
农林牧渔
市政基建
政府部门
换一批
换一批