离子刻蚀显影系统
****2025年1至12月政府采购意向-离子刻蚀显影系统 详细情况
| 离子刻蚀显影系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年1至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 离子刻蚀显影系统 |
| 预算金额： | 250.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A****9900其他电工、电子生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购离子刻蚀显影系统1套，用于真空互联的前提下探索新的纳米加工技术开发，实现真空互联干膜光刻胶显影和无掩膜图形化，避免水氧接触，完成真空器件图形化。以缓冲腔与超高真空管道互联，缓冲腔真空度≤1×10-7Pa；反应室真空度≤5×10-5Pa；至少5路气体，H2、O2、Ar、N2等气体，同时预留5路供切换其他气体，均以MFC控制流量；可实现2英寸样品刻蚀深度100 nm，不均匀性≤ ±5% |
| 预计采购时间： | 2025-02 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
招标导航更多>>
工程建筑
交通运输
环保绿化
医疗卫生
仪器仪表
水利水电
能源化工
弱电安防
办公文教
通讯电子
机械设备
农林牧渔
市政基建
政府部门
换一批
换一批