序号

货物/服务名称

详细参数要求

1

方阻仪设备

硬件和性能参数

1. 总体配置

（1）设备状态：全新设备

（2）晶圆检测部分：包含载台、探针和控制电路等

（3）用户界面：包含PC、键盘、鼠标和显示器等

（4）操作系统：Windows 10

（5）软件系统：国产软件，可适配用户需求开发或升级

（6）标准电阻：1套3个: 2.79Ω，279Ω，27.9kΩ

（7）量测探针：金属探针A、通用探针B、高阻抗表面探针D

（8）功能：测量金属和非金属材料的阻值，可实现金属薄膜厚度、掺杂浓度、半导体常用材料的电阻测量和薄膜厚度均匀性自定义多点测量。

2. 设备主要性能指标

（1）晶圆尺寸：200mm，向下兼容小片

（2）测量点位：≥49点，可形成map

（3）上片方法：手动

（4）测量方法：四探针双电测

（5）测量范围：方块电阻5m / sq ~ 5M / sq

（6）测量时间：1.5~2.5秒/点

（7）精确性：+/- 1%

（8）重复性：<0.2% (1-sigma)

3. 设备资料

（1）纸质资料：涉及操作、维护手册、菜单建立及管理

（2）电子资料：涉及操作、维护手册、layout

（3）设备备件清单及货号

反射光谱膜厚测量模块

硬件和性能参数

1. 总体配置

（1）设备状态：全新

（2）晶圆检测部分：包含载台、光源和光路等

（3）用户界面：包含PC、键盘、鼠标和显示器等

（4）操作系统：Windows 10

（5）软件系统：国产软件，可适配用户需求开发或升级

（6）功能：实现介质单层薄膜和多层薄膜的厚度、折射率、均匀性的自定义多点测试

2. 设备主要性能指标

（1）晶圆尺寸：200mm，可向下兼容

（2）上片方法：手动

（3）光源类型：卤钨灯

（4）光源波长范围：360~1080nm

（5）光源寿命：≥6000h

（6）光斑尺寸：1mm

（7）厚度范围：20nm~70μm

（8）准确度：3nm或0.4%（取最大值）

（9）测量精度：0.02nm

（10）稳定性：0.05nm

3. 设备资料

（1）纸质资料：涉及操作、维护手册、菜单建立及管理

（2）电子资料：涉及操作、维护手册、layout

（3）设备备件清单及货号

3

售后服务

售后服务

1、供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。

投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。

2、在保质期以内，投标人在接到客户的维修通知对故障能在4小时内响应，24小时内派出有能力的维修人员****维修处理（若用户提出新的要求，在招标文件的采购设备清单中特别提出）。

3、在保质期满后，投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按保质期****维修处理，合理收取维修费。

4、质保期2年。

5、优先考虑具有安全生产许可证、ISO9001质量管理体系、知识产权管理体系、省部级及以上工艺企业质量信用A级及以上等级相关资质的投标人。