1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称： 建设单位代码类型： 建设单位机构代码： 建设单位法人： 建设单位联系人： 建设单位所在行政区划： 建设单位详细地址：

****
****0200MA31GA8D5D	陈向东
高艺伟	****门市**区
**市**区兰英路99号

建设项目基本信息

项目名称： 项目代码： 项目类型： 建设性质： 行业类别（分类管理名录）： 行业类别（国民经济代码）： 工程性质： 建设地点： 中心坐标： ****机关： 环评文件类型： 环评批复时间： 环评审批文号： 本工程排污许可证编号： 排污许可批准时间： 项目实际总投资(万元)： 项目实际环保投资(万元)： 运营单位名称： 运营单位组织机构代码： 验收监测(调查)报告编制机构名称： 验收监测(调查)报告编制机构代码： 验收监测单位： 验收监测单位组织机构代码： 竣工时间： 调试起始时间： 调试结束时间： 验收报告公开起始时间： 验收报告公开结束时间： 验收报告公开形式： 验收报告公开载体：

SiC功率器件生产线建设项目	****
2021版本:080-电子器件制造	C3972-C3972-半导体分立器件制造
	****门市**区 **市**区兰英路99号
经度:117.99854 纬度: 24.48199	****环境局
	2022-08-18
厦海环审〔2022〕107号	****0200MA31GA8D5D001Q
2024-06-25	150000
1500	****
****0200MA31GA8D5D	****
****0200MA31GA8D5D	****研究院有限公司
****0205MAD854EM5F	2024-03-20
2024-08-01	2024-10-30
2024-11-21	2024-12-18
	https://www.****.org/yanshou/34824.html

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

改扩建	改扩建
无

规模

环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

新增生产SiC功率芯片产品，规模为MOSFET芯片28.8万片/年、SBD芯片28.8万片/年，同时减少GaN外延的蓝绿光LED芯片57.6万片/年（其外延产能不变，多余外延片外售），改扩建后全厂总规模不变，仍为672万片（等效2吋），其中蓝绿光芯片302.4万片/年，红光芯片312万片/年，SiC功率芯片57.6万片	新增生产SiC功率芯片产品，规模为MOSFET芯片28.8万片/年、SBD芯片28.8万片/年，同时减少GaN外延的蓝绿光LED芯片57.6万片/年（其外延产能不变，多余外延片外售），改扩建后全厂总规模不变，仍为672万片（等效2吋），其中蓝绿光芯片302.4万片/年，红光芯片312万片/年，SiC功率芯片57.6万片
无

生产工艺

环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

清洗、SiO2淀积、光刻、ICP干法蚀刻、去胶/清洗、干法蚀刻、湿法腐蚀、清洗、氧化、清洗、多晶硅淀积、清洗、SiO2淀积、光刻、ICP干法刻蚀、干法去胶、注入、清洗、退火、光刻、干法去胶、SiO2淀积、光刻、湿法腐蚀、清洗、氧化、多晶硅淀积、注入、光刻、多晶硅刻蚀、退火、SiO2淀积、光刻、干法刻蚀、去胶、光刻、干法刻蚀、去胶、金属溅射、光刻、金属刻蚀、干法去胶、SiO2沉积、光刻、SiO2干法刻蚀、干法去胶、后处理、退火、减薄、金属溅射、退火、金属腐蚀、金属溅射、检测、划片、目检、包装入库	清洗、SiO2淀积、光刻、ICP干法蚀刻、去胶/清洗、干法蚀刻、湿法腐蚀、清洗、氧化、清洗、多晶硅淀积、清洗、SiO2淀积、光刻、ICP干法刻蚀、干法去胶、注入、清洗、退火、光刻、干法去胶、SiO2淀积、光刻、湿法腐蚀、清洗、氧化、多晶硅淀积、注入、光刻、多晶硅刻蚀、退火、SiO2淀积、光刻、干法刻蚀、去胶、光刻、干法刻蚀、去胶、金属溅射、光刻、金属刻蚀、干法去胶、SiO2沉积、光刻、SiO2干法刻蚀、干法去胶、后处理、退火、减薄、金属溅射、退火、金属腐蚀、金属溅射、检测、划片、目检、包装入库
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

废水：改扩建项目SiC功率芯片生产线新增生产工艺废水主要包括酸碱废水、含氟废水、有机废水。根据建设单位提供资料，本次改扩建项目SiC功率芯片生产线生产工艺废水排放量约633.6m3/d（其中酸碱废水432m3/d、含氟废水168m3/d、有机废水33.6m3/d）；同时由于减少减少蓝绿光LED芯片生产产能，相应减少蓝绿光LED芯片生产线工艺清洗废水量合计656m3/d，其中减少酸碱清洗废水量404.7m3/d，减少有机清洗废水量56.7m3/d，减少含氟清洗废水量194.6m3/d。故改扩建项目酸碱废水、含氟废水、有机废水依托厂区现有废水站处理达标后，经厂区总排放口进入市政污水管网；废气：改扩建项目SiC生产线生产废气主要包括酸洗、干法刻蚀、湿法腐蚀、去胶、金属刻蚀、金属腐蚀工序产生的酸性废气（硫酸雾、氮氧化物、氯化氢、氯气、氟化物）、光刻、去胶、后处理工序产生的有机废气（非甲烷总烃）、注入、SiO2、淀积、多晶硅淀积工序产生的工艺废气（硅烷、PH3、氟化物、二氧化硫、氮氧化物）、氨水、双氧水腐蚀、清洗工序产生的碱性废气（氨）、废水站生化处理产生的臭气（氨、硫化氢、臭气浓度），本项目新增SiC生产线废气均依托现有工程的废气治理设施（其中酸性废气增加1套喷淋洗涤塔，并联共用）。项目的生产过程是在密闭的生产区及设备内进行，各生产区在厂房内又独立、分隔。辅助工程均依托现有工程，项目酸性废气（硫酸雾、氮氧化物、氯化氢、氯气、氟化物）先由排气管道输入废气洗涤塔，吸收液为10%氢氧化钠溶液，碱液经回圈喷洒而下，利用氢氧化钠溶液作吸收液净化酸雾废气，尾气经排气筒排入大气。项目共设有5套酸性废气处理系统，尾气合并后经1根排气筒排放（编号：DA004），排气筒高30m，内径为2000mm，单套系统风机风量55000m3/h（共6套风机，3用3备）。其中磷烷等采用POU处理后（采用等离子体工艺），排入酸性废气处理系统处理后排放，项目工艺废气（硅烷、PH3、氟化物、二氧化硫、氮氧化物，不含砷烷）经设备自带POU处理器（采用等离子体工艺）预处理后，再引入酸性废气处理系统，采用“碱液喷淋塔”处理，项目有机废气（非甲烷总烃）处理依托现有工程，采用“沸石转轮浓缩+焚烧”处理系统，“沸石转轮浓缩+焚烧”处理系统主要由风机、内装沸石的转轮、热交换器和浓缩气体燃烧器等组成。转轮由一组电机带动旋转，通过机械变换，使转速控制在每小时5-6转，整个系统通过吸附—解析—冷却三个过程，周而复始，动态循环。处理后的尾气经1根30m排气筒排放（编号：DA001），内径970mm，单套系统风机风量50000m3/h，项目碱性废气（氨）依托现有工程，采用2套（1用1备）喷淋洗涤塔处理，经处理后废气经1根16m排气筒排放，风机风量1000m3/h，****处理站调节池、有机废水处理系统、污泥池等已采取加盖收集臭气，并配套1套活性炭吸附+碱液喷淋装置除臭，恶臭气体（氨、硫化氢、臭气浓度）经收集处理后经1根25m高的排气筒排放（编号：DA002），风机风量50000m3/h；噪声：运营期噪声主要为设备的运行噪声，采取措施主要有以下：A. 使用低噪声设备，合理布置噪声源，生产设备全部位于密闭洁净车间内中部，通过车间墙体阻挡噪声传播。B. 主要噪声源上安装基础减振垫减振处理，厂房墙体隔声。C.风机安装减震器、风机排气口安装降噪设备，并带有内置降噪插件，安装风机隔音罩等。D.加强管理，避免在非工作时间进行生产，其噪声基本不会对周边环境产生影响。E.加强对所有设备的维护和日常维护管理，维持设备处于良好的运转状态，避免因设备不正常运转而产生的高噪声现象；固体废物：运营期固废主要包括一般工业固废、危险废物和生活垃圾。项目一般工业固废主要是为废纸类、废塑料类等废包装物，新增废纸、废塑料等废包装物暂存于一般工业固废贮存区，交由具有主体****物资部门回收利用，危险废物包括废有机溶剂、废酸液、废BOE蚀刻液、氟化铵腐蚀液等无机含氟废酸液、废显影液、废活性炭、废沸石、废润滑油、化学品废包装物，暂存于危废间，定期委托有资质的单位处理。	废水：改扩建项目SiC功率芯片生产线新增生产工艺废水主要包括酸碱废水、含氟废水、有机废水。根据建设单位提供资料，本次改扩建项目SiC功率芯片生产线生产工艺废水排放量约633.6m3/d（其中酸碱废水432m3/d、含氟废水168m3/d、有机废水33.6m3/d）；同时由于减少减少蓝绿光LED芯片生产产能，相应减少蓝绿光LED芯片生产线工艺清洗废水量合计656m3/d，其中减少酸碱清洗废水量404.7m3/d，减少有机清洗废水量56.7m3/d，减少含氟清洗废水量194.6m3/d。故改扩建项目酸碱废水、含氟废水、有机废水依托厂区现有废水站处理达标后，经厂区总排放口进入市政污水管网；废气：改扩建项目SiC生产线生产废气主要包括酸洗、干法刻蚀、湿法腐蚀、去胶、金属刻蚀、金属腐蚀工序产生的酸性废气（硫酸雾、氮氧化物、氯化氢、氯气、氟化物）、光刻、去胶、后处理工序产生的有机废气（非甲烷总烃）、注入、SiO2、淀积、多晶硅淀积工序产生的工艺废气（硅烷、PH3、氟化物、二氧化硫、氮氧化物）、氨水、双氧水腐蚀、清洗工序产生的碱性废气（氨）、废水站生化处理产生的臭气（氨、硫化氢、臭气浓度），本项目新增SiC生产线废气均依托现有工程的废气治理设施（其中酸性废气增加1套喷淋洗涤塔，并联共用）。项目的生产过程是在密闭的生产区及设备内进行，各生产区在厂房内又独立、分隔。辅助工程均依托现有工程，项目酸性废气（硫酸雾、氮氧化物、氯化氢、氯气、氟化物）先由排气管道输入废气洗涤塔，吸收液为10%氢氧化钠溶液，碱液经回圈喷洒而下，利用氢氧化钠溶液作吸收液净化酸雾废气，尾气经排气筒排入大气。项目共设有5套酸性废气处理系统，尾气合并后经1根排气筒排放（编号：DA004），排气筒高30m，内径为2000mm，单套系统风机风量55000m3/h（共6套风机，3用3备）。其中磷烷等采用POU处理后（采用等离子体工艺），排入酸性废气处理系统处理后排放，项目工艺废气（硅烷、PH3、氟化物、二氧化硫、氮氧化物，不含砷烷）经设备自带POU处理器（采用等离子体工艺）预处理后，再引入酸性废气处理系统，采用“碱液喷淋塔”处理，项目有机废气（非甲烷总烃）处理依托现有工程，采用“沸石转轮浓缩+焚烧”处理系统，“沸石转轮浓缩+焚烧”处理系统主要由风机、内装沸石的转轮、热交换器和浓缩气体燃烧器等组成。转轮由一组电机带动旋转，通过机械变换，使转速控制在每小时5-6转，整个系统通过吸附—解析—冷却三个过程，周而复始，动态循环。处理后的尾气经1根30m排气筒排放（编号：DA001），内径970mm，单套系统风机风量50000m3/h，项目碱性废气（氨）依托现有工程，采用2套（1用1备）喷淋洗涤塔处理，经处理后废气经1根16m排气筒排放，风机风量1000m3/h，****处理站调节池、有机废水处理系统、污泥池等已采取加盖收集臭气，并配套1套活性炭吸附+碱液喷淋装置除臭，恶臭气体（氨、硫化氢、臭气浓度）经收集处理后经1根25m高的排气筒排放（编号：DA002），风机风量50000m3/h；噪声：运营期噪声主要为设备的运行噪声，采取措施主要有以下：A. 使用低噪声设备，合理布置噪声源，生产设备全部位于密闭洁净车间内中部，通过车间墙体阻挡噪声传播。B. 主要噪声源上安装基础减振垫减振处理，厂房墙体隔声。C.风机安装减震器、风机排气口安装降噪设备，并带有内置降噪插件，安装风机隔音罩等。D.加强管理，避免在非工作时间进行生产，其噪声基本不会对周边环境产生影响。E.加强对所有设备的维护和日常维护管理，维持设备处于良好的运转状态，避免因设备不正常运转而产生的高噪声现象；固体废物：运营期固废主要包括一般工业固废、危险废物和生活垃圾。项目一般工业固废主要是为废纸类、废塑料类等废包装物，新增废纸、废塑料等废包装物暂存于一般工业固废贮存区，交由具有主体****物资部门回收利用，危险废物包括废有机溶剂、废酸液、废BOE蚀刻液、氟化铵腐蚀液等无机含氟废酸液、废显影液、废活性炭、废沸石、废润滑油、化学品废包装物，暂存于危废间，定期委托有资质的单位处理。
无

其他

环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

无	无
无

3、污染物排放量

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况

1	改扩建项目新增废水为酸碱废水、含氟废水、有机废水，依托现有工程废水处理设施处理，****处理站	《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放标准（2024年1月1日起执行）	改扩建项目新增废水为酸碱废水、含氟废水、有机废水，依托现有工程废水处理设施处理，****处理站	正常

表2 大气污染治理设施

序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况

1	酸性废气：排气管道+废气洗涤塔+合并经1根排气筒排放（编号：DA004）	《**市大气污染物排放标准》(DB35/323-2018)	酸性废气：排气管道+废气洗涤塔+合并经1根排气筒排放（编号：DA004）	正常
2	工艺废气：设备自带POU处理器（采用等离子体工艺）+酸性废气处理系统	《**市大气污染物排放标准》(DB35/323-2018)	工艺废气：设备自带POU处理器（采用等离子体工艺）+酸性废气处理系统	正常
3	有机废气依托现有工程，采用“沸石转轮浓缩+焚烧”处理系统，处理后的尾气经1根30m排气筒排放（编号：DA001）	《**市大气污染物排放标准》(DB35/323-2018)	有机废气依托现有工程，采用“沸石转轮浓缩+焚烧”处理系统，处理后的尾气经1根30m排气筒排放（编号：DA001）	正常
4	碱性废气（氨）依托现有工程，采用2套（1用1备）喷淋洗涤塔处理，经处理后废气经1根16m排气筒排放	《**市大气污染物排放标准》(DB35/323-2018)	碱性废气（氨）依托现有工程，采用2套（1用1备）喷淋洗涤塔处理，经处理后废气经1根16m排气筒排放	正常
5	污水处理站调节池、有机废水处理系统、污泥池等已采取加盖收集臭气，并配套1套活性炭吸附+碱液喷淋装置除臭，恶臭气体（氨、硫化氢、臭气浓度）经收集处理后经1根25m高的排气筒排放（编号：DA002）	《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）	污水处理站调节池、有机废水处理系统、污泥池等已采取加盖收集臭气，并配套1套活性炭吸附+碱液喷淋装置除臭，恶臭气体（氨、硫化氢、臭气浓度）经收集处理后经1根25m高的排气筒排放（编号：DA002）	正常

表3 噪声治理设施

序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况

1	A. 使用低噪声设备，合理布置噪声源，生产设备全部位于密闭洁净车间内中部，通过车间墙体阻挡噪声传播。B. 主要噪声源上安装基础减振垫减振处理，厂房墙体隔声。C.风机安装减震器、风机排气口安装降噪设备，并带有内置降噪插件，安装风机隔音罩等。D.加强管理，避免在非工作时间进行生产，其噪声基本不会对周边环境产生影响。E.加强对所有设备的维护和日常维护管理，维持设备处于良好的运转状态，避免因设备不正常运转而产生的高噪声现象	《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准	隔声罩、减震垫、合理车间布局	正常

表4 地下水污染治理设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求

1	项目一般工业固废主要是为废纸类、废塑料类等废包装物，新增废纸、废塑料等废包装物暂存于一般工业固废贮存区，交由具有主体****物资部门回收利用，危险废物包括废有机溶剂、废酸液、废BOE蚀刻液、氟化铵腐蚀液等无机含氟废酸液、废显影液、废活性炭、废沸石、废润滑油、化学品废包装物，暂存于危废间，定期委托有资质的单位处理。	项目一般工业固废主要是为废纸类、废塑料类等废包装物，新增废纸、废塑料等废包装物暂存于一般工业固废贮存区，交由具有主体****物资部门回收利用，危险废物包括废有机溶剂、废酸液、废BOE蚀刻液、氟化铵腐蚀液等无机含氟废酸液、废显影液、废活性炭、废沸石、废润滑油、化学品废包装物，暂存于危废间，定期委托有资质的单位处理。

表6 生态保护设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程

环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：

厂房、辅助工程、公用工程、仓储工程、废水处理设施、有机废气处理措施、碱性废气处理措施、废水处理站废气处理措施、一般固废暂存区、危险废物暂存区、防腐防渗措施、风险防范措施依托现有工程	厂房、辅助工程、公用工程、仓储工程、废水处理设施、有机废气处理措施、碱性废气处理措施、废水处理站废气处理措施、一般固废暂存区、危险废物暂存区、防腐防渗措施、风险防范措施依托现有工程
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环保搬迁

环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：

无	无
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区域削减

环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：

无	无
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生态恢复、补偿或管理

环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：

无	无
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功能置换

环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：

无	无
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其他

环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：

无	无
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6、工程建设对项目周边环境的影响

地表水是否达到验收执行标准： 地下水是否达到验收执行标准： 环境空气是否达到验收执行标准： 土壤是否达到验收执行标准： 海水是否达到验收执行标准： 敏感点噪声是否达到验收执行标准：

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7、验收结论