北方华创N5基地真空装备扩产项目（第二阶段）

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北方华创N5基地真空装备扩产项目（第二阶段）

更新时间	2024年12月26日
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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0117MA7F3ET451	顾为群
修艳洋	市区
市区马坊镇金石路20号院1号楼1至4层101

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

北方华创N5基地真空装备扩产项目（第二阶段）

2021版本:098-专业实验室、****基地	C3562-C3562-半导体器件专用设备制造
	市区马坊镇金石路20号院******公司三期生产厂房
经度:116.98612 纬度: 40.03966	****环境局
	2022-10-24
京平环审〔2022〕27号	****
2024-10-18	10000
290.2	****
****0117MA7F3ET451	华域**公司
911********220936X	华域公司,和瑞****公司
911******220936X,**0113MA00642J9N	2024-10-15
2024-10-29	2024-10-30
2024-11-26	2024-12-24
	https://www.****.com/gs/detail/2?id=41126Lcf1r

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

专用设备生产线：单晶装备年产225台、真空设备年产5台、锂电设备年产10台。建设试验基台（研发产品的试验线），研发、试制、试验产品包括多孔炭炉、渗碳炉、高温氢气炉、SiC CVD炉、叶片CVD、烤盘炉、石墨纯化炉和单晶炉等。	专用设备生产线：单晶装备年产225台、真空设备年产5台、锂电设备年产10台。建设试验基台（研发产品的试验线），研发、试制、试验产品包括渗碳炉、SiC CVD炉、石墨纯化炉和单晶炉。多孔炭炉、高温氢气炉、叶片CVD、烤盘炉不再研发试制。
多孔炭炉、高温氢气炉、叶片CVD、烤盘炉不再研发试制。

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

生产工艺：专用设备产品生产工艺：焊接、组装和整机调试/检验。试验基台测试产品试验工艺：放料、装料、预处理、沉积、取料、通气、工艺反应、冷却、加热、工艺试验、抽真空排气。	生产工艺：专用设备产品生产线：焊接、组装和整机调试/检验。试验基台（研发产品的试验线）：放料、装料、预处理、沉积、取料、通气、工艺反应、冷却、加热、工艺试验、抽真空排气。
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

废气：①焊接废气：主要为焊接烟尘（以颗粒物计）经移动式烟尘净化器处理后无组织排放。②乙醇废气：专用设备产品生产线酒精擦拭零部件挥发产生的乙醇废气（以非甲烷总烃计），因废气产生范围较大、点位比较分散，无法有效收集，乙醇废气无组织排放。③渗碳炉废气：废气成分主要为颗粒物，经配套1#滤筒除尘处理后通过1#25m高排气筒（DA001）排放。④SiC CVD炉废气：废气成分主要为氯化氢，经配套1#碱液喷淋吸收后通过1#25m高排气筒（DA001）排放。⑤叶片CVD炉废气：废气成分主要为氯化氢和硅烷，经配套2#碱液喷淋吸收后通过1#25m高排气筒（DA001）排放。⑥烤盘炉废气：废气成分主要为氯气和颗粒物，经配套2#滤筒除尘和碱性干式吸附剂吸附处理后通过1#25m高排气筒（DA001）排放。⑦石墨纯化炉废气：废气成分主要为氯气和颗粒物，经配套3#滤筒除尘和3#碱液喷淋吸收后通过1#25m高排气筒（DA001）排放。废水：生活污水经化粪池预处理后排入市政污水管网，最终进入**处理厂。固体废物：①生活垃圾：经分类收集后，由当地环卫部门定期清运处理。 ②一般工业固体废物：定期委托具有相应资格和技术能力的单位收运处置。 ③危险废物：租用北方华**公司**公司现有危废暂存间部分空间，分类暂存，定期委托有资质单位清运处置。噪声：采用设备基础减振、厂房隔声的措施。	废气：①焊接废气：主要为焊接烟尘（以颗粒物计）经移动式烟尘净化器处理后无组织排放。②乙醇废气：专用设备产品生产线酒精擦拭零部件挥发产生的乙醇废气（以非甲烷总烃计），因废气产生范围较大、点位比较分散，无法有效收集，乙醇废气无组织排放。③渗碳炉废气：废气成分主要为颗粒物，经配套1#滤筒除尘处理后通过1#25m高排气筒（DA001）排放。④SiC CVD炉废气：废气成分主要为氯化氢，经配套1#碱液喷淋吸收后通过1#25m高排气筒（DA001）排放。⑤石墨纯化炉废气：废气成分主要为氯气和颗粒物，经配套3#滤筒除尘和3#碱液喷淋吸收后通过1#25m高排气筒（DA001）排放。废水：生活污水经化粪池预处理后排入市政污水管网，最终进入**处理厂。固体废物：①生活垃圾：经分类收集后，由当地环卫部门定期清运处理。 ②一般工业固体废物：园区承租公司（北方华**公司）交由公司收运处置。 ③危险废物：危险废物暂存于危废暂存间（10m2），委托****公司定期清运处置。噪声：采用设备基础减振、厂房隔声的措施。
产生叶片CVD炉废气的叶片CVD炉不再研发试制、产生烤盘炉废气的烤盘炉不再研发试制。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

无	无
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0.0722	0.072	0.072
0.0672	0.067	0.067
0.013	0.013	0.013
0	0	0
0	0	0
0	0	0	/
0	0	0	/
0	0	0	/
0.0223	0.022	0.022	/
0.04	0.04	0.04	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

化粪池

《水污染物综合排放标准》（DB11/307-2013）

生活污水经化粪池预处理后排入市政污水管网，最终进入****处理厂。

连续监测2天，每天监测4次

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	移动式烟尘净化器	《大气污染物综合排放标准》（DB11/501-2017	焊接废气主要为焊接烟尘（以颗粒物计），经移动式烟尘净化器处理后无组织排放。	连续监测2天，每天监测3次
2	无	《大气污染物综合排放标准》（DB11/501-2017）	专用设备产品生产线酒精擦拭零部件挥发产生的乙醇废气（以非甲烷总烃计），因废气产生范围较大、点位比较分散，无法有效收集，乙醇废气无组织排放。	连续监测2天，每天监测3次
3	废气集中处理装置（4#碱液喷淋塔+5#碱液喷淋装置）+1#25m高排气筒（DA001)	《大气污染物综合排放标准》（DB11/501-2017）	渗碳炉废气：废气成分主要为颗粒物，经配套1#滤筒除尘处理后通过1#25m高排气筒（DA001）排放；SiC CVD炉废气：废气成分主要为氯化氢，经配套1#碱液喷淋吸收后通过1#25m高排气筒（DA001）排放；石墨纯化炉废气：废气成分主要为氯气和颗粒物，经配套3#滤筒除尘和3#碱液喷淋吸收后通过1#25m高排气筒（DA001）排放；	连续监测2天，每天监测3次

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

设备基础减振、厂房隔声

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）的3类标准限值

运营期产生的噪声为生产设备的运行噪声，采用设备基础减振、厂房隔声的措施降低对周围环境的影响。

检测西、南、东、北侧厂界外1m昼间、夜间噪声，昼、夜各1次，连续2天。

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

生活垃圾：经分类收集后，由当地环卫部门定期清运处理。一般工业固体废物：定期委托具有相应资格和技术能力的单位收运处置。危险废物：租用**北方华****公司****公司现有危废暂存间部分空间，分类暂存，定期委托有资质单位清运处置。

生活垃圾：经分类收集后，由当地环卫部门定期清运处理。一般工业固体废物：****园区承租公司（**北方华****公司）交由****公司收运处置。危险废物：危险废物暂存于危废暂存间（10m2），委托******公司定期清运处置。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程