芯联先锋集成电路制造（绍兴）有限公司中芯绍兴三期12英寸特色工艺晶圆制造中试线项目（先行）

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芯联先锋集成电路制造（绍兴）有限公司中芯绍兴三期12英寸特色工艺晶圆制造中试线项目（先行）

更新时间	2024年12月31日
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关键信息	集成电路晶圆
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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0602MA7G7TEL24	赵奇
丁东	省市越**
省市越皋埠街道路508号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

** 中芯三期12英寸特色工艺晶圆制造中试线项目（先行）

2021版本:080-电子器件制造	C3973-C3973-集成电路制造
	省市越皋埠街道路508号
经度:120.67127 纬度: 29.99248	****环境局
	2023-08-02
绍市环越审〔2023〕15号	****
2024-05-27	401500
16210	****
****0602MA7G7TEL24	****
****0602MA7G7TEL24	市**公司
****0600MA2886EB71	2024-05-20
2024-06-15	2024-07-31
2024-12-02	2024-12-27
	https://gs.****.cn/index.php?c=show id=103

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

月产12英寸晶圆1万片的中试规模	月产12英寸晶圆1万片的中试规模
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

本项目进行12英寸集成电路晶圆研发中试。集成电路是通过一定的工艺技术，将一些元器件（如晶体管、电阻、电容等）制作在一块晶片上，并在相互之间接线，做成电路，能实现一定功能的电子器件。集成电路的生产是一个非常复杂而又精密的系统工程，完整的集成电路生产包括掩膜设计、硅片制造、芯片前工序加工、芯片封装、芯片测试等工序，本项目仅涉及芯片前工序加工工序（下图中红色虚线部分内容），即晶圆制造工序。	本项目进行12英寸集成电路晶圆研发中试。集成电路是通过一定的工艺技术，将一些元器件（如晶体管、电阻、电容等）制作在一块晶片上，并在相互之间接线，做成电路，能实现一定功能的电子器件。集成电路的生产是一个非常复杂而又精密的系统工程，完整的集成电路生产包括掩膜设计、硅片制造、芯片前工序加工、芯片封装、芯片测试等工序，本项目仅涉及芯片前工序加工工序（下图中红色虚线部分内容），即晶圆制造工序。
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

落实水污染防治工作。落实雨污分流要求，项目产生的含氨废水、含氟废水、含铜废水、CMP废水、酸性废气洗涤塔排水、碱性废气洗涤塔排水等度水分别经各自废水处理系统处理后进入综合废水处理系统处理达标后纳入城市排污管网，最终送绍****公司处理达标后排放。项目废水纳管须达到《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)和《污水综合排放标准》(GB8978-1996)等相关限值，具体按“报告表”要求进行控制。落实大气污染防治工作。落实无组织废气控制措施规范设置排气简和标准化取样平台。本项目产生的酸性废气经碱喷淋装置处理、EPI酸性废气及不含砷工艺尾气经POU净化装置+碱液喷淋处理、碱性废气经酸液喷淋处理、有机废气经沸石转轮浓缩焚烧系统处理、含砷工艺尾气经POU 净化装置处理、锅炉采用低氮燃烧装置，项目废气排放执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)、《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)等标准要求，具体限值按“报告表”要求进行控制。落实固废污染防治措施。规范设置危险废物和一般固废暂存库。做好危险废物的入库、存放、出库记录，并设置危险废物识别标志，做好防雨、防渗、防漏等工作。项目产生的各类废酸、废有机溶剂等危险废物须委托有相应危险废物处理资质的单位进行安全妥善处置。委托处置危险度物的，须按照有关规定办理危险废物转移报批手续。一般固废贮存和处置必须符合《一般工业固体度物贮存、处置场污染控制标准》(GB18599-2020)等相关要求。危险废物在厂区内暂存按《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)执行。落实噪声污染防治措施。项目合理布局，选用低噪声设备，同时采取必要的隔音、消声、减振降噪措施；合理安排操作时间，加强设备的日常维护和保养，加强车辆运输过程噪声控制，确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中相关限制要求。	本项目厂区采用清污分流、雨污分流排水体制。①W2含氨废水和W6-3碱性废气洗涤塔排水经含氨废水处理系统（空气吹脱+酸洗吸收）预处理后，与W1含氟废水、W6-1酸性废气洗涤塔排水、W6-2 POU洗涤塔排水一并进入含氟废水处理系统（混凝沉淀）进行处理；W3 CMP废水进入CMP废水处理系统（混凝沉淀）进行预处理；W5 含铜废水进入含铜废水处理系统（混凝沉淀）进行预处理；W4酸碱废水、W7纯水制备系统排水、W10 POU回收水系统排水和W11清洗水回收系统排水与经预处理处理后的废水一并进入综合废水中和系统（酸碱中和）处理达标后排入污水总排口纳管排放。②W9工艺冷却系统排水直接排入污水总排口纳管排放。③生活污水经预处理设施（格栅、隔油池）处理达标后排入污水总排口纳管排放。④雨水经厂区雨水管道收集后排入市政雨水管网。⑤由于锅炉不在本次验收范围内，因此不产生W8 锅炉系统排水。本项目产生的G5工艺尾气（不含砷）通过POU净化装置处理后与G1酸性废气和G8废水处理站废气、废液储罐废气一并进入总管，再由一根总管分为5路，分别再经酸性废气处理系统（碱液喷淋，4用1备）处理后通过35米高排气筒排放；G2 EPI酸性废气通过POU净化装置处理后再经过1套酸性废气处理系统（碱液喷淋）处理后通过1根35m排气筒高空排放；G3碱性废气经过1套碱性废气处理系统（酸液喷淋）处理后通过1根35m排气筒高空排放；G4有机废气经过1套有机废气处理系统（沸石转轮浓缩焚烧系统）处理后通过1根35m排气筒高空排放；G6含砷废气经过1套废气处理系统（干式吸附）处理后通过1根35m排气筒高空排放；G7废气处理设施天然气燃烧废气依托有机废气、酸性废气排气筒排放；G10食堂油烟依托芯联越州已建食堂油烟净化装置处理后通过35m排气筒高空排放；锅炉不在本次验收范围内，因此不产生G9锅炉烟气。项目产生的 S1废光阻及去光阻液、S8 废显影液和S9 废异丙醇委托**、**公司、市莱逸园**公司、**公司、**公司代为处置；S2 废硝酸、S3 废氢氟酸、S4 Chemical D 废液、S5 Chemical E 废液、S6 Al 蚀刻废液、S10 废硫酸和S11 废磷酸委托光大绿保固废公司、**公司、**公司代为处置；S12 硫酸铵废液委托光大绿保固废公司、**公司代为处置；S14 废 RO膜、S15 废吸附材料、S16 沾有酸、碱、有机溶剂及其他危险废弃物的固体废物、S17 废化学品容器委托**公司、市**公司、**公司、黑**公司代为处置；S18 废矿物油、S19废铅酸电池(UPS 系统更换)、S20 废灯管、S21 废电子零部件更换周期比较长，产生后暂存于危废间，一定量后交由有资质的单位代为处置；S7含铜废液和S13 含铜污泥委托特力**公司代为处置；S22废芯片、S23 废靶材、S24 废电极、S25 废研磨垫、S26 回收站收购；S27 含氟污泥和S28 研磨污泥委托碧诚环保公司和****公司处置；S29办公生活垃圾和S30餐厨垃圾均委托环卫部门清运。本项目所有固体废物均分类收集，妥善处置。本项目生产设备位于洁净厂房内，声级较小，新增产噪设备主要为废气处理设备及风机等动力设备，企业生产依托现有厂区，通过合理规划厂区布局、将废气处理装置布置于楼顶上、高噪声设备安装基础减震、管道进出口配置气流消声器、加强设备维护、加强职工环保意识教育、增加厂区绿化等措施，确保厂界噪声满足环评中的噪声防治要求。
本项目废水、废气、噪声和固废的治理设施与环评基本一致，由于锅炉不在本次验收范围内，因此不产生锅炉系统排水和锅炉废气。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

落实环境风险防范与应急措施。你公司应编制环境风险防范及突发环境事件应急预案，及时报生态环境部门备案。突发环境事件应急预****政府和相关部门的应急预案相衔接。设置足够容量的事故应急池。项目污染防治设施及危险废物贮存场所等，须与主体工程一起按照安全生产要求设计，经相关职能部门审批同意后方可实施。有效防范因污染物事故排放或安全生产事故可能引发的环境风险，确保周边环境安全。你公司应按照安全生产管理要求运行和维护污染防治设施，建立安全生产管理制度，落实安全生产责任。	依托芯联越州动力厂房2的2个无机废水事故应急池（容积分别为1200m3及1500m3），**处理站下方的1个事故应急池（容积为5000m3），1个850m3的事故应急池可作为生产废水事故应急使用，动力厂房负一层的2个消防水池（容积为2400m3）。厂区设置雨水截止阀，并设置收集系统。企业已编制突发环境污染事件应急预案，已于2024年8月2环境局分局备案（备案号：330****024031M）。公司的废水、废气处理设施有专门的管理人员进行管理，建立安全生产责任制，落实安全责任人，实行安全生产检查制度，且严格执行，不定期进行安全培训。
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）砷(吨/年)

61.566	89.14	61.566	61.566
65.3	445.7	65.3	65.3
6.46	31.199	6.46	6.46
0	0	0	0
0	0	0	0
0	0	0	0	/
1.71	2.35	1.71	1.71	/
6.092	19.3	6.092	6.092	/
6.134	10.6	6.134	6.134	/
0.227	5.37	0.227	0.227	/
0.0001	0.0015	0	0	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

综合废水处理设施

本项目氨氮执行**省《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013）；BOD5、动植物油执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中的三级排放标准；其他因子在废水总排口执行《电子工业水污染物排放标准（发布稿）》（GB39731-2020）表 1 ****器件行业的间接排放限值。

本项目厂区采用清污分流、雨污分流排水体制。①W2含氨废水和W6-3碱性废气洗涤塔排水经含氨废水处理系统（空气吹脱+酸洗吸收）预处理后，与W1含氟废水、W6-1酸性废气洗涤塔排水、W6-2 POU洗涤塔排水一并进入含氟废水处理系统（混凝沉淀）进行处理；W3 CMP废水进入CMP废水处理系统（混凝沉淀）进行预处理；W5 含铜废水进入含铜废水处理系统（混凝沉淀）进行预处理；W4酸碱废水、W7纯水制备系统排水、W10 POU回收水系统排水和W11清洗水回收系统排水与经预处理处理后的废水一并进入综合废水中和系统（酸碱中和）处理达标后排入污水总排口纳管排放。②W9工艺冷却系统排水直接排入污水总排口纳管排放。③生活污水经预处理设施（格栅、隔油池）处理达标后排入污水总排口纳管排放。④雨水经厂区雨水管道收集后排入市政雨水管网。⑤由于锅炉不在本次验收范围内，因此不产生W8 锅炉系统排水。

pH、COD、BOD5、氨氮、总磷、氟化物、总氮、SS 、总铜、动植物油、阴离子表面活性剂、TOC

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	酸性废气+污水池废气+废液储罐废气“燃烧+水洗+碱喷淋”处理装置	酸性废气处理装置出口中氟化物、氯化氢、氯气、硫酸雾、颗粒物和NOX和SO2执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源大气污染物排放标准中的二级标准；氨、臭气浓度（无量纲）执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2中的恶臭污染物排放标准值	本项目产生的G5工艺尾气（不含砷）通过POU净化装置处理后与G1酸性废气和G8废水处理站废气、废液储罐废气一并进入总管，再由一根总管分为5路，分别再经酸性废气处理系统（碱液喷淋，4用1备）处理后通过35米高排气筒排放。	废气参数、氟化物、氯化氢、氯气、硫酸雾、氨、氮氧化物、二氧化硫、臭气浓度、颗粒物
2	EPI酸性废气“燃烧+水洗+碱喷淋”处理装置	EPI酸性废气处理装置出口中氯化氢、颗粒物、NOX和SO2执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源大气污染物排放标准中的二级标准。	G2 EPI酸性废气通过POU净化装置处理后再经过1套酸性废气处理系统（碱液喷淋）处理后通过1根35m排气筒高空排放。	废气参数、氯化氢、氮氧化物、二氧化硫、颗粒物
3	碱性废气“酸喷淋”处理装置	碱性废气处理装置出口中颗粒物执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源大气污染物排放标准中的二级标准；氨执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2中的恶臭污染物排放标准值。	G3碱性废气经过1套碱性废气处理系统（酸液喷淋）处理后通过1根35m排气筒高空排放。	废气参数、氨、颗粒物
4	有机废气“沸石转轮浓缩+燃烧”处理装置	有机废气处理装置出口中颗粒物、异丙醇（按非甲烷总烃评价）、丙酮（按非甲烷总烃评价）、NOX和SO2执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源大气污染物排放标准中的二级标准；VOCS执行**省《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表3中的大气污染物排放限值。	G4有机废气经过1套有机废气处理系统（沸石转轮浓缩焚烧系统）处理后通过1根35m排气筒高空排放。	废气参数、氮氧化物、二氧化硫、颗粒物、VOCs、异丙醇、丙酮
5	含砷废气“干式吸附”处理装置	本项目含砷废气排放口中氟化物和氯气的排放执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源大气污染物排放标准中的二级标准；砷及其化合物的排放参考执行**市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）表 1 中的要求。	G6含砷废气经过1套废气处理系统（干式吸附）处理后通过1根35m排气筒高空排放。	废气参数、砷及其化合物、氟化物、氯气
6	食堂油烟“静电式油烟净化器”处理装置	本项目食堂油烟排放执行《饮食业油烟排放标准（试行）》（GB18483-2001）中的大型规模排放限值。	G10食堂油烟依托芯联越州已建食堂油烟净化装置处理后通过35m排气筒高空排放。	废气参数、食堂油烟

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

噪声防治措施

执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）2类标准

本项目生产设备位于洁净厂房内，声级较小，新增产噪设备主要为废气处理设备及风机等动力设备，企业生产依托现有厂区，通过合理规划厂区布局、将废气处理装置布置于楼顶上、高噪声设备安装基础减震、管道进出口配置气流消声器、加强设备维护、加强职工环保意识教育、增加厂区绿化等措施，确保厂界噪声满足环评中的噪声防治要求。

噪声

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

落实固废污染防治措施。规范设置危险废物和一般固废暂存库。做好危险废物的入库、存放、出库记录，并设置危险废物识别标志，做好防雨、防渗、防漏等工作。项目产生的各类废酸、废有机溶剂等危险废物须委托有相应危险废物处理资质的单位进行安全妥善处置。委托处置危险度物的，须按照有关规定办理危险废物转移报批手续。一般固废贮存和处置必须符合《一般工业固体度物贮存、处置场污染控制标准》(GB18599-2020)等相关要求。危险废物在厂区内暂存按《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)执行。

项目产生的 S1废光阻及去光阻液、S8 废显影液和S9 废异丙醇委托****、******公司、**市莱逸园****公司、******公司、******公司代为处置；S2 废硝酸、S3 废氢氟酸、S4 Chemical D 废液、S5 Chemical E 废液、S6 Al 蚀刻废液、S10 废硫酸和S11 废磷酸委托光大绿保固废****公司、******公司、******公司代为处置；S12 硫酸铵废液委托光大绿保固废****公司、******公司代为处置；S14 废 RO膜、S15 废吸附材料、S16 沾有酸、碱、有机溶剂及其他危险废弃物的固体废物、S17 废化学品容器委托******公司、**市****公司、******公司、**黑****公司代为处置；S18 废矿物油、S19废铅酸电池(UPS 系统更换)、S20 废灯管、S21 废电子零部件更换周期比较长，产生后暂存于危废间，一定量后交由有资质的单位代为处置；S7含铜废液和S13 含铜污泥委托**特力****公司代为处置；S22废芯片、S23 废靶材、S24 废电极、S25 废研磨垫、S26 ****回收站收购；S27 含氟污泥和S28 研磨污泥委托碧诚环保****公司和******公司处置；S29办公生活垃圾和S30餐厨垃圾均委托环卫部门清运。本项目所有固体废物均分类收集，妥善处置。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

落实环境风险防范与应急措施。你公司应编制环境风险防范及突发环境事件应急预案，及时报生态环境部门备案。突发环境事件应急预****政府和相关部门的应急预案相衔接。设置足够容量的事故应急池。项目污染防治设施及危险废物贮存场所等，须与主体工程一起按照安全生产要求设计，经相关职能部门审批同意后方可实施。有效防范因污染物事故排放或安全生产事故可能引发的环境风险，确保周边环境安全。你公司应按照安全生产管理要求运行和维护污染防治设施，建立安全生产管理制度，落实安全生产责任。

依托芯联越州动力厂房2的2个无机废水事故应急池（容积分别为1200m3及1500m3），****处理站下方的1个事故应急池（容积为5000m3），1个850m3的事故应急池可作为生产废水事故应急使用，动力厂房负一层的2个消防水池（容积为2400m3）。厂区设置雨水截止阀，并设置收集系统。企业已编制突发环境污染事件应急预案，已于2024年8月2****环境局**分局备案（备案号：330****024031M）。公司的废水、废气处理设施有专门的管理人员进行管理，建立安全生产责任制，落实安全责任人，实行安全生产检查制度，且严格执行，不定期进行安全培训。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程