电子工业生产设备

电子束镀膜机1台，主要用于金属/介质薄膜蒸镀和lift-off工艺薄膜蒸镀，满足以下指标 （1）腔体极限真空优于3×10-7Torr； （2）蒸发速率0.01nm/s-2nm/s之间可调。 （3）配备石英晶振膜厚监测系统； （4）配备全量程真空计 × 1，测压范围：1 atm ~ 10-9 Torr； （5）冷泵前级真空计 × 1，测压范围：1 atm ~ 10-4 Torr （6）知名品牌≥6 kW电子束蒸发电源，不少于4个坩埚，可软件控制自动旋转更换坩埚，每个坩埚容量不小于15cc； （7）不小于4英寸样品台，可最高20rpm旋转，基板带水冷功能； （8）4英寸样片表面镀膜均匀性优于±3%。 货期：签订合同后6个月内。质保期：1年及以上。