杭州富芯12英寸模拟集成电路芯片生产线项目（一期）扩建10台射线装置项目
建设项目环境影响登记表
填表日期：2024-12-27
| 项目名称 | **富芯12英寸模拟集成电路芯片生产线项目（一期）扩建10台射线装置项目 | ||
| 建设地点 | **省**市**区灵桥镇滨富大道135号（滨富**区） | 建筑面积 （平方米） | 214064 |
| 建设单位 | **** | 法定代表人 | 李荐民 |
| 联系人 | 罗凌燕 | 联系电话 | 189****5935 |
| 项目投资(万元) | ****000 | 环保投资(万元) | 56150 |
| 拟投入生产运营日期 | 2025-02-10 | ||
| 建设性质 | 扩建 | ||
| 备案依据 | 该项目属于《建设项目环境影响评价分类管理名录》中应当填报环境影响登记表的建设项目，属于第172 核技术利用建设项目项中销售Ⅰ类、Ⅱ类、Ⅲ类、Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；使用Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；医疗机构使用植入治疗用放射性粒子源的；销售非密封放射性物质的；销售Ⅱ类射线装置的；生产、销售、使用Ⅲ类射线装置的。 | ||
| 建设内容及规模 | 一、建设内容：本项目为集成电路制造，本次洁净车间新增10台射线装置； 二、建设规模：1.本次新增10台射线装置使用规模：VIIsta 900XPT 3台，管电压为300kv，管电流为3mA；VIIsta HCS 1台，管电压为60kv，管电流为30mA；Pruion XE 4台，管电压为90kv，管电流为60mA；Pruion VXE 1台，管电压为90kv，管电流为60mA；VIIsta Trident XP2 1台，管电压为80kv，管电流为30mA。使用位置均在洁净车间扩散部离子注入课区域。2. 原有射线装置使用规模：已安装使用射线装置7台。VIISta Trident XP2 1台，管电压为80kv，管电流为30mA；Purion VXE1台，管电压为90kv，管电流为60mA； VIISta Trident MEHD2变更为 VIISta MEHD2， 共3台，管电压为200kv，管电流为3mA；VIISta Trident HCS变更为VIISta HCS，共2台，管电压为60kv，管电流为30mA | ||
| 主要环境影响 | 采取的环保措施及排放去向 | ||
| 辐射环境影响 | 环保措施: 环保措施:环保措施:环保措施:一、污染防护措施：1.防护设计：依据《电离辐射防护与辐射源安全基本标准》（GB18871-2002）等要求，本项目中已安装并使用的7台射线装置和本次新增的10台射线装置均设置在洁净车间内，均具有单独的放置区域，满足使用设备的空间要求和辐射防护要求，洁净车间内布局合理；2.警示标识：每台设备均设置有工作指示灯和电离辐射标志并有中文说明。3.通风设置：洁净车间内采用新风系统排风进行空气更新，符合设计标准要求；4.防护用品和监测仪器：本项目设备配备有个人剂量计13个，个人辐射剂量报警仪1个。二、安全管理措施：1.有专职管理人员负责辐射安全管理；2.规则制度：辐射防护和安全保卫制度、操作规程、岗位职责、设备检修维护制度、人员培训制度、监测方案；3.有辐射事故应急措施；4.个人剂量监测、职业健康体检，并建立个人剂量档案和个人健康档案；5.参加辐射安全和防护知识培训 。 | ||
| 承诺：**** 李荐民承诺所填写各项内容真实、准确、完整，建设项目符合《建设项目环境影响登记表备案管理办法》的规定。如存在弄虚作假、隐瞒欺骗等情况及由此导致的一切后果由 ****， 李荐民 承担全部责任。 | |||
| 备案回执：该项目环境影响登记表已经完成备案，备案号：202********0000221。 | |||
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