西北大学原子层沉积系统采购项目(三次)中标（成交）结果公告
一、项目编号：****
二、项目名称：原子层沉积系统采购项目(三次)
三、采购结果
合同包1(原子层沉积系统采购项目):
| **** | **省**市 | 最低评标（审）价法 | 否 | 459,900.00元 | 459,900.00元 |
四、主要标的信息
合同包1(原子层沉积系统采购项目):
货物类（****）
| 1-1 | 其他电工、电子生产设备 | 原子层沉积系统 | MCRI FH | 1、设备主机 1）适用于8英寸以及小尺寸样品薄膜沉积；沉积薄膜的均匀性不低于如下标准：在8英寸晶圆上沉积50nm薄膜（如氧化铝），以晶圆上5个均匀分散点（上、下、左、右、中心）进行椭偏仪测试膜厚，薄膜不均匀性≤2%。 2）控制方式：PLC+触摸屏； 3）多种沉积模式。 2、反应腔系统 1）反应腔材质为316L不锈钢，电解抛光； 2）样品台尺寸：标准8英寸腔体； 3）样品台加热温度最高可达400℃，控制精度为±1℃； 4）反应腔配备自动充气及过压保护功能。 3、前驱体输送系统 1）提供常温源，加热源和载气辅助源各前驱体源多路实现（至少可实现常温源1路，加热源3路，载气辅助源2路）； 2）前驱体输送管路加热温度范围不低于RT-150℃； 3）配备各前驱体源ALD阀门，加热源配备耐高温阀，确保源瓶温度加热不小于RT-200℃范围； 4）管路及接头均采用316 EP级电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用真空卡套及VCR连接；载气管路采用N2或者Ar气体，通过质量流量控制器控制，并实现清洗功能。 4、臭氧源系统 1）配备臭氧发生器、臭氧破坏器、MFC（量程0-200sccm）； 2）臭氧发生器产量可达20 g/h，浓度可达100 g/m3； 3）臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水。 5、真空系统 1）真空泵采用机械泵；真空产生系统优于3Pa； 2）真空测量检测范围5×10-4~1000 mbar； 3）真空泵前热阱前端全程伴热温度范围优于RT-150℃，防止过量前驱体冷凝，热阱温度范围优于RT-300℃，控制精度±1℃。 6、控制系统 采用高稳定性PLC控制系统，实现软件全自动控制加热、流量等全部沉积过程，以及温度、压强等实时监控。可实现配方编辑、保存、读取等功能；所有ALD阀门具备自动排空功能，管线具备自动清洗功能等。当发生异常时触发报警并做出响应，报警日志可进行回看。 7、验收指标 在8英寸晶圆上沉积50nm薄膜（如氧化铝），以晶圆上5个均匀分散点（上、下、左、右、中心）进行椭偏仪测试膜厚，薄膜不均匀性≤2%。 8、服务 质保期1年，软件终身免费升级。 | 1.00(套) | 459,900.00 | 459,900.00 |
五、评审专家（单一来源采购人员）名单：
黄志晖、霍忠惠、雷晓艺（采购人代表）
六、代理服务收费标准及金额：
| 合同包号 | 合同包名称 | 代理服务费金额（万元） | 收取对象 |
| 1 | 原子层沉积系统采购项目 | 0.5518 | 中标（成交）供应商 |
七、公告期限
自本公告发布之日起1个工作日。
八、其他补充事宜
无
九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名称：****
地址：**北路229号
联系方式：029-****2565
2.采购代理机构信息名称：****
地址：**市朱雀大街南段1号汇成天玺C座18层
联系方式：029-****2321
3.项目联系方式项目联系人：秦工
电话：029-****2321
****
2024年12月26日
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