混合集成电路柔性智能制造能力提升项目
1、建设项目基本信息
企业基本信息
**** | 建设单位代码类型:|
****1900MA7MYC1C2M | 建设单位法人:钟成 |
王晓卫 | 建设单位所在行政区划:**省**市虎门镇 |
**省****社区骏马一路1号振华产业园1号楼第7层以及2号楼、3号楼、8号楼 |
建设项目基本信息
混合集成电路柔性智能制造能力提升项目 | 项目代码:无 |
建设性质: | |
2021版本:080-电子器件制造 | 行业类别(国民经济代码):C3973-C3973-集成电路制造 |
建设地点: | **省**市虎门镇 ****社区骏马一路1号振华产业园1号楼第7层以及2号楼、3号楼、8号楼 |
经度:113.****57889 纬度: 22.****89781 | ****机关:****环境局 |
环评批复时间: | 2022-12-22 |
东环建〔2022〕13179号 | 本工程排污许可证编号:**** |
2024-07-29 | 项目实际总投资(万元):72000 |
1440 | 运营单位名称:**** |
****1900MA7MYC1C2M | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**** |
****1900MA7MYC1C2M | 验收监测单位:**标尚****公司 |
****1900MA52NRM90G | 竣工时间:2024-07-19 |
2024-07-20 | 调试结束时间:2024-12-31 |
2024-12-04 | 验收报告公开结束时间:2025-01-08 |
验收报告公开载体: | 环境影响评价信息公示平台 |
2、工程变动信息
项目性质
** | 实际建设情况:** |
无 | 是否属于重大变动:|
规模
混合集成电路柔性智能制造能力提升项目选址位于**省****社区骏马一路1号振华产业园1号楼第7层以及2号楼、3号楼、8****中心卫星坐标:东经113°42'42.548",北纬22°50'55.438"),由建设单位****进行投资建设,建设单位营业执照统一社会信用代码:****1900MA7MYC1C2M。 项目总投资72000万元,占地面积6248.81m2,建筑面积18016.49m2,主要从事厚膜混合集成电路、薄膜混合集成电路、微电路模块及组件的生产,年产厚膜混合集成电路17万只、薄膜混合集成电路10万只、微电路模块及组件35万只。 | 实际建设情况:项目分期验收:本次为一期验收,建设内容:年产薄膜混合集成电路10万只,微电路模块及组件15万。厚膜混合集成电路17万只、微电路模块及组件20万只不在本次验收范围。 |
项目目前环评批复的设备尚未全部投产,仅一期部分投入使用 | 是否属于重大变动:|
生产工艺
1/薄膜混合集成电路(前道):基板清洗-溅射-金层加厚-底模清洗-光刻(匀胶、前烘、曝光、显影、后烘)-去胶-热处理-清洗-激光调阳-划片-外观目检-镜检-成膜基板评价 2/微电路模块:外壳清洗-PCB清洗-正面组装-清洗-背面组装-清洗-变压器-引线焊接-清洗-调试-磁罐粘贴及引线固定-封前目检-外发内保护涂覆-罐胶-烘干-测试-激光标志-封装外观检测-倒装焊-检测试验-成品外观检验-包装入库 3/厚膜混合集成电路:A厚膜基板成膜(前道):基板清洗-丝网印刷-烘干-烧结-激光调阻。B混合电路微组装(后道):成膜基板评价-外壳清洗-基板-元器件组装、再流焊-等离子清洗-元器件粘接-等离子清洗-键合-变压器制作-引线焊接-引线焊接后清洗-调试-磁罐粘接及引线固定-调试-封前目检-平行缝焊-检漏-测试-激光标志-封装外观检测-检测试验-成品外观检验-包装入库 | 实际建设情况:1/薄膜混合集成电路(前道):基板清洗-溅射-金层加厚-底模清洗-光刻(匀胶、前烘、曝光、显影、后烘)-去胶-热处理-清洗-激光调阳-划片-外观目检-镜检-成膜基板评价 2/微电路模块:外壳清洗-PCB清洗-正面组装-清洗-背面组装-清洗-变压器-引线焊接-清洗-调试-磁罐粘贴及引线固定-封前目检-外发内保护涂覆-罐胶-烘干-测试-激光标志-封装外观检测-倒装焊-检测试验-成品外观检验-包装入库 3/厚膜混合集成电路:A厚膜基板成膜(前道):基板清洗-丝网印刷-烘干-烧结-激光调阻。B混合电路微组装(后道):成膜基板评价-外壳清洗-基板-元器件组装、再流焊-等离子清洗-元器件粘接-等离子清洗-键合-变压器制作-引线焊接-引线焊接后清洗-调试-磁罐粘接及引线固定-调试-封前目检-平行缝焊-检漏-测试-激光标志-封装外观检测-检测试验-成品外观检验-包装入库 |
无 | 是否属于重大变动:|
环保设施或环保措施
清洗、基板及外壳搪锡、引线焊接、平行缝焊工序废气中的非甲烷总烃符合**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367—2022)表1挥发性有机物排放限值;锡及其化合物、铅及其化合物符合**省《大气污染物排放限值》(DB44/27—2001)第二时段二级标准。激光调阻、划片、热处理工序的废气非甲烷总烃符合**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367—2022)表1挥发性有机物排放限值。颗粒物符合**省《陶瓷工业大气污染物排放标准》(DB 44/2160-2019)表 1 企业大气污染物排放浓度限值。溅射工序的废气符合《恶臭污染物排放标准》(GB14554—93)表 2 恶臭污染物排放标准值。厂界外无组织废气颗粒物符合**省《陶瓷工业大气污染物排放标准》(DB 44/2160-2019)表 2 现有企业和**企业厂界无组织排放限值,氨符合《恶臭污染物排放标准》(GB14554—93)中表 1 恶臭污染物厂界标准值(二级标准中新改扩建),锡及其化合物、铅及其化合物符合**省《大气污染物排放限值》(DB44/27—2001)第二时段无组织排放监控限值。恶臭无组织排放符合《恶臭污染物排放标准》(GB14554—93)中表1 恶臭污染物厂界标准值(二级标准中新改扩建)。厂区内非甲烷总烃无组织排放符合**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367—2022)及其表3厂区内VOCs无组织排放限值。 | 实际建设情况:有组织共设4个废气排放口 ①清洗、基板及外壳搪锡、引线焊接、平行缝焊工序设置在密闭车间内进行, 产生的废气经配套设施收集处理后高空排放,处理工艺:二级喷淋+二级活性炭吸附,非甲烷总烃执行**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367 —2022)表1挥发性有机物排放限值;锡及其化合物、铅及其化合物有组织执行**省《大气污染物排放限值》(DB44/27—2001)第二时段二级标准;无组织执行**省《大气污染物排放限值》(DB44/27—2001)第二时段无组织排放监控限值。共设1个排放口; ②激光调阻、划片、热处理工序废气经收集处理后高空排放,处理工艺:喷淋+二级活性炭吸附,非甲烷总烃有组织执行**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367—2022)表1挥发性有机物排放限值;无组织执行**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367—2022)及其表3厂区内VOCs无组织排放限值。颗粒物有组织执行**省《陶瓷工业大气污染物排放标准》(DB 44/2160-2019)表 1 企业大气污染物排放浓度限值;无组织执行**省《陶瓷工业大气污染物排放标准》(DB 44/2160-2019)表 2 现有企业和**企业厂界无组织排放限值,氨执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554—93)中表 1 恶臭污染物厂界标准值(二级标准中新改扩建)。共设2个排放口; ③溅射工序废气经收集后高空排放,有组织执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554—93)表 2 恶臭污染物排放标准值,无组织执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554—93)中表1 恶臭污染物厂界标准值(二级标准中新改扩建)。共设1个排放口; |
项目目前环评批复的设备尚未全部投产,仅一期部分投入使用,一期有组织共设4个废气排放口。 | 是否属于重大变动:|
其他
无 | 实际建设情况:无 |
无 | 是否属于重大变动:|
3、污染物排放量
0 | 3492 | 0 | 0 | 0 | 3492 | 3492 | |
0 | 0.6984 | 0 | 0 | 0 | 0.698 | 0.698 | |
0 | 0.4138 | 0 | 0 | 0 | 0.414 | 0.414 | |
0 | 0.0238 | 0 | 0 | 0 | 0.024 | 0.024 | |
0 | 0.0698 | 0 | 0 | 0 | 0.07 | 0.07 | |
0 | 44160 | 0 | 0 | 0 | 44160 | 44160 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0.0053 | 0 | 0 | 0 | 0.005 | 0.005 | / |
0 | 0.1341 | 0 | 0 | 0 | 0.134 | 0.134 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
1 | WS生活污水排放口 | **省《水污染物排放限值》(DB44/26-2001)中第二时段三级标准与《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T 31962-2015)B级标准的较严者 | 经三级化粪池处理后排至市政污水管网,****处理厂处理 | 达标 |
表2 大气污染治理设施
1 | DA001废气排放口 | 清洗、基板及外壳搪 锡、引线焊接、平行 缝焊工序设置在密闭 车间内进行, 产生 的废气经配套设施收 集处理后高空排放 ,处理工艺:二级喷 淋+二级活性炭吸附 ,非甲烷总烃执行广 东省《固定污染源挥 发性有机物综合排放 标准》(DB44/2367 —2022)表1挥发性 有机物排放限值;锡 及其化合物、铅及其 化合物有组织执行广 东省《大气污染物排 放限值》 (DB44/27—2001) 第二时段二级标准 ;无组织执行**省 《大气污染物排放限 值》 (DB44/27—2001) 第二时段无组织排放 监控限值。 | 清洗、基板及外壳搪 锡、引线焊接、平行 缝焊工序设置在密闭 车间内进行, 产生 的废气经配套设施收 集处理后高空排放 ,处理工艺:二级喷 淋+二级活性炭吸附 ,非甲烷总烃执行广 东省《固定污染源挥 发性有机物综合排放 标准》(DB44/2367 —2022)表1挥发性 有机物排放限值;锡 及其化合物、铅及其 化合物有组织执行广 东省《大气污染物排 放限值》 (DB44/27—2001) 第二时段二级标准 ;无组织执行**省 《大气污染物排放限 值》 (DB44/27—2001) 第二时段无组织排放 监控限值。共设1个 排放口; | 达标 | |
2 | DA002废气排放口 | 激光调阻、划片、热处理工序废气经收集处理后高空排放,处理工艺:喷淋+二级活性炭吸附,非甲烷总烃有组织执行**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367—2022)表1挥发性有机物排放限值;无组织执行**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367—2022)及其表3厂区内VOCs无组织排放限值。颗粒物有组织执行**省《陶瓷工业大气污染物排放标准》(DB 44/2160-2019)表 1 企业大气污染物排放浓度限值;无组织执行**省《陶瓷工业大气污染物排放标准》(DB 44/2160-2019)表 2 现有企业和**企业厂界无组织排放限值,氨执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554—93)中表 1 恶臭污染物厂界标准值(二级标准中新改扩建)。 | 激光调阻、划片、热处理工序废气经收集处理后高空排放,处理工艺:喷淋+二级活性炭吸附,非甲烷总烃有组织执行**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367—2022)表1挥发性有机物排放限值;无组织执行**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367—2022)及其表3厂区内VOCs无组织排放限值。颗粒物有组织执行**省《陶瓷工业大气污染物排放标准》(DB 44/2160-2019)表 1 企业大气污染物排放浓度限值;无组织执行**省《陶瓷工业大气污染物排放标准》(DB 44/2160-2019)表 2 现有企业和**企业厂界无组织排放限值,氨执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554—93)中表 1 恶臭污染物厂界标准值(二级标准中新改扩建)。共设2个排放口; | 达标 | |
3 | DA003废气排放口 | 激光调阻、划片、热处理工序废气经收集处理后高空排放,处理工艺:喷淋+二级活性炭吸附,非甲烷总烃有组织执行**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367—2022)表1挥发性有机物排放限值;无组织执行**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367—2022)及其表3厂区内VOCs无组织排放限值。颗粒物有组织执行**省《陶瓷工业大气污染物排放标准》(DB 44/2160-2019)表 1 企业大气污染物排放浓度限值;无组织执行**省《陶瓷工业大气污染物排放标准》(DB 44/2160-2019)表 2 现有企业和**企业厂界无组织排放限值,氨执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554—93)中表 1 恶臭污染物厂界标准值(二级标准中新改扩建)。 | 激光调阻、划片、热处理工序废气经收集处理后高空排放,处理工艺:喷淋+二级活性炭吸附,非甲烷总烃有组织执行**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367—2022)表1挥发性有机物排放限值;无组织执行**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367—2022)及其表3厂区内VOCs无组织排放限值。颗粒物有组织执行**省《陶瓷工业大气污染物排放标准》(DB 44/2160-2019)表 1 企业大气污染物排放浓度限值;无组织执行**省《陶瓷工业大气污染物排放标准》(DB 44/2160-2019)表 2 现有企业和**企业厂界无组织排放限值,氨执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554—93)中表 1 恶臭污染物厂界标准值(二级标准中新改扩建)。共设2个排放口; | 达标 | |
4 | DA004废气排放口 | 溅射工序废气经收集后高空排放,有组织执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554—93)表 2 恶臭污染物排放标准值,无组织执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554—93)中表1 恶臭污染物厂界标准值(二级标准中新改扩建)。 | 溅射工序废气经收集后高空排放,有组织执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554—93)表 2 恶臭污染物排放标准值,无组织执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554—93)中表1 恶臭污染物厂界标准值(二级标准中新改扩建)。共设1个排放口; | 达标 |
表3 噪声治理设施
1 | 噪声治理设施 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)2类标准。 | 选用了低噪声设备,同时采取隔声、减振等综合降噪措施。 | 达标 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
1 | 生活垃圾、一般工业固废、危险废物。生活垃圾放置于项目生活垃圾堆放点,交由环卫部门处理。一般工业固废经分类收集后暂存于固废暂存仓内,****公司处理。危险废物经收集后暂存于危废仓内,并交有资质单位处理。 | 一般工业固体废物经分类收集后暂存于项目一般固废仓内,****公司回收处理,并按有关规定落实工业固体废物申报登记制度。 项目危险废物经收集后暂存于项目危废仓内,定期交有资质单位处理,并执行危险废物转移联单。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
环保搬迁
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
区域削减
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
生态恢复、补偿或管理
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
功能置换
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
其他
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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6、工程建设对项目周边环境的影响
/ |
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7、验收结论
1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
不存在上述情况 | |
验收结论 | 合格 |
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