PSS衬底、倒装银镜芯片生产线建设项目
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| **** | 建设单位代码类型：|
| ****0200MA31GA8D5D | 建设单位法人：陈向东 |
| 高艺伟 | 建设单位所在行政区划：****门市**区 |
| **市**区兰英路99号 |
建设项目基本信息
| PSS衬底、倒装银镜芯片生产线建设项目 | 项目代码：**** |
| 建设性质： | |
| 2021版本:080-电子器件制造 | 行业类别（国民经济代码）：C3972-C3972-半导体分立器件制造 |
| 建设地点： | ****门市**区 **市**区兰英路99号 |
| 经度:117.99869 纬度: 24.48189 | ****机关：****环境局 |
| 环评批复时间： | 2024-07-04 |
| 厦环审〔2023〕23号 | 本工程排污许可证编号：****0200MA31GA8D5D001Q |
| 2024-06-25 | 项目实际总投资(万元)：500 |
| 75 | 运营单位名称：**** |
| ****0200MA31GA8D5D | 验收监测(调查)报告编制机构名称：**** |
| ****0200MA31GA8D5D | 验收监测单位：****研究院有限公司,******公司 |
| ****0205MAD854EM5F,****0205MAD854EM5F | 竣工时间：2024-03-20 |
| 调试结束时间： | |
| 2024-11-21 | 验收报告公开结束时间：2024-12-18 |
| 验收报告公开载体： | https://www.****.org/yanshou/34823.html |
2、工程变动信息
项目性质
| 扩建 | 实际建设情况：扩建 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
规模
| 增加蓝绿光LED芯片产能105.6万片/年，倒装银镜芯片产能144万片/年。扩建后，厂区内的产能为蓝绿光芯片408万片/年（现有302.4万片/年，新增105.6万片/年）、倒装银镜芯片144万片（新增）、红光芯片312万片/年（现有）、SiC功率芯片57.6万片（现有），总共为芯片产能921.6万片/年（等效2吋） | 实际建设情况：增加蓝绿光LED芯片产能105.6万片/年，倒装银镜芯片产能144万片/年。扩建后，厂区内的产能为蓝绿光芯片408万片/年（现有302.4万片/年，新增105.6万片/年）、倒装银镜芯片144万片（新增）、红光芯片312万片/年（现有）、SiC功率芯片57.6万片（现有），总共为芯片产能921.6万片/年（等效2吋） |
| 无 | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| 一、PSS工艺：（1）SiO2生长、（2）光刻、（3）ICP刻蚀、（4）去胶、（5）PSS腐蚀、（6）PSS清洗、（7）检查入库；二、蓝绿光外延片生产工艺：（1）装片、（2）镀AIN缓冲层、（3）外延、（4）检验；三、蓝绿光LED芯片工艺：（1）酸洗、高纯水冲洗、烘干、（2）N区光刻、（3）ICP干法蚀刻、（4）去胶和清洗、（5）SiO2钝化、（6）CBL光刻、（7）BOE蚀刻、（8）去胶、（9）ITO蒸镀、（10）退火、（11）ITO光刻、（12）ITO蚀刻、（13）NP电极光刻、（14）焊盘制备、（15）剥离、（16）去胶、（17）SiO2沉积、（18）SiO2光刻、（19）SiO2干法刻蚀、（20）减薄、（21）去蜡清洗、（22）检测、（24）激光划片、（25）切割、（26）测试、目检；四、倒装银镜芯片工艺：（1）外延片清洗 、（2）MESA光刻、（3）MESA干法蚀刻、（4）MESA打胶、（5）MESA去胶、（6）ISO光刻、ISO刻蚀、ISO去胶、（7）ITO前酸洗、（8）ITO蒸镀、退火、（9）ITO光刻、ITO打胶、（10）ITO腐蚀、（11）ITO去胶、ITO打胶2、（12）DO冲水、（13）DO沉积、（14）AG光刻、AG打胶1、（15）DO腐蚀、（16）AG打胶2、（17）AG冲水、（18）Ag蒸镀/剥离、（19）Ag去胶、（20）BAR光刻、BAR打胶、（21）BAR蒸镀/剥离、（22）D1沉积、D1光刻、D1刻蚀、D1打胶、D1去胶、D1冲水、同DO沉积、MESA光刻、MESA刻蚀、MESA打胶、MESA去胶、DO冲水、（23）NMT光刻、NMT打胶、NMT冲水NMT蒸镀/剥离、NMT去胶、同MESA光刻、MESA打胶、DO冲水、Ag蒸镀/剥离、MESA去胶、（24）D2冲水、D2沉积、D2光刻、D2刻蚀、D2去胶、、同DO冲水、DO沉积、MESA光刻、MESA刻蚀、MESA去胶。、（25）PAD光刻、PAD打胶、PAD冲水、PAD蒸镀/剥离、PAD去胶、同MESA光刻、MESA打胶、DO冲水、Ag蒸镀/剥离（只是靶材为金、锡）、MESA去胶、（26）减薄研磨、（27）下蜡清洗、（28）划片切割、（29）测试目检入库 | 实际建设情况：一、PSS工艺：（1）SiO2生长、（2）光刻、（3）ICP刻蚀、（4）去胶、（5）PSS腐蚀、（6）PSS清洗、（7）检查入库；二、蓝绿光外延片生产工艺：（1）装片、（2）镀AIN缓冲层、（3）外延、（4）检验；三、蓝绿光LED芯片工艺：（1）酸洗、高纯水冲洗、烘干、（2）N区光刻、（3）ICP干法蚀刻、（4）去胶和清洗、（5）SiO2钝化、（6）CBL光刻、（7）BOE蚀刻、（8）去胶、（9）ITO蒸镀、（10）退火、（11）ITO光刻、（12）ITO蚀刻、（13）NP电极光刻、（14）焊盘制备、（15）剥离、（16）去胶、（17）SiO2沉积、（18）SiO2光刻、（19）SiO2干法刻蚀、（20）减薄、（21）去蜡清洗、（22）检测、（24）激光划片、（25）切割、（26）测试、目检；四、倒装银镜芯片工艺：（1）外延片清洗 、（2）MESA光刻、（3）MESA干法蚀刻、（4）MESA打胶、（5）MESA去胶、（6）ISO光刻、ISO刻蚀、ISO去胶、（7）ITO前酸洗、（8）ITO蒸镀、退火、（9）ITO光刻、ITO打胶、（10）ITO腐蚀、（11）ITO去胶、ITO打胶2、（12）DO冲水、（13）DO沉积、（14）AG光刻、AG打胶1、（15）DO腐蚀、（16）AG打胶2、（17）AG冲水、（18）Ag蒸镀/剥离、（19）Ag去胶、（20）BAR光刻、BAR打胶、（21）BAR蒸镀/剥离、（22）D1沉积、D1光刻、D1刻蚀、D1打胶、D1去胶、D1冲水、同DO沉积、MESA光刻、MESA刻蚀、MESA打胶、MESA去胶、DO冲水、（23）NMT光刻、NMT打胶、NMT冲水NMT蒸镀/剥离、NMT去胶、同MESA光刻、MESA打胶、DO冲水、Ag蒸镀/剥离、MESA去胶、（24）D2冲水、D2沉积、D2光刻、D2刻蚀、D2去胶、、同DO冲水、DO沉积、MESA光刻、MESA刻蚀、MESA去胶。、（25）PAD光刻、PAD打胶、PAD冲水、PAD蒸镀/剥离、PAD去胶、同MESA光刻、MESA打胶、DO冲水、Ag蒸镀/剥离（只是靶材为金、锡）、MESA去胶、（26）减薄研磨、（27）下蜡清洗、（28）划片切割、（29）测试目检入库 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| 废水：生活污水经化粪池处理后进入废水站有机废水处理系统处理后通过市政污水管网纳入**水质净化厂统一处理；扩建后全厂生产废水为酸碱清洗废水、有机清洗废水、含氟清洗废水、减薄废水、含砷废水。减薄废水经处理后约80%回用于冷却塔补水/空调加湿补水/工艺冷却补水/动力设备补水等，剩余废水排入酸碱废水系统。酸碱清洗废水、有机清洗废水、含氟清洗废水经各自废气系统处理后混合汇入厂区三级酸碱中和池处理后达标后接入市政污水管网进入**水质净化厂；含砷废水经含砷废水处理系统处理达标后一起接入市政污水管网进入**水质净化厂；废气：扩建项目新增生产废气为光刻、去胶、后处理过程产生的有机废气（非甲烷总烃）；蓝绿光外延片、氨水清洗过程产生的碱性废气（NH3）；酸洗、腐蚀、刻蚀过程及工艺废气（淀积等）产生的酸性废气（硫酸雾、HCl、Cl2、氟化物、NOx）；污水处理站废气（H2S、NH3）。扩建后全厂废气为有机废气（非甲烷总烃、NOX、SO2、烟尘）、碱性废气（NH3）、酸性废气（硫酸雾、HCl、Cl2、NOx、氟化物、磷烷）、污水处理站废气（H2S、NH3）、工艺废气（砷烷、磷烷、NOX、SO2、烟尘）。有机废气经一套主要设施“TO废气处理设施”或一套备用设施“沸石转轮浓缩+焚烧+活性炭吸附”处理设施处理后经过30m排气筒DA001排；碱性废气经“水喷淋洗涤塔”处理设施处理后经过16m排气筒DA003排放；酸性废气经“碱液喷淋塔”处理设施、工艺废气（淀积等）经设备自带POU（等离子）处理后一同汇入“碱液喷淋塔”处理设施处理后分别经两根30m排气筒DA004、DA005排放。污水处理站废气经“活性炭吸附+碱液喷淋”处理设施处理后经25m排气筒DA002排放；噪声：运营期噪声主要为设备的运行噪声，采取措施①选用低噪声设备、②合理的进行生产设备布局，并采取措施进行减振降噪处理、③加强设备的使用和日常维护管理，维持设备处于良好的运转状态，定期检查、维修，不合要求的要及时更换，避免因设备运转不正常时噪声的增高；固体废物：一般工业固废包括废纸类、废塑料类等废包装物、废水处理系统污泥、纯水站废树脂及活性炭暂存于一般工业固废贮存区，交由具有主体****物资部门回收利用。危险废物包括外延炉渣、有机废液、废酸液、废氟化铵腐蚀液等无机含氟废物、废显影液、废活性炭、废沸石、废润滑油、实验室废酸、化学品废包装物、含砷废水污泥暂存于危废间，定期委托有资质单位处置； | 实际建设情况：废水：生活污水经化粪池处理后进入废水站有机废水处理系统处理后通过市政污水管网纳入**水质净化厂统一处理；扩建后全厂生产废水为酸碱清洗废水、有机清洗废水、含氟清洗废水、减薄废水、含砷废水。减薄废水经处理后约80%回用于冷却塔补水/空调加湿补水/工艺冷却补水/动力设备补水等，剩余废水排入酸碱废水系统。酸碱清洗废水、有机清洗废水、含氟清洗废水经各自废气系统处理后混合汇入厂区三级酸碱中和池处理后达标后接入市政污水管网进入**水质净化厂；含砷废水经含砷废水处理系统处理达标后一起接入市政污水管网进入**水质净化厂；废气：扩建项目新增生产废气为光刻、去胶、后处理过程产生的有机废气（非甲烷总烃）；蓝绿光外延片、氨水清洗过程产生的碱性废气（NH3）；酸洗、腐蚀、刻蚀过程及工艺废气（淀积等）产生的酸性废气（硫酸雾、HCl、Cl2、氟化物、NOx）；污水处理站废气（H2S、NH3）。扩建后全厂废气为有机废气（非甲烷总烃、NOX、SO2、烟尘）、碱性废气（NH3）、酸性废气（硫酸雾、HCl、Cl2、NOx、氟化物、磷烷）、污水处理站废气（H2S、NH3）、工艺废气（砷烷、磷烷、NOX、SO2、烟尘）。有机废气经一套主要设施“TO废气处理设施”或一套备用设施“沸石转轮浓缩+焚烧+活性炭吸附”处理设施处理后经过30m排气筒DA001排；碱性废气经“水喷淋洗涤塔”处理设施处理后经过16m排气筒DA003排放；酸性废气经“碱液喷淋塔”处理设施、工艺废气（淀积等）经设备自带POU（等离子）处理后一同汇入“碱液喷淋塔”处理设施处理后分别经两根30m排气筒DA004、DA005排放。污水处理站废气经“活性炭吸附+碱液喷淋”处理设施处理后经25m排气筒DA002排放；噪声：运营期噪声主要为设备的运行噪声，采取措施①选用低噪声设备、②合理的进行生产设备布局，并采取措施进行减振降噪处理、③加强设备的使用和日常维护管理，维持设备处于良好的运转状态，定期检查、维修，不合要求的要及时更换，避免因设备运转不正常时噪声的增高；固体废物：一般工业固废包括废纸类、废塑料类等废包装物、废水处理系统污泥、纯水站废树脂及活性炭暂存于一般工业固废贮存区，交由具有主体****物资部门回收利用。危险废物包括外延炉渣、有机废液、废酸液、废氟化铵腐蚀液等无机含氟废物、废显影液、废活性炭、废沸石、废润滑油、实验室废酸、化学品废包装物、含砷废水污泥暂存于危废间，定期委托有资质单位处置； |
| 无 | 是否属于重大变动：|
其他
| 无 | 实际建设情况：无 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
| 0 | 74 | 74.8148 | 0 | 0 | 74 | 74 | |
| 0 | 37.275 | 44.89 | 0 | 0 | 37.275 | 37.275 | |
| 0 | 3.728 | 5.985 | 0 | 0 | 3.728 | 3.728 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.202 | 0.202 | 0 | 0 | 0.202 | 0.202 | / |
| 0 | 10.4062 | 10.45 | 0 | 0 | 10.406 | 10.406 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.375 | 0.375 | 0 | 0 | 0.375 | 0.375 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | 生活污水：三级化粪池 | 《污水综合排放标准》（GB8978-1996） | 生活污水：三级化粪池 | 正常 | |
| 2 | 生产废水：废水处理站 | 《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020） | 生产废水：废水处理站 | 正常 |
表2 大气污染治理设施
| 1 | 有机废气：“TO废气处理设施”或一套备用设施“沸石转轮浓缩+焚烧+活性炭吸附”+30m排气筒DA001； | 《**市大气污染物排放标准》(DB35/323-2018) | 有机废气：“TO废气处理设施”或一套备用设施“沸石转轮浓缩+焚烧+活性炭吸附”+30m排气筒DA001； | 正常 | |
| 2 | 碱性废气：“水喷淋洗涤塔”+16m排气筒DA003 | 《**市大气污染物排放标准》(DB35/323-2018) | 碱性废气：“水喷淋洗涤塔”+16m排气筒DA003 | 正常 | |
| 3 | 酸性废气：“碱液喷淋塔” | 《**市大气污染物排放标准》(DB35/323-2018) | 酸性废气：“碱液喷淋塔” | 正常 | |
| 4 | 工艺废气：设备自带POU（等离子）+“碱液喷淋塔”+分别经两根30m排气筒DA004、DA005排放 | 《**市大气污染物排放标准》(DB35/323-2018)、硅烷参考《荷兰排放导则》规定的标准 | 工艺废气：设备自带POU（等离子）+“碱液喷淋塔”+分别经两根30m排气筒DA004、DA005排放 | 正常 | |
| 5 | 污水处理站废气：“活性炭吸附+碱液喷淋”+25m排气筒DA002 | 《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93） | 污水处理站废气：“活性炭吸附+碱液喷淋”+25m排气筒DA002 | 正常 |
表3 噪声治理设施
| 1 | 设置独立设备房、设备减震、消音器、软管连接、加强设备维护等 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008） | 设置独立设备房、设备减震、消音器、软管连接、加强设备维护等 | 正常 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
| 1 | 项目生活垃圾由环卫部门定期清运，设置规范的一般工业固废暂存间，废纸类、废塑料类等废包装物、废水处理系统污泥、纯水站废树脂及活性炭暂存于一般工业固废贮存区，由物资回收单位回收利用；外延炉渣、有机废液、废酸液、废氟化铵腐蚀液等无机含氟废物、废显影液、废活性炭、废沸石、废润滑油、实验室废酸、化学品废包装物、含砷废水污泥等纳入危险废物管理体系，按照危险废物暂存要求暂存，集中收集****公司统一处置 | 项目生活垃圾由环卫部门定期清运，已设置规范的一般工业固废暂存间，废纸类、废塑料类等废包装物、废水处理系统污泥、纯水站废树脂及活性炭暂存于一般工业固废贮存区，由物资回收单位回收利用；外延炉渣、有机废液、废酸液、废氟化铵腐蚀液等无机含氟废物、废显影液、废活性炭、废沸石、废润滑油、实验室废酸、化学品废包装物、含砷废水污泥等纳入危险废物管理体系，按照危险废物暂存要求暂存，集中收集后定期委托****公司、********公司统一处置 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| 厂房、辅助工程、公用工程、仓储工程、废水处理措施、废气处理措施、一般固废暂存区、危废暂存区依托现有工程 | 验收阶段落实情况：厂房、辅助工程、公用工程、仓储工程、废水处理措施、废气处理措施、一般固废暂存区、危废暂存区依托现有工程 |
| / |
环保搬迁
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
区域削减
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
生态恢复、补偿或管理
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
功能置换
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
其他
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
6、工程建设对项目周边环境的影响
| / |
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7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
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