含氟电子气体项目
1、建设项目基本信息
企业基本信息
**** | 建设单位代码类型:|
****0800MA2DGB6J3P | 建设单位法人:付铁柱 |
江瑜 | 建设单位所在行政区划:**省**市柯** |
浙****花园街道中央大道252-1号 |
建设项目基本信息
含氟电子气体项目 | 项目代码:**** |
建设性质: | |
2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造 | 行业类别(国民经济代码):C3985-C3985-电子专用材料制造 |
建设地点: | **省**市柯** 花园街道中央大道252-1号 |
经度:118.8891 纬度: 28.90367 | ****机关:****环境局****分局 |
环评批复时间: | 2023-11-30 |
衢环智造建〔2023〕63号 | 本工程排污许可证编号:****0800MA2DGB6J3P001V |
2020-08-25 | 项目实际总投资(万元):22070.08 |
320 | 运营单位名称:**** |
****0800MA2DGB6J3P | 验收监测(调查)报告编制机构名称:******公司 |
****0803MA2DL3TE4Q | 验收监测单位:******公司 |
****0803MA29T653XD | 竣工时间:2024-03-07 |
调试结束时间: | |
2024-12-04 | 验收报告公开结束时间:2025-01-04 |
验收报告公开载体: | https://gongshi.****.com/h5public-detail?id=428825 |
2、工程变动信息
项目性质
本项目属于**项目,项目选址在**省**市智造新**央大道252号。 | 实际建设情况:本项目属于**项目,项目选址在**省**市智造新**央大道252号。 |
无 | 是否属于重大变动:|
规模
年产600吨六氟化钨 | 实际建设情况:年产600吨六氟化钨 |
无 | 是否属于重大变动:|
生产工艺
(1)电解制氟气:电解:无水氟化氢通过计量罐滴加在预先配好电解液的电解槽内,电解槽液位稳定通过调节无水氟化氢的滴加量控制。25KPa微正压将氟化氢与氟化氢钾结合为液体化合物。溶为液态后,对电解槽的阴阳电极进行通电。采用调节电解槽夹套流过的热水或蒸汽流量来控制电解槽温度。在电解槽阳极产出粗品氟气,经过阳极出口除沫器去除夹带的电解液杂质后进入到氟气纯化工序,阳极废气主要在电解槽开停车时产生的氟气达不到进纯化工序要求时产生,正常生产后无阳极废气。电解槽阴极产生氢气和氟化氢废气,经过尾气处理系统去除氢气中夹带的氟化氢气体后高空排放。 氟气纯化:电解槽产出的粗品氟气通过配气罐内的真空吸引,流通经预先装填好纯化剂的纯化塔,通过氟化钠纯化剂吸附去除氟气中氟化氢杂质。纯化废气主要为吸附剂吸附饱和后对吸附剂进行加热脱附再生时产生。纯化塔内填料根据纯化氟气总量,并根据纯化后氟气检测结果,综合考虑安排纯化剂进行再生或更换,以确保纯化效果。 (2)六氟化钨的制备 合成反应:合成原理为电解产生的氟气与钨反应,缓存罐氟气以一定的速度通入装有高纯钨的反应器中,在温度200~500℃、常压下进行反应生成六氟化钨。由于购买的钨条表面发生氧化生成三氧化钨,合成的六氟化钨与三氧化钨发生副反应。 六氟化钨纯化:粗品六氟化钨中由于原料金属钨中微量杂质、表面氧化钨等原因,包括挥发性的水份、HF、SF6、NF3、CF4、CO2、N2等以及非挥发性的金属Na、K、Fe、Mo、Cu等。这些杂质的存在会严重影响WF6的使用性能,因此需将这些杂质去除。粗品六氟化钨利用各物质物理化学性质的不同,经过一、二级纯化去除上述杂质。 一级纯化工序利用物质沸点差将重组分四氟氧钨及重组分杂质作为残渣定期排除,排渣前通氮气置换,底部排渣时同时风管抽风进入末端治理措施,一级纯化不涉及吸附剂再生。一级纯化后WF6进入二级纯化去除六氟化钨中轻组分。六氟化钨进入二级纯化的收集器,先对收集器提前降温到六氟化钨熔点以下,气态六氟化钨通入收集器中冷凝为固态,经多次置换后对六氟化钨升温成气体再进入蒸馏罐经精馏塔精馏。纯化后的六氟化钨产品可包装外售。 将洁净的包装钢瓶接入到产品充装站管道上,经抽真空、氦气置换合格后,产品槽内产品充装入包装钢瓶(规格10L、40L)中,当产品在钢瓶中的质量达到要求后,停止充装。 项目外售的钢瓶装六氟化钨在回收钢瓶时,钢瓶有0~10%六氟化钨残留。残留的六氟化钨通过钢瓶气体回收气柜在高负压条件下回收,基本不考虑六氟化钨含氟废气。 | 实际建设情况:(1)电解制氟气:电解:无水氟化氢通过计量罐滴加在预先配好电解液的电解槽内,电解槽液位稳定通过调节无水氟化氢的滴加量控制。25KPa微正压将氟化氢与氟化氢钾结合为液体化合物。溶为液态后,对电解槽的阴阳电极进行通电。采用调节电解槽夹套流过的热水或蒸汽流量来控制电解槽温度。在电解槽阳极产出粗品氟气,经过阳极出口除沫器去除夹带的电解液杂质后进入到氟气纯化工序,阳极废气主要在电解槽开停车时产生的氟气达不到进纯化工序要求时产生,正常生产后无阳极废气。电解槽阴极产生氢气和氟化氢废气,经过尾气处理系统去除氢气中夹带的氟化氢气体后高空排放。 氟气纯化:电解槽产出的粗品氟气通过配气罐内的真空吸引,流通经预先装填好纯化剂的纯化塔,通过氟化钠纯化剂吸附去除氟气中氟化氢杂质。纯化废气主要为吸附剂吸附饱和后对吸附剂进行加热脱附再生时产生。纯化塔内填料根据纯化氟气总量,并根据纯化后氟气检测结果,综合考虑安排纯化剂进行再生或更换,以确保纯化效果。 (2)六氟化钨的制备 合成反应:合成原理为电解产生的氟气与钨反应,缓存罐氟气以一定的速度通入装有高纯钨的反应器中,在温度200~500℃、常压下进行反应生成六氟化钨。由于购买的钨条表面发生氧化生成三氧化钨,合成的六氟化钨与三氧化钨发生副反应。 六氟化钨纯化:粗品六氟化钨中由于原料金属钨中微量杂质、表面氧化钨等原因,包括挥发性的水份、HF、SF6、NF3、CF4、CO2、N2等以及非挥发性的金属Na、K、Fe、Mo、Cu等。这些杂质的存在会严重影响WF6的使用性能,因此需将这些杂质去除。粗品六氟化钨利用各物质物理化学性质的不同,经过一、二级纯化去除上述杂质。 一级纯化工序利用物质沸点差将重组分四氟氧钨及重组分杂质作为残渣定期排除,排渣前通氮气置换,底部排渣时同时风管抽风进入末端治理措施,一级纯化不涉及吸附剂再生。一级纯化后WF6进入二级纯化去除六氟化钨中轻组分。六氟化钨进入二级纯化的收集器,先对收集器提前降温到六氟化钨熔点以下,气态六氟化钨通入收集器中冷凝为固态,经多次置换后对六氟化钨升温成气体再进入蒸馏罐经精馏塔精馏。纯化后的六氟化钨产品可包装外售。 将洁净的包装钢瓶接入到产品充装站管道上,经抽真空、氦气置换合格后,产品槽内产品充装入包装钢瓶(规格10L、40L)中,当产品在钢瓶中的质量达到要求后,停止充装。 项目外售的钢瓶装六氟化钨在回收钢瓶时,钢瓶有0~10%六氟化钨残留。残留的六氟化钨通过钢瓶气体回收气柜在高负压条件下回收,基本不考虑六氟化钨含氟废气。 |
无 | 是否属于重大变动:|
环保设施或环保措施
废水:含氟废水经厂区一座21.1m3池中罐对车间污水收集池3V9981,送至氟化460装置中的无机氟废水处理设施(采用“调酸池+三级中和除氟+沉淀池+深度脱氟”),除氟****处理厂进一步处理。冷凝废水同化粪池处理后的生活污水纳****处理厂,不进行回用。 废气:(1)电解阴极废气:依托现有“二级水吸收+碱吸收”后25米高DA001排气筒外排,不设置风机。(2)电解阳极废气:依托现有的“吸附塔+水吸收塔”先预处理,预处理废气经车间外现有的末端治理“一级水洗+二级碱吸收”处理后引至23m高DA002排气筒。(3)氟气纯化工序纯化剂再生废气:用现有“水吸收塔”预处理,预处理废气经车间外现有的末端治理“一级水洗+二级碱吸收”处理后引至23m高DA002排气筒。(4)六氟化钨纯化废气:依托现有的“吸附塔+水吸收塔”先预处理,预处理废气经车间外现有的末端治理“一级水洗+二级碱吸收”处理后引至23m高DA002排气筒。(6)车间管道、法兰等处泄露废气:对中硝一车间动静密封点采用法兰罩进行封闭抽气,接入新增的末端“一级水洗+二级碱洗”,将无组织排放转为处理后DA002排气筒有组织排放。中硝二车间无组织排放。(7)储罐呼吸废气:HF储罐采用氮封,大小呼吸废气接入现有末端治理设施,经现有末端治理后通过DA002排气筒排放。 危废暂存库和原料仓库二、一车间动静密封点和罐区封闭抽风接入**的末端 “一级水吸收+二级碱液吸收”,最后合并到DA002排放。 噪声:(1)设备选型首先考虑选用先进的低噪声设备;(2)厂区内合理布局,将高噪音设备车间尽量置于远离厂界一侧;(3)采取隔声措施切断噪声传播途径;(4)采取防震减振措施降低噪声源强;(5)对于厂区内进出的大型车辆要加强管理,厂区内及出入口附近禁止鸣笛,限制车速;加强厂区绿化,采用乔灌结合的立体绿化系统;(6)加强生产设备的维护保养,发现设备有异常声音应及时检修。 固废:项目固体废物主要为废阳极板、废电解质、废纯化剂、残渣、废吸附剂、分析室废液、废机油、废载冷剂、废包装材料、生活垃圾等。 生活垃圾委托环卫部门清运;废阳极板、废电解质、废纯化剂、残渣、废吸附剂、分析室废液、废机油、废载冷剂、废包装材料暂存于厂区危废仓库,待到一定量后委托有危废处理资质单位安全处置。 | 实际建设情况:废水:含氟废水经厂区一座21.1m3池中罐对车间污水收集池3V9981,送至氟化460装置中的无机氟废水处理设施(采用“调酸池+三级中和除氟+沉淀池+深度脱氟”),除氟****处理厂进一步处理。新增实验清洗废水属于含氟废水一同处理。 废气:(1)电解阴极废气:依托现有“二级水吸收+碱吸收”后25米高DA001排气筒外排,不设置风机。(2)电解阳极废气:依托现有的“吸附塔+水吸收塔”先预处理,预处理废气经车间外现有的末端治理“一级水洗+二级碱吸收”处理后引至23m高DA002排气筒。(3)氟气纯化工序纯化剂再生废气:用现有“水吸收塔”预处理,预处理废气经车间外现有的末端治理“一级水洗+二级碱吸收”处理后引至23m高DA002排气筒。(4)六氟化钨纯化废气:依托现有的“吸附塔+水吸收塔”先预处理,预处理废气经车间外现有的末端治理“一级水洗+二级碱吸收”处理后引至23m高DA002排气筒。(6)车间管道、法兰等处泄露废气:对中硝一车间动静密封点采用法兰罩进行封闭抽气,接入新增的末端“一级水洗+二级碱洗”,将无组织排放转为处理后DA002排气筒有组织排放。中硝二车间无组织排放。(7)储罐呼吸废气:HF储罐采用氮封,大小呼吸废气接入现有末端治理设施,经现有末端治理后通过DA002排气筒排放。 危废暂存库和原料仓库二、一车间动静密封点和罐区封闭抽风接入**的末端 “一级水吸收+二级碱液吸收”,最后合并到DA002排放。 噪声:(1)设备选型首先考虑选用先进的低噪声设备;(2)厂区内合理布局,将高噪音设备车间尽量置于远离厂界一侧;(3)采取隔声措施切断噪声传播途径;(4)采取防震减振措施降低噪声源强;(5)对于厂区内进出的大型车辆要加强管理,厂区内及出入口附近禁止鸣笛,限制车速;加强厂区绿化,采用乔灌结合的立体绿化系统;(6)加强生产设备的维护保养,发现设备有异常声音应及时检修。 固废:项目固体废物主要为废阳极板、废电解质、废纯化剂、残渣、废吸附剂、分析室废液、废机油、废载冷剂、废包装材料、生活垃圾等。 生活垃圾委托环卫部门清运;废阳极板、废电解质、废纯化剂、残渣、废吸附剂、分析室废液、废机油、废载冷剂、废包装材料暂存于厂区危废仓库,待到一定量后委托******公司安全处置。 |
新增实验清洗废水排放,实际实验清洗废水量较少,地面清洗废水产生量很少,项目总的废水排放量和污染物种类未超环评设计值。新增实验清洗废水属于含氟废水,经厂区一座21.1m3池中罐对车间污水收集池3V9981,送至氟化460装置中的无机氟废水处理设施(采用“调酸池+三级中和除氟+沉淀池+深度脱氟”),除氟****处理厂进一步处理。完善废水处理措施。 | 是否属于重大变动:|
其他
建设单位应根据《企业事业单位突发环境事件应急预案备案管理办法(试行)》(环发〔2015〕4号)、《**省建设项目环境保护管理办法》(2021年修正)编制本项目实施后厂区突发环境事件应急预案。另外,鉴于该项目的事故风险特征,建议企业实施安全评价,对项目的危险性和危害性进行定性、定量分析,提出具体可行的安全卫生技术措施和管理对策,****管理部门进行决策。 | 实际建设情况:企业建立了总经理负责制度,成立了****领导小组。目前企业已根据《中华人民**国环境保护法》、《突发环境污染事故应急预案管理办法》(环保部环发[2010]113号)、《****事业单位突发环境事件应急预案管理实施办法(试行)》(浙环函〔2012〕449号)等法律法规的要求,企业已于2024年6月编制了《****突发环境事件应急预案》,并与2024年6月19****环境局****分局完成备案(330802-2024-065-H)。根据公司的生产实际情况,对所有存在的风险进行辩识,对辨识的重要环境风险因素采取控制措施。 污水收集沟和池、厂区内污水检查井、固废暂存场所、危化品罐区、危化品库等的地面已作硬化、防渗处理,四周建围堰并采取防雨措施。 本项目地下水和土壤污染防治措施已按照“源头控制、分区防护、污染监控、应急响应”相结合的原则,全方位进行控制。 ****厂区雨水总排口安装了在线监测设施,监测指标为pH、流量;****厂区生产线电解阴极、电解阳极和纯化尾气排口分别安装了氟离子在线监测设施,监测指标为氟化物。 本项目厂区实行雨污分流、清污分流,雨水由厂区雨水沟收集经雨水管网排入雨水管网。厂区绿化良好,建立并完善了相关环保管理制度。 ****已根据自行监测指南、相关技术规范、环评及批复要求制定自行监测计划。****已于2020年8月25日申领了排污许可证,并于2024年6月11日完成了排污许可证的重新申领,排污许可证号****0800MA2DGB6J3P001V。企业已委托有相关资质的单位依照排污许可证内容定期开展自行监测工作。并已按照方案落实自行监测,数据填报,信息公开,填报执行报告等工作。 |
无 | 是否属于重大变动:|
3、污染物排放量
0 | 10656.44 | 0 | 0 | 0 | 10656.44 | 10656.44 | |
0 | 0.533 | 0 | 0 | 0 | 0.533 | 0.533 | |
0 | 0.053 | 0 | 0 | 0 | 0.053 | 0.053 | |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
1 | ****公司460无机氟废水处理设施 | 《无机化学工业污染物排放标准》中的间接排放限值 | ****集团内含氟废水共用设施协议 | 已监测 |
表2 大气污染治理设施
1 | 阴极废气处理设施 | 《无机化学工业污染物排放标准》(GB31573-2015) | 已建设 | 已监测 | |
2 | 阳极废气处理设施 | 《无机化学工业污染物排放标准》(GB31573-2015) | 已建设 | 已监测 |
表3 噪声治理设施
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
表6 生态保护设施
表7 风险设施
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
(1)依托现有建筑,不新增建筑。(2)依托现有供电设施,现有供水系统供水,依托现有排水系统排水、依托企业现有供热管道从巨化就近蒸汽总管厂供热,依托现有冷冻站用于项目供冷,依托现有界区外管廊,****公司统一供气。依托现有冷却系统及分析室、实验室。(3)依托现有1用1备无水氟化氢原料罐装进行物料储存,依托现有管道输送氮气。(4)取消依托博瑞电子含氟系列电子特气项目承建的危废暂存库。(5****公司事故应急池(容积约1300m2)。(6)依托现有废气处理设施,包含①电解阴极废气利用现有“二级水洗+碱洗”(TA001)处理后25m高空排放(DA001排气筒)②电解阳极废气尾气和六氟化钨纯化废气利用现有“吸附塔+水吸收塔”预处理,氟气的纯化废气利用现有“水吸收塔”预处理。③末端治理设施。7、依托现有废水处理设施,含氟废水依托厂区现有废水罐、污水池对车间污水收集池,送氟化460装置中的无机氟废水处理设施。 | 验收阶段落实情况:(1)依托现有建筑,不新增建筑。(2)依托现有供电设施,现有供水系统供水,依托现有排水系统排水、依托企业现有供热管道从巨化就近蒸汽总管厂供热,依托现有冷冻站用于项目供冷,依托现有界区外管廊,****公司统一供气。依托现有冷却系统及分析室、实验室。(3)依托现有1用1备无水氟化氢原料罐装进行物料储存,依托现有管道输送氮气。(4)取消依托博瑞电子含氟系列电子特气项目承建的危废暂存库。(5****公司事故应急池(容积约1300m2)。(6)依托现有废气处理设施,包含①电解阴极废气利用现有“二级水洗+碱洗”(TA001)处理后25m高空排放(DA001排气筒)②电解阳极废气尾气和六氟化钨纯化废气利用现有“吸附塔+水吸收塔”预处理,氟气的纯化废气利用现有“水吸收塔”预处理。③末端治理设施。7、依托现有废水处理设施,含氟废水依托厂区现有废水罐、污水池对车间污水收集池,送氟化460装置中的无机氟废水处理设施。 |
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环保搬迁
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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区域削减
项目新增主要污染物替代削减按建设项目主要污染物总量平衡方案表(编号:202379)意见执行。 | 验收阶段落实情况:已按照环评及环评批复落实。 |
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生态恢复、补偿或管理
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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功能置换
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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其他
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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6、工程建设对项目周边环境的影响
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7、验收结论
1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
不存在上述情况 | |
验收结论 | 合格 |
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