大面积表面高能涂层及扫描系统
(略)2023年1月政府采购意向-(略) 详细情况
2023年12月27日 17:(略)
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项目所在采购意向: | (略)2023年1月政府采购意向 |
采购单位: | (略) |
采购(略): | (略) |
预算金额: | 205.(略)(略)万元(人民币) |
采购品目: | (略) |
采购需求概况 : | (略) 1. 均匀有效涂层空间:直径3(略)mm,高度1(略)mm; 2. 配置250口径磁悬浮涡轮分子泵1套,抽速不小于2(略)0L/S; 3. 配置弯管磁过滤阴极电弧2套,靶材直径1(略)mm; 4. 配置射频5英寸圆形磁控溅射靶1套,功率1(略)0W,13.56MHz; 5. 配置高功率脉冲5英寸圆形磁控溅射靶1套,功率6KW,峰值电流750A; 6. 配置直流5英寸磁控溅射靶2套,功率3KW; 7. 配置阳极层离子源1套,功率5KW; 8. 加热温度最高可达5(略)℃; 具体要求详见采购文件。 供货期:签订合同之日起,10个日历日货到采购人制定地点并安装验收完毕。具体事宜由成交供应商按照采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
预计采购时间: | (略) |
备注: |
本次公开(略),具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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