1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称： 建设单位代码类型： 建设单位机构代码： 建设单位法人： 建设单位联系人： 建设单位所在行政区划： 建设单位详细地址：

光驰半导体****公司
****0115MA7BFKXA8Q	黄志飞
郑宁昊	**市**区
潘川路1507号

建设项目基本信息

项目名称： 项目代码： 项目类型： 建设性质： 行业类别（分类管理名录）： 行业类别（国民经济代码）： 工程性质： 建设地点： 中心坐标： ****机关： 环评文件类型： 环评批复时间： 环评审批文号： 本工程排污许可证编号： 排污许可批准时间： 项目实际总投资(万元)： 项目实际环保投资(万元)： 运营单位名称： 运营单位组织机构代码： 验收监测(调查)报告编制机构名称： 验收监测(调查)报告编制机构代码： 验收监测单位： 验收监测单位组织机构代码： 竣工时间： 调试起始时间： 调试结束时间： 验收报告公开起始时间： 验收报告公开结束时间： 验收报告公开形式： 验收报告公开载体：

光驰半导体原子层镀膜与刻蚀镀膜项目（一期）
2021版本:070-采矿、冶金、建筑专用设备制造；化工、木材、非金属加工专用设备制造；食品、饮料、烟草及饲料生产专用设备制造；印刷、制药、日化及日用品生产专用设备制造；纺织、服装和皮革加工专用设备制造；电子和电工机械专用设备制造；农、林、牧、渔专用机械制造；医疗仪器设备及器械制造；环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造	C35-C35-专用设备制造业
	**市**区 ****园区BSP0-1801单元07-17地块，潘川路1507号
经度:121.33832 纬度: 31.46615	****环境局
	2022-09-09
沪宝环保管〔2022〕56号	****
2024-04-17	31000
31000	光驰半导体****公司
****0115MA7BFKXA8Q	光驰半导体****公司
****0115MA7BFKXA8Q	******公司
913********453005L	2024-04-09
2024-05-10	2025-01-10
2024-12-12	2025-01-09
	https://e2.****.cn/jsp/view/jsxmInfo_edit.jsp?id=8C78191C79AF4662B6BD11FDC6438EE6

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

一期：原子层沉积设备（ALD 设备）和物理气相沉积设备（PVD设备）分别为120台/年、300台/年	一期：原子层沉积设备（ALD 设备）和物理气相沉积设备（PVD设备）分别为120台/年、300台/年
无

生产工艺

环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

工艺主要为：零件采购、零件清洗、设备组装、设备测试、拆机、零件清洗、包装出货	工艺主要为：零件采购、零件清洗、设备组装、设备测试、拆机、零件清洗、包装出货
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

一、废气：（1）6#厂房1层组装生产车间（不使用含氯原辅料）：①ALD设备的测试废气密闭收集，采用“电热氧化装置+二级碱喷淋塔”处理。 （2）6#厂房2层设备测试室：①ALD设备测试不含氯废气密闭收集，先采用“电热氧化分解装置”预处理；②ALD设备测试含氯废气密闭收集，先采用活性炭预处理；③刻蚀设备测试含氯废气密闭收集，采用“干式吸附”预处理。以上三股预处理后的废气再合并采用“二级碱喷淋塔”处理；6#厂房1层组装生产车间废气、2层设备测试室废气合并通过DA001排气筒30米高排放，风量为10000m3/h。（3）6#厂房1层组装生产车间：设备擦拭使用少量酒精，自然晾干，以无组织形式排放。（4）1#宿舍楼食堂油烟废气：采用油烟净化器收集处理，通过DA003排气筒25米高排放。 二、废水：喷淋废水采用调节混凝池预处理，食堂含油废水采用隔油池预处理；以上两股预处理后的废水与纯水制备浓水、超声波清洗废水、冷却塔排污水、水浴锅排污水、测试室清洗废水、生活污水等合并通过DW001污水总排口纳管排放，最终进****处理厂处理。 三、固废：危险废物委托有资质单位外运处置，一般工业废物委托专业单位外运处置，餐厨垃圾和废油脂委托专业单位外运处置，生活垃圾委托环卫部门清运。 四、噪声：采用低噪声设备、合理布局，降噪减振等噪声污染防治措施。	一、废气：（1）6#厂房1层组装生产车间（不使用含氯原辅料）：①ALD设备的测试废气密闭收集，采用“电热氧化装置+二级碱喷淋塔”处理。 （2）6#厂房2层设备测试室：①ALD设备测试不含氯废气密闭收集，先采用“高温型等离子电热氧化分解装置”预处理；②ALD设备测试含氯废气密闭收集，先采用活性炭预处理；③刻蚀设备测试不含氯废气密闭收集，采用“高温型等离子电热氧化分解装置”预处理。以上三股预处理后的废气再合并采用“二级碱喷淋塔”处理；6#厂房1层组装生产车间废气、2层设备测试室废气合并通过DA001排气筒30米高排放，风量为10000m3/h。（3）6#厂房1层组装生产车间：设备擦拭使用少量酒精，自然晾干，以无组织形式排放。（4）1#宿舍楼食堂油烟废气：采用油烟净化器收集处理，通过DA003排气筒25米高排放。 二、废水：喷淋废水作为危废委外处置，因此不设置调节混凝池。食堂含油废水采用隔油池预处理；与纯水制备浓水、超声波清洗废水、冷却塔排污水、水浴锅排污水、测试室清洗废水、生活污水等合并通过DW001污水总排口纳管排放，最终进****处理厂处理。 三、固废：危险废物委托有资质单位外运处置，一般工业废物委托专业单位外运处置，餐厨垃圾和废油脂委托专业单位外运处置，生活垃圾委托环卫部门清运。 四、噪声：采用低噪声设备、合理布局，降噪减振等噪声污染防治措施。
废气环保措施变化： 研发测试室刻蚀测试废气主要污染因子为氟化物、氯气，变动前，经干式吸附+碱喷淋塔处理后DA001排气筒排放，变动后分工位进行氟工艺测试和氯工艺测试，氟工艺测试废气进入高温等离子氧化分解装置+二级碱喷淋塔处理后于DA001排气筒排放，氯工艺测试废气进入二级碱喷淋塔处理后于DA001排气筒排放，变动后，取消干式吸附装置。 废水环保设施变化： 项目设4套二级喷淋塔，根据喷淋塔厂家提供的喷淋液更换建议，建议一季度更换一次喷淋液，喷淋废液产生量预计25t/a，建设单位拟将喷淋废液作为危废处置。因此，变更后，项目无喷淋废水，取消喷淋废水对应的混凝沉淀池建设。

其他

环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

/	原辅料使用情况变化： ①取消1个1m3的氧气罐建设，采用瓶装长管供气，年用量为960瓶氧气（47L/瓶）。 ②6#厂房2F研发测试室由于研发需求，需新增丙烷、乙烷、三硅基氮、四氯化铪、硅烷、三氟化氮等化学品，减少四氯化钛、双（二乙氨基）硅烷、氨气、三甲基铝等化学品的用量。 生产设备变化： ①部分设备选型变化，1台水冷螺杆机组调整为磁悬浮变频离心式水冷机组。
原辅料使用情况变化： ①取消1个1m3的氧气罐建设，采用瓶装长管供气，年用量为960瓶氧气（47L/瓶）。 ②6#厂房2F研发测试室由于研发需求，需新增丙烷、乙烷、三硅基氮、四氯化铪、硅烷、三氟化氮等化学品，减少四氯化钛、双（二乙氨基）硅烷、氨气、三甲基铝等化学品的用量。 生产设备变化： ①部分设备选型变化，1台水冷螺杆机组调整为磁悬浮变频离心式水冷机组。

3、污染物排放量

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况

1	隔油池	**市《污水综合排放标准》（BD31/199-2018）表2三级标准	堂含油废水采用隔油池预处理；与纯水制备浓水、超声波清洗废水、冷却塔排污水、水浴锅排污水、测试室清洗废水、生活污水等合并通过DW001污水总排口纳管排放，最终进****处理厂处理。	由验收监测结果对标情况可知，项目废水废水总排口水质能够满足《污水综合排放标准》（BD31/199-2018）表2三级标准限值要求。

表2 大气污染治理设施

序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况

1	生产车间ALD设备测试废气管道收集，经自带的过滤器处理后经过电热氧化装置预处理；测试室ALD设备测试不含氯废气管道收集，经自带的过滤器处理后经过高温等离子电热氧化装置预处理；测试室ALD设备测试含氯废气管道收集，经自带的过滤器处理后经活性炭装置预处理；测试室刻蚀设备氟工艺测试废气管道收集，经自带的过滤器处理后经高温等离子电热氧化装置预处理；上述废气预处理后进入二级喷淋塔处理后于DA001排气筒30m高空排放。	《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）；《恶臭（异味）污染物排放标准》（DB31/1025-2016）	生产车间ALD设备测试废气管道收集，经自带的过滤器处理后经过电热氧化装置预处理；测试室ALD设备测试不含氯废气管道收集，经自带的过滤器处理后经过高温等离子电热氧化装置预处理；测试室ALD设备测试含氯废气管道收集，经自带的过滤器处理后经活性炭装置预处理；测试室刻蚀设备氟工艺测试废气管道收集，经自带的过滤器处理后经高温等离子电热氧化装置预处理；上述废气预处理后进入二级喷淋塔处理后于DA001排气筒30m高空排放。	由验收监测结果对标可知，DA001排气筒排放的颗粒物、HCl、非甲烷总烃、氟化物、NOx、SO2、二噁英因子能够满足《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）表1排放限值，钛及其化合物、锌及其化合物能够满足《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）附录A.1排放限值，臭气浓度能够满足《恶臭（异味）污染物排放标准》（DB31/1025-2016）表1工业企业排放限值，氨气、硫化氢能够满足《恶臭（异味）污染物排放标准》（DB31/1025-2016）表2排放限值；DA003排气筒排放的油烟废气能够满足《餐饮业油烟排放标准》（DB31/844-2014）表1排放限值要求。
2	油烟净化器	《餐饮业油烟排放标准》（DB31/844-2014）	油烟废气经油烟净化器处理后于DA003排气筒排放	根据监测报告，DA003排气筒排放的油烟废气能够满足《餐饮业油烟排放标准》（DB31/844-2014）表1排放限值要求。

表3 噪声治理设施

序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况

1	/	《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-2008)表1中的3类标准	采用低噪声设备、合理布局，降噪减振等噪声污染防治措施。	由验收监测结果对标情况可知，项目厂界噪声均可以满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-2008) 3类标准的排放限值。

表4 地下水污染治理设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求

1	严格落实报告表提出的土壤和地下水污染防治措施，定期开展相关监测。严格落实报告表提出的环境风险防范措施，制定完善突发环境事件风险应急预案并按规定备案。落实环境管理、环境监测等各项要求，认真做好环保设施运行效果记录和日常监测。	严格按照《报告表》进行土壤和地下水防治，落实了报告表和非重大提出的环境风险防范措施，制定应急预案并备案，并落实了环境管理、环境监测等各项要求，认真做好环保设施运行效果记录和日常监测。

表5 固废治理设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求

1	固体废物按《固体废物污染环境防治法》的规定处理处置按规定申报备案工业固度，危险废物 (全厂约 4.5 吨/年，HW49 类)须设置规范暂存场所，委托有资质单位处理。	固废按《固体废物污染环境防治法》处置，危险废物暂存于危废仓库内，定期委托有资质单位处置。

表6 生态保护设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求

1	严格落实报告表提出的环境风险防范措施，制定完善突发环境事件风险应急预案并按规定备案。	落实了报告表和非重大提出的环境风险防范措施，并制定应急预案并备案。环境风险防范措施包括：设烟雾探测器、可燃气体探测器；设气体检漏系统与报警装置；设置应急、火灾消防设施、设备、器材、物资；雨水排放口设置截止阀等。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程

环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：

无	无
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环保搬迁

环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：

无	无
/

区域削减

环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：

项目新增的总量在工业区内平衡	项目新增的总量在工业区内平衡
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生态恢复、补偿或管理

环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：

无	无
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功能置换

环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：

无	无
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其他

环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：

无	无
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6、工程建设对项目周边环境的影响

地表水是否达到验收执行标准： 地下水是否达到验收执行标准： 环境空气是否达到验收执行标准： 土壤是否达到验收执行标准： 海水是否达到验收执行标准： 敏感点噪声是否达到验收执行标准：

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7、验收结论