项目名称

皇庭国际（意发功率）年产24万片新能源车用高端芯片项目

建设地点

**市高新区德能产业园5号楼

建设单位

****

环评机构

******公司

建设项目概况

皇庭国际（意发功率）年产24万片新能源车用高端芯片项目位于**市高新区德能产业园5号楼，新增占地面积约3157.87m2,属改扩建项目。企业现有年产48万片6英寸功率器件晶圆项目，通过购置推进炉、清洗机、光刻机、烘箱、显影机、甩干机、腐蚀槽、去胶槽、蒸发台、减薄机、贴膜机、撕膜机、溅射台、注入机等生产设备扩建年产24万片新能源车用高端芯片项目。扩建后全厂产品方案为年产72万片6英寸功率器件晶圆。

项目以硅片为材料，通过硅片清洗、扩散/氧化、光刻、刻蚀、去胶、离子注入、化学气相沉积、溅射铝、减薄、检验等工序生产功率器件晶圆。

项目总投资16000万元，其中环保投资29万元。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

1、废气污染防治措施

项目废气主要为酸性废气（硫酸雾、氟化物、氯化氢、二氧化硫、氮氧化物）、碱性废气（氨）、有机废气（TVOC（以非甲烷总烃计））、电子特气（氯化氢、氮氧化物、氟化物、二氧化硫）。

酸性废气、碱性废气、电子特气收集经碱液喷淋塔处理后通过15m高排气筒（DA003）排放；有机废气收集经二级活性炭处理后通过15m高排气筒（DA004）排放。硫酸雾、氟化物、氯化氢、二氧化硫、氮氧化物废气满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）二级排放限值要求；氨、臭气浓度满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）新、扩、改建项目二级标准；TVOC（以非甲烷总烃计）满足**地方标准《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB12/524-2020）表1电子工业-半导体制造工艺挥发性有机物有组织排放标准；磷酸雾参照**市地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）中相关标准。

2、废水污染防治措施

项目废水主要为一般酸碱废水、软水制备废水、研磨废水、含氟废水、生活污水等。

一般酸碱废水依托现有综合废水处理系统（综合调节池+二级反应池+斜管沉淀池）处理，研磨废水依托现有研磨废水处理系统（三级反应池+斜管沉淀池+砂滤池）+综合废水处理系统处理，含氟废水依托现有含氟废水处理系统（四级反应池+斜管沉淀池+三级反应池+斜管沉淀池）+综合废水处理系统处理，生活污水经化粪池处理，与软水制备****工业园污水处理厂处理，其中pH、COD、BOD5、SS、氨氮、TN、TP应满足纳管标准，氟化物满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1半导体器件间接排放标准，硫酸盐、氯化物满足《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T 31962-2015）中B等级标准限值，最终外排至**河。

3、噪声污染防治措施

项目噪声主要来源于各生产设备运转产生的噪声。通过选用低强度噪声设备，采取消声、减震等综合治理措施，以及加强厂区内绿化等措施，可有效减少设备噪声对厂界声环境的影响，项目厂界噪声排放可满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准要求。

4、固体废物污染防治措施

项目产生的危险废物按《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）的相关要求管理；产生的一般固废按《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）的要求管理；生活垃圾交由城市环卫部门统一处理。在严格按照固体废物管理管理法，确保固体废物在中转、运输和综合利用的过程中不造成二次污染的情况下，加强生产管理。

5、严格落实环境风险防范措施。

严格落实各项环境风险防控措施，认真制定环境风险应急预案，配备环境应急设施和装备。一旦发生环境风险事故，必须立即启动环境风险应急预案，控制并削减对外环境的污染影响。

6、项目周边控制规划要求。

项目卫生防护距离为5号厂房周边50m，6号厂房、化学品仓库周边100m。项目卫生防护距离范围内不得**居民住宅、学校、医院等环境敏感性建筑物。

公众参与

情况

项目在审批**行了受理公示，无单位或个人反对本项目的建设。