1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称： 建设单位代码类型： 建设单位机构代码： 建设单位法人： 建设单位联系人： 建设单位所在行政区划： 建设单位详细地址：

****
****0111MA2WKMFR5C	赵纶
王慧	******开发区
**省合****示范区

建设项目基本信息

项目名称： 项目代码： 项目类型： 建设性质： 行业类别（分类管理名录）： 行业类别（国民经济代码）： 工程性质： 建设地点： 中心坐标： ****机关： 环评文件类型： 环评批复时间： 环评审批文号： 本工程排污许可证编号： 排污许可批准时间： 项目实际总投资(万元)： 项目实际环保投资(万元)： 运营单位名称： 运营单位组织机构代码： 验收监测(调查)报告编制机构名称： 验收监测(调查)报告编制机构代码： 验收监测单位： 验收监测单位组织机构代码： 竣工时间： 调试起始时间： 调试结束时间： 验收报告公开起始时间： 验收报告公开结束时间： 验收报告公开形式： 验收报告公开载体：

12英****基地二期项目	****
2021版本:080-电子器件制造	C3973-C3973-集成电路制造
	******开发区 ****示范区
经度:117.01981 纬度: 31.96695	****环境局
	2021-09-03
环建审〔2021〕11099号	****0111MA2WKMFR5C001Q
2023-06-30	****000
22275	****
****0111MA2WKMFR5C	**康安****公司
****0100MA2Q3D0KXD	******公司,******公司
****0100MA8L989B9F,****0100MAD31CDN2X	2024-02-01
2024-11-01	2024-11-28
	http://kanganhongrun.com/index.php/download/473.html

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年产动态随机存取存储器（DRAM）120万片	年产动态随机存取存储器（DRAM）60万片
原环评批建年产120万片动态随机存取存储器（DRAM）生产线，由于市场原因，实际建设过程项目采取分阶段建设，目前只建设一阶段工程生产所需设备，建成后总生产能力为原环评批建50%，满足一阶段生产需要

生产工艺

环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

完整的集成电路生产包括掩膜设计、硅片制造、芯片前工序加工、芯片封装、芯片测试等工序。本项目仅涉及芯片前工序加工工序。 芯片前工序加工是采用半导体平面工艺的方法在衬底硅片上形成电路图形的生产过程。半导体平面工艺是通过类似照片冲印的被称为光刻的方法以及腐蚀和刻蚀的方法形成掺杂通道，再通过离子注入或高温扩散的方法掺杂形成半导体PN结，然后沉积金属引线。工艺包括薄膜、快速升降温、扩散、光刻、刻蚀（包括干法刻蚀和湿法刻蚀）、去胶、离子注入、化学机械抛光（CMP）等，这些工序反复交叉。	完整的集成电路生产包括掩膜设计、硅片制造、芯片前工序加工、芯片封装、芯片测试等工序。本项目仅涉及芯片前工序加工工序。 芯片前工序加工是采用半导体平面工艺的方法在衬底硅片上形成电路图形的生产过程。半导体平面工艺是通过类似照片冲印的被称为光刻的方法以及腐蚀和刻蚀的方法形成掺杂通道，再通过离子注入或高温扩散的方法掺杂形成半导体PN结，然后沉积金属引线。工艺包括薄膜、快速升降温、扩散、光刻、刻蚀（包括干法刻蚀和湿法刻蚀）、去胶、离子注入、化学机械抛光（CMP）等，这些工序反复交叉。
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

一、废气 1、酸性废气处理系统：设置 21 套碱液喷淋吸收塔（19 用 2 备），设置 38.9m 排气筒 21根（19 用 2 备） 2、碱性废气处理系统：设置 5 套二级酸液喷淋吸收塔（3 用 2 备），设置 38.9m 排气筒 5 根（3 用 2 备） 3、有机废气处理系统：设置 6 套（4 用 2 备）沸石浓缩转轮焚烧系统（包括石浓缩转轮及焚烧炉），设置 38.9m 排气筒 6 根（4 用 2 备） 4、非含砷工艺尾气处理系统：设置燃烧+水洗式源头处理装置（POU），系统排气并入酸性废气处理系统进行处理，并依托酸性废气排气筒进行排放 5、含砷工艺尾气处理系统：设置干式吸附源头处理装置（POU），再排入 3 套（2 用 1备）含砷工艺尾气吸附装置，处理后经 1 根 38.9m 排气筒排放 6、锅炉烟气排风系统：设置 34.3m 排气筒 8 根（7 用 1 备） 7、废水处理站：设置酸液喷淋洗涤塔及碱液喷淋洗涤塔各 2 套，处理后的废气经 1 根 15m排气筒排放 二、废水 ****公司****处理站（研磨废水处理系统：混凝沉淀、含铜研磨废水处理系统：混凝沉淀+多介质过滤器、氨氮废水处理系统：两级吹脱+一级硫酸吸收、有机废水处理系统（可回收段）：缺氧+好氧+膜生物反应器+保安过滤器+反渗透、有机废水处理系统（不可回收段）：两级‘缺氧+好氧’+膜生物反应器、BOE 废水处理系统：两级吹脱+一级硫酸吸收、HP/IPA废水处理系统：两级 CaCl2 混凝沉淀、TMAH 废水处理系统：混凝沉淀+气浮、氢氟废水处理系统：两级 CaCl2 混凝沉淀、最终中和处理系统：三级酸碱中和）处理，生活污水经隔油池、化粪池处理 三、噪声 对各种动力设施进行隔声、消声、减振等措施，对废气治理系统进行消声、减振等措施 四、固体废物 1座902.8m2甲类废品库（219）、1座185.32m2SOD 废液库（220）、1座污泥暂存区（205）、1座1030m2废液收集罐（108）用于危废暂存；依托现有1座720m2丙类废品库 2（116D），本项目占地面积380m2，用于一般固废暂存	一、废气 1、酸性废气处理系统：设置 20 套碱液喷淋吸收塔（19 用 1 备），设置 38.9m 排气筒 20根（19 用1备） 2、碱性废气处理系统：设置 4 套一级酸液喷淋吸收塔（3 用 1 备），设置 38.9m 排气筒4根（3 用 1 备） 3、有机废气处理系统：设置 5套（4 用 1备）沸石浓缩转轮焚烧系统（包括石浓缩转轮及焚烧炉），设置 38.9m 排气筒 5根（4 用1备） 4、非含砷工艺尾气处理系统：设置燃烧+水洗式源头处理装置（POU），系统排气并入酸性废气处理系统进行处理，并依托酸性废气排气筒进行排放 5、含砷工艺尾气处理系统：设置干式吸附源头处理装置（POU），再排入 3 套（2 用 1备）含砷工艺尾气吸附装置，处理后经 1 根 38.9m 排气筒排放 6、锅炉烟气排风系统：设置 34.3m 排气筒4根（3用 1 备） 7、废水处理站：设置酸液喷淋洗涤塔及碱液喷淋洗涤塔各 2 套，处理后的废气经 1 根40m排气筒排放 二、废水 ****公司****处理站（研磨废水处理系统：混凝沉淀、含铜研磨废水处理系统：混凝沉淀+多介质过滤器、氨氮废水处理系统：两级吹脱+一级硫酸吸收、有机废水处理系统（不可回收段）：两级‘缺氧+好氧’+膜生物反应器、BOE 废水处理系统：两级吹脱+一级硫酸吸收、HP/IPA废水处理系统：两级 CaCl2 混凝沉淀+AOAO+MBR、TMAH 废水处理系统：气浮+AOAO+MBR、氢氟废水处理系统：两级 CaCl2 混凝沉淀、DSP废水处理系统：催化分解+CaCl2混凝沉淀、最终中和处理系统：三级酸碱中和）处理，生活污水经隔油池、化粪池处理 三、噪声 对各种动力设施进行隔声、消声、减振等措施，对废气治理系统进行消声、减振等措施 四、固体废物 1座500m2甲类废品库（219）、1座185.32m2SOD 废液库（220）、1个26.5m3含铜污泥泥斗、1座1030m2废液收集罐（108）、1座70m2SOD收集间、1座80m2危废暂存库（216）用于危废暂存；依托现有1座720m2丙类废品库 2（116D），本项目占地面积380m2，3个26.5 m3含氟含磷污泥泥斗、3个12 m3有机污泥泥斗，用于一般固废暂存
1、原环评批建碱性废气处理系统为两级酸液喷淋吸收塔，项目实施过程中，为节省厂房楼顶占用面积，并充分考虑废气处理系统的技术经济可行性，项目对碱性废气处理系统设进行了深度设计，并对喷淋塔参数进行了调整。将碱性废气处理系统中不影响氨处理效率的第一段除雾段取消，以减小设备尺寸(由原规划的“8.2×4×3.4m”调整为“5.9×4×3.4m”)，其他喷淋塔设计参数均不发生改变，即：总风量(120000m3/h)、喷淋塔中总的喷淋头数量(4排，一排8个喷淋头，合计32个喷淋头)及布设方式均不发生变化，同时喷淋塔循环水量亦保持190m3/h、填料层总厚度维持2.5m不变，废气处理效率不低于环评核定值。根据《****12英****基地二期项目碱性废气处理系统变更不属于重大变动论证报告》，对照《污染影响类建设项目重大变动清单(试行)》(环办环评函(2020)688号)，上述变动不属于“重大变动”，可作为下一步工作开展的依据 2、原环评批建21套酸性废气处理系统（19用2备）、5套碱性废气处理系统（3用2备）和6套有机废气处理系统（4用2备），实际建设过程中，每套废气处理系统1套备用留待下阶段建设。实际建设的废气处理系统满足一阶段生产需要 3、实际建设过程中，刻蚀工序产生的含氟废水中H2O2和硫酸量较大，新增1套DSP废水处理系统处理此类废水；为提高废水处理效果，HP/IPA废水处理系统新增除COD段，工艺采用AOAO+MBR，用于有机废水处理；原环评批建1套TMAH废水处理系统，工艺采用混凝沉淀+气浮工艺，实际建设过程中工艺由混凝沉淀改为AOAO+MBR；其他废水处理工艺与原环评一致，由于本项目为阶段性验收，各废水预处理设施处理规模变动后，满足一阶段生产需要 4、原环评建设4座危废暂存库和依托现有1座一般固废库，现为了分区贮存，增加1座危废暂存库（216）（占地80 m2）用于储存废异丙醇等危废，增加1座SOD收集间（占地70 m2）用于SOD废液的收集；原用来存放危废的污泥暂存间，由****生产需要，污泥存放在相应泥斗中，产生即清运，不在库内暂存；原环评**的甲类废品库（219）占地面积902.8m2，由于分区贮存及缩短危废的储存周期，甲类废品库（219）占地面积减小至500m2。综上，危废总占地面积减小，同时缩短危废的储存周期，满足本阶段固废暂存的需要

其他

环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

事故应急池：总有效容积为 10000m3，用于暂存事故废水；同时设计消防废水收集池一个总容积不低于 1900m3。	事故应急池：厂区建设4228/4828/3028/4341/558m3事故应急池各1个，2个448m3事故应急池，总有效容积合计17879m3。同时建设消防废水收集池1个总容积 2199m3。
原环评批建事故应急池总有效容积为 10000m3，消防废水收集池一个总容积不低于 1900m3。实际建设过程中，厂区建设4228/4828/3028/4341/558m3事故应急池各1个，2个448m3事故应急池，总有效容积合计17879m3。同时建设消防废水收集池1个总容积 2199m3，风险防范措施增强

3、污染物排放量

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况

1	****公司****处理站（3700m3/d研磨废水处理系统：混凝沉淀、720m3/d含铜研磨废水处理系统：混凝沉淀+多介质过滤器、2880m3/d氨氮废水处理系统：两级吹脱+一级硫酸吸收、10080m3/d有机废水处理系统（不可回收段）：两级‘缺氧+好氧’+膜生物反应器、720m3/dBOE 废水处理系统：两级吹脱+一级硫酸吸收、2400m3/dHP/IPA废水处理系统：两级 CaCl2 混凝沉淀+AOAO+MBR、600m3/dTMAH 废水处理系统：气浮+AOAO+MBR、7680m3/d氢氟废水处理系统：两级 CaCl2 混凝沉淀、600m3/dDSP废水处理系统：催化分解+CaCl2混凝沉淀、最终中和处理系统：三级酸碱中和）处理，生活污水经隔油池、化粪池处理	厂区废水总排口COD、BOD5、NH3-N、SS、TP（以 P 计）、TN 及 pH ****处理厂接管标准要求；TOC及 LAS 执行《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）表 1 标准要求；氟化物参照执行《**省地方标准 半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表 1 中特别排放限值要求；氯化物执行《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015) B 等级标准；动植物油执行《污水综合排放标准》(GB 8978-1996)表 4 三级标准要求，总铜标准从严，执行《半导体行业水污染物排放标准》（DB34/4294-2022）表2间接排放标准	****公司****处理站（3700m3/d研磨废水处理系统：混凝沉淀、720m3/d含铜研磨废水处理系统：混凝沉淀+多介质过滤器、2880m3/d氨氮废水处理系统：两级吹脱+一级硫酸吸收、10080m3/d有机废水处理系统（不可回收段）：两级‘缺氧+好氧’+膜生物反应器、720m3/dBOE 废水处理系统：两级吹脱+一级硫酸吸收、2400m3/dHP/IPA废水处理系统：两级 CaCl2 混凝沉淀+AOAO+MBR、600m3/dTMAH 废水处理系统：气浮+AOAO+MBR、7680m3/d氢氟废水处理系统：两级 CaCl2 混凝沉淀、600m3/dDSP废水处理系统：催化分解+CaCl2混凝沉淀、最终中和处理系统：三级酸碱中和）处理，生活污水经隔油池、化粪池处理	验收监测期间： 研磨废水处理系统：进水浓度pH7.1~7.56（无量纲）、悬浮物40~50mg/L，出水浓度pH4.6~5（无量纲）、悬浮物21~30mg/L，悬浮物处理效率为29%~52%； 含铜研磨废水处理系统：进水浓度pH4.7~5（无量纲）、悬浮物50~67mg/L、铜1.25×103~1.28×103 mg/L，出水浓度pH5.1~5.6（无量纲）、悬浮物20~27mg/L、铜0.296~0.339 mg/L，悬浮物处理效率为48%~68%、铜处理效率为99.97%~99.98%； 氨氮废水处理系统：进水浓度pH8.4~8.7（无量纲）、氨氮17.3~21.2mg/L、总氮42.4~52.1 mg/L，出水浓度pH10.4~10.7（无量纲）、氨氮12.4~15.4mg/L、总氮24.8~29 mg/L，氨氮处理效率为22%~33%、总氮处理效率为35%~48%； 有机废水处理系统：进水浓度pH8.2~8.7（无量纲）、化学需氧量8.12×103~8.21×103mg/L、生化需氧量2.15×103~2.30×103 mg/L、悬浮物60~69mg/L、氨氮21.1~31.5mg/L、总氮57.1~66.2mg/L、总有机碳882~978mg/L，出水浓度pH7.3~7.6（无量纲）、化学需氧量74~80mg/L、生化需氧量18.1~20.1 mg/L、悬浮物21~26mg/L、氨氮12.9~21.5mg/L、总氮21.7~26.9mg/L、总有机碳26.8~50.4mg/L，处理效率为化学需氧量99.03%~99.09%、生化需氧量99.07%~99.21%、悬浮物59%~69%、氨氮26%~48%、总氮58%~62%、总有机碳95%~97%； HF/IPA废水处理系统（除COD段）：进水浓度pH8.4~8.7（无量纲）、化学需氧量306~353mg/L、生化需氧量90.1~100mg/L、悬浮物43~68mg/L、氨氮43.2~57.5mg/L、总氮54.7~72.6mg/L、总有机碳718~996mg/L、氟化物1.46~5.4mg/L、总磷7.99~8.23mg/L，出水浓度pH6.5~6.8（无量纲）、化学需氧量58~76mg/L、生化需氧量15.1~17.1 mg/L、悬浮物18~23mg/L、氨氮17.2~21.3mg/L、总氮27.5~37.9mg/L、总有机碳123~170mg/L、氟化物1.44~1.79mg/L、总磷1.08~1.12mg/L，处理效率为化学需氧量75%~84%、生化需氧量81%~84%、悬浮物56%~74%、氨氮52%~69%、总氮38%~56%、总有机碳81%~88%、氟化物-23%~72%、总磷86%~87%； HF/IPA废水处理系统（除氟段）：进水浓度氟化物1.70×103~2.02×103mg/L，出水浓度氟化物0.69~0.86mg/L，处理效率为氟化物99.95%~99.97%； BOE废水处理系统：进水浓度pH4.1~4.5（无量纲）、氨氮15.3~18.7mg/L、总氮30.5~37.7，出水浓度pH9.4~9.7（无量纲）、氨氮8.28~11.7mg/L、总氮17.7~22.10 mg/L，处理效率为氨氮33%~48%、总氮31%~52%； 氢氟废水处理系统：进水浓度pH0.6~0.8（无量纲）、悬浮物71~80mg/L、氟化物695~776 mg/L、总磷8.12~8.21 mg/L，出水浓度pH5.4~5.8（无量纲）、悬浮物13~25mg/L、氟化物5.9~6.33 mg/L、总磷0.11~0.12 mg/L，处理效率为悬浮物67%~82%、氟化物99.09%~99.24%、总磷98.52%~98.66%； DSP废水处理系统：进水浓度pH0.7~1（无量纲）、悬浮物66~79mg/L、氟化物273~320 mg/L、总磷0.4~0.42 mg/L，出水浓度pH4.5~4.8（无量纲）、悬浮物32~40mg/L、氟化物6.84~7.15 mg/L、总磷0.22~0.23mg/L，处理效率为悬浮物47%~57%、氟化物97.38%~97.78%、总磷43%~46%； TMAH废水处理系统：进水浓度pH 9.5~9.8（无量纲）、悬浮物50~59mg/L、化学需氧量310~318 mg/L，出水浓度pH 6.5~6.8（无量纲）、悬浮物21~40mg/L、化学需氧量80~87 mg/L，处理效率为悬浮物30%~63%、化学需氧量72%~75%； 最终中和废水处理系统：进水浓度pH 6.1~6.5（无量纲）、化学需氧量102~112mg/L、生化需氧量27.1~29.1mg/L、悬浮物41~60mg/L、氨氮16~20.9mg/L、总磷0.17~0.19 mg/L、总氮28.1~43.1mg/L、动植物油0.06~0.20 mg/L、总有机碳28~33mg/L、铜ND、LAS 7.279~8.51 mg/L、氟化物2.49~2.71mg/L、氯化物1.44×103~1.64×103mg/L，出水浓度pH 6.5~6.8（无量纲）、化学需氧量29~35mg/L、生化需氧量7.1~8.1mg/L、悬浮物18~30mg/L、氨氮8.73~11.3mg/L、总磷0.17~0.18 mg/L、总氮18.7~28.4mg/L、动植物油0.07~0.12mg/L、总有机碳6.7~8.4mg/L、铜ND、LAS 1.256~1.454 mg/L、氟化物3.56~3.76mg/L、氯化物919~945mg/L，处理效率为化学需氧量66%~74%、生化需氧量71%~76%、悬浮物27%~65%、氨氮41%~50%、总磷-6%~11%、总氮19%~42%、动植物油-50%~60%、总有机碳71%~79%、LAS 80%~85%、氟化物-47%~-37%、氯化物35%~44%； 根据复测结果： 最终中和处理系统：进水浓度氟化物2.88~7.43mg/L、氯化物1.73×103~2.04×103 mg/L，出水浓度氟化物2.19~3.15mg/L、氯化物612~705 mg/L，处理效率为氟化物6%~59%、氯化物64%~66%；

表2 大气污染治理设施

序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况

1	1、酸性废气处理系统：设置 20 套碱液喷淋吸收塔（19 用 1 备），设置 38.9m 排气筒 20根（19 用1备） 2、碱性废气处理系统：设置 4 套一级酸液喷淋吸收塔（3 用 1 备），设置 38.9m 排气筒4根（3 用 1 备） 3、有机废气处理系统：设置 5套（4 用 1备）沸石浓缩转轮焚烧系统（包括石浓缩转轮及焚烧炉），设置 38.9m 排气筒 5根（4 用1备） 4、非含砷工艺尾气处理系统：设置燃烧+水洗式源头处理装置（POU），系统排气并入酸性废气处理系统进行处理，并依托酸性废气排气筒进行排放 5、含砷工艺尾气处理系统：设置干式吸附源头处理装置（POU），再排入 3 套（2 用 1备）含砷工艺尾气吸附装置，处理后经 1 根 38.9m 排气筒排放 6、锅炉烟气排风系统：设置 34.3m 排气筒4根（3用 1 备） 7、废水处理站：设置酸液喷淋洗涤塔及碱液喷淋洗涤塔各 2 套，处理后的废气经 1 根40m排气筒排放	氟化物、氯化氢、氯气、NOx、颗粒物、硫酸雾、氨、TVOC、非甲烷总烃、异丙醇、砷化氢、磷化氢参照执行《**省地方标准 半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表 3及表 4中限值，SO2 执行《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表 2 的二级标准；锅炉烟气中 NOx 执行《**市燃气锅炉(设施)低氮改造工作方案》（合达办(2019) 13 号文）中“30mg/m3”要求、SO2 及烟尘执行《锅炉大气污染物排放标准》（GB13271-2014）表3中燃气锅炉特别排放限值；污水处理站氨、硫化氢、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1及表2中标准值	1、酸性废气处理系统：设置 20 套碱液喷淋吸收塔（19 用 1 备），设置 38.9m 排气筒 20根（19 用1备） 2、碱性废气处理系统：设置 4 套一级酸液喷淋吸收塔（3 用 1 备），设置 38.9m 排气筒4根（3 用 1 备） 3、有机废气处理系统：设置 5套（4 用 1备）沸石浓缩转轮焚烧系统（包括石浓缩转轮及焚烧炉），设置 38.9m 排气筒 5根（4 用1备） 4、非含砷工艺尾气处理系统：设置燃烧+水洗式源头处理装置（POU），系统排气并入酸性废气处理系统进行处理，并依托酸性废气排气筒进行排放 5、含砷工艺尾气处理系统：设置干式吸附源头处理装置（POU），再排入 3 套（2 用 1备）含砷工艺尾气吸附装置，处理后经 1 根 38.9m 排气筒排放 6、锅炉烟气排风系统：设置 34.3m 排气筒4根（3用 1 备） 7、废水处理站：设置酸液喷淋洗涤塔及碱液喷淋洗涤塔各 2 套，处理后的废气经 1 根40m排气筒排放	（1）验收监测期间： DA001排气筒出口颗粒物实测浓度1.8~2.5mg/m3、折算浓度1.9~2.7mg/m3、速率5.62×10-3~7.61×10-3kg/h，二氧化硫实测浓度ND、折算浓度ND、速率ND，氮氧化物实测浓度31~36mg/m3、折算浓度33~38mg/m3、速率为8.43×10-2~0.11kg/h，烟气黑度＜1； DA002排气筒出口颗粒物实测浓度2.1~2.7mg/m3、折算浓度2.2~3.1mg/m3、速率5.61×10-3~9.02×10-3kg/h，二氧化硫实测浓度ND、折算浓度ND、速率ND，氮氧化物实测浓度14~28mg/m3、折算浓度19~30mg/m3、速率为5.49×10-2~0.104kg/h，烟气黑度＜1； DA003排气筒出口颗粒物实测浓度2.7~4.8mg/m3、折算浓度2.9~5.3mg/m3、速率6.29×10-3~1.17×10-2kg/h，二氧化硫实测浓度ND~4mg/m3、折算浓度ND~4mg/m3、速率ND~1.02×10-2kg/h，氮氧化物实测浓度4~20mg/m3、折算浓度4~22mg/m3、速率为1.27×10-2~6.16×10-2kg/h，烟气黑度＜1； DA004排气筒出口颗粒物实测浓度1.4~2.3mg/m3、折算浓度1.5~2.5mg/m3、速率3.63×10-3~7.92×10-3kg/h，二氧化硫实测浓度ND、折算浓度ND、速率ND，氮氧化物实测浓度6~27mg/m3、折算浓度6~29mg/m3、速率为1.93×10-2~8.63×10-2kg/h，烟气黑度＜1； DA1-005排气筒出口颗粒物浓度1.8~2.4mg/m3、速率0.222~0.297kg/h，二氧化硫浓度ND、速率ND，氮氧化物浓度ND~15mg/m3、速率为ND~1.89kg/h，氯气浓度0.9~2.2mg/m3、速率0.112~0.273kg/h，氯化氢浓度0.38~1.68mg/m3、速率4.70×10-2~0.212kg/h，硫酸雾浓度0.31~0.85mg/m3、速率3.83×10-2~0.105kg/h，氨浓度1.22~1.53mg/m3、速率0.152~0.188kg/h，氟化物浓度1.03~2.81mg/m3、速率0.125~0.345kg/h； DA1-007排气筒出口颗粒物浓度1.7~2.9mg/m3、速率0.174~0.296kg/h，二氧化硫浓度ND、速率ND，氮氧化物浓度18~21mg/m3、速率为1.82~2.14kg/h，氯气浓度0.4~1.1mg/m3、速率4.08×10-2~0.112kg/h，氯化氢浓度0.57~4.76mg/m3、速率5.78×10-2~0.486kg/h，硫酸雾浓度0.41~0.67mg/m3、速率4.16×10-2~6.79×10-2kg/h，氨浓度1.25~1.49mg/m3、速率0.127~0.151kg/h，氟化物浓度0.48~1.1mg/m3、速率4.94×10-2~0.112kg/h； DA1-008排气筒出口颗粒物浓度2.4~5.6mg/m3、速率0.224~0.568kg/h，二氧化硫浓度ND、速率ND，氮氧化物浓度ND~10mg/m3、速率为ND~1.01kg/h，氯气浓度1.2~2mg/m3、速率0.122~0.187kg/h，氯化氢浓度ND~0.55mg/m3、速率ND~5.14×10-2kg/h，硫酸雾浓度ND、速率ND，氨浓度0.64~1.66mg/m3、速率5.98×10-2~0.167kg/h，氟化物浓度0.92~1.37mg/m3、速率8.63×10-2~0.138kg/h； DA1-009排气筒出口颗粒物浓度1.3~5.4mg/m3、速率3.2×10-2~0.666kg/h，二氧化硫浓度ND、速率ND，氮氧化物浓度ND~9mg/m3、速率为ND~1.16kg/h，氯气浓度0.7~1.3mg/m3、速率8.99×10-2~0.176kg/h，氯化氢浓度ND~3.31mg/m3、速率ND~0.408kg/h，硫酸雾浓度ND~0.48mg/m3、速率ND~6×10-2kg/h，氨浓度0.83~1.72mg/m3、速率0.106~0.239kg/h，氟化物浓度0.7~2.08mg/m3、速率9.16×10-2~0.264kg/h； DA1-010排气筒出口颗粒物浓度1.6~5.1mg/m3、速率0.142~0.514kg/h，二氧化硫浓度ND、速率ND，氮氧化物浓度ND~5mg/m3、速率为ND~0.497kg/h，氯气浓度0.5~1.0mg/m3、速率4.45×10-2~9.17×10-2kg/h，氯化氢浓度0.35~0.74mg/m3、速率3.48×10-2~6.60×10-2kg/h，硫酸雾浓度0.21~0.98mg/m3、速率1.95×10-2~9.14×10-2kg/h，氨浓度1.1~1.81mg/m3、速率9.79×10-2~0.182kg/h，氟化物浓度0.98~2.44mg/m3、速率8.73×10-2~0.248kg/h； DA1-012排气筒出口颗粒物浓度2.9~6.3mg/m3、速率0.274~0.563kg/h，二氧化硫浓度ND、速率ND，氮氧化物浓度ND~56mg/m3、速率为ND~4.8kg/h，氯气浓度1.2~1.9mg/m3、速率0.115~0.17kg/h，氯化氢浓度ND~0.46mg/m3、速率ND~4.39×10-2kg/h，硫酸雾浓度0.22~0.56mg/m3、速率1.84×10-2~4.73×10-2kg/h，氨浓度0.79~1.09mg/m3、速率7.54×10-2~9.75×10-2kg/h，氟化物浓度0.84~1.03mg/m3、速率7.08×10-2~9.17×10-2kg/h； DA1-013排气筒出口颗粒物浓度1.4~2.1mg/m3、速率0.148~0.239kg/h，二氧化硫浓度ND、速率ND，氮氧化物浓度ND~5mg/m3、速率为ND~0.519kg/h，氯气浓度0.9~1.6mg/m3、速率9.69×10-2~0.169kg/h，氯化氢浓度ND~5.35mg/m3、速率ND~0.576kg/h，硫酸雾浓度ND~1.29mg/m3、速率ND~0.144kg/h，氨浓度0.53~1.21mg/m3、速率5.99×10-2~0.13kg/h，氟化物浓度1.13~2.7mg/m3、速率0.127~0.314kg/h； DA1-014排气筒出口颗粒物浓度2.1~3.6mg/m3、速率0.192~0.352kg/h，二氧化硫浓度ND~3mg/m3、速率ND~0.275kg/h，氮氧化物浓度ND~20mg/m3、速率为ND~1.83kg/h，氯气浓度0.4~1.8mg/m3、速率3.94×10-2~0.165kg/h，氯化氢浓度ND~2.51mg/m3、速率ND~0.265kg/h，硫酸雾浓度ND~0.94mg/m3、速率ND~8.63×10-2kg/h，氨浓度0.49~0.83mg/m3、速率4.49×10-2~8.18×10-2kg/h，氟化物浓度0.88~1.4mg/m3、速率9.49×10-2~0.136kg/h； DA1-017排气筒出口颗粒物浓度1.5~3.1mg/m3、速率0.133~0.33kg/h，二氧化硫浓度ND、速率ND，氮氧化物浓度ND、速率为ND，氯气浓度0.8~1.9mg/m3、速率7.04×10-2~0.202kg/h，氯化氢浓度ND~1mg/m3、速率ND~0.109kg/h，硫酸雾浓度0.44~2.06mg/m3、速率4.45×10-2~0.157kg/h，氨浓度1.88~2.49mg/m3、速率0.143~0.261kg/h，氟化物浓度0.44~1.48mg/m3、速率4.76×10-2~0.141kg/h； DA1-018排气筒出口颗粒物浓度1.7~2.6mg/m3、速率0.184~0.289kg/h，二氧化硫浓度ND、速率ND，氮氧化物浓度ND、速率为ND，氯气浓度1.1~1.6mg/m3、速率0.122~0.173kg/h，氯化氢浓度0.65~1.43mg/m3、速率7.23×10-2~0.155kg/h，硫酸雾浓度1.23~1.75mg/m3、速率0.136~0.195kg/h，氨浓度1.02~1.66mg/m3、速率0.113~0.185kg/h，氟化物浓度1.12~1.48mg/m3、速率0.124~0.16kg/h； DA1-025排气筒出口氨浓度0.92~2.02mg/m3、速率6.35×10-2~0.148kg/h； DA1-026排气筒出口氨浓度1.25~1.82mg/m3、速率8.99×10-2~0.133kg/h； DA1-027排气筒出口氨浓度1.33~2.21mg/m3、速率9.69×10-2~0.154kg/h； DA1-029排气筒出口颗粒物浓度1.6~2.3mg/m3、速率0.134~0.189kg/h，二氧化硫浓度ND、速率ND，氮氧化物浓度ND~6mg/m3、速率为ND~0.503kg/h，非甲烷总烃浓度2.1~2.64mg/m3、速率0.173~0.222kg/h，异丙醇浓度ND、速率ND； DA1-030排气筒出口颗粒物浓度1.7~5.2mg/m3、速率7.81×10-2~0.237kg/h，二氧化硫浓度ND、速率ND，氮氧化物浓度ND~6mg/m3、速率为ND~0.277kg/h，非甲烷总烃浓度2.31~3.88mg/m3、速率0.107~0.178kg/h，异丙醇浓度ND、速率ND； DA1-031排气筒出口颗粒物浓度1.5~2.6mg/m3、速率0.109~0.196kg/h，二氧化硫浓度ND~3mg/m3、速率ND~0.227kg/h，氮氧化物浓度ND~46mg/m3、速率为ND~3.48kg/h，非甲烷总烃浓度1.78~4.7mg/m3、速率0.133~0.355kg/h，异丙醇浓度ND、速率ND； DA1-032排气筒出口颗粒物浓度2.9~8.7mg/m3、速率0.11~0.312kg/h，二氧化硫浓度ND、速率ND，氮氧化物浓度ND~9mg/m3、速率为ND~0.335kg/h，非甲烷总烃浓度1.22~3.48mg/m3、速率4.45×10-2~0.131kg/h，异丙醇浓度ND、速率ND； DA1-035排气筒出口砷浓度0.1~0.6mg/m3、速率2.71×10-7~1.78×10-6kg/h，氯化氢浓度ND~0.49mg/m3、速率为ND~1.58×10-3kg/h，气态总磷浓度ND、速率ND，氟化物浓度1.15~2.08mg/m3、速率3.13×10-3~6.62×10-3kg/h； DA1-036排气筒出口砷浓度0.2~0.6mg/m3、速率7.93×10-7~2.52×10-6kg/h，氯化氢浓度ND~0.55mg/m3、速率为ND~8.70×10-3kg/h，气态总磷浓度ND、速率ND，氟化物浓度1.84~2.37mg/m3、速率7.29×10-3~9.40×10-3kg/h； DA034排气筒出口氨浓度0.99~1.28mg/m3、速率7.76×10-2~0.109kg/h，硫化氢浓度0.214~0.276mg/m3、速率为1.58×10-2~2.27×10-3kg/h，臭气浓度229~309（无量纲）； 根据复测结果： DA001排气筒出口氮氧化物实测浓度22~27mg/m3、折算浓度23~28mg/m3、速率为5.33×10-2~5.70×10-2kg/h； DA002排气筒出口氮氧化物实测浓度22~25mg/m3、折算浓度23~27mg/m3、速率为4.84×10-2~0.116kg/h； DA1-005排气筒出口氟化物浓度0.34~0.81mg/m3、速率为3.36×10-2~7.88×10-2kg/h； DA1-009排气筒出口氟化物浓度0.3~0.7mg/m3、速率为2.32×10-2~5.56×10-2kg/h； DA1-010排气筒出口氟化物浓度0.34~0.54mg/m3、速率为2.43×10-2~3.89×10-2kg/h； DA1-012排气筒出口氮氧化物浓度4~6mg/m3、速率为0.358~0.501kg/h； DA1-013排气筒出口氟化物浓度0.22~0.55mg/m3、速率为1.62×10-2~4.71×10-2kg/h； DA1-035排气筒出口氟化物浓度1.23~1.45mg/m3； DA1-036排气筒出口氟化物浓度1.15~1.44mg/m3； （2）验收监测期间，厂界氟化物浓度为1.03×10-2~1.25×10-2mg/m3，非甲烷总烃浓度为 1.21~1.68mg/m3，氨浓度为ND~0.04mg/m3，硫化氢浓度为ND，臭气浓度为ND，硫酸雾浓度为0.011~0.143mg/m3，氯化氢浓度为0.028~0.596mg/m3， 根据复测结果： 厂界氯化氢浓度为0.019~0.1mg/m3。

表3 噪声治理设施

序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况

1	对各种动力设施进行隔声、消声、减振等措施，对废气治理系统进行消声、减振等措施	运营期项目厂界噪声排放执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准	对各种动力设施进行隔声、消声、减振等措施，对废气治理系统进行消声、减振等措施	验收监测期间，厂界噪声昼间监测值51~56dB（A），夜间噪声监测值42~48 dB（A）

表4 地下水污染治理设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求

1	重点防渗区：芯片生产厂房(201A、201B)、动力厂房-1楼池体、甲类仓库(211A~211C)、乙类仓库(221)、甲类冷藏库(214A、214B)、废水处理站、地下雨水收集池、油罐区、发电机房、危险化学品库、污水监测站、废液库(220)、污水处理站的污泥暂存区、甲类废品库(219)； 一般防渗区：丙类废品库2 116D； 简单防渗区：丙类仓库(215A、215B)、大宗特气站(209)、动力厂房1F地面、硅烷库(212A~212C)、硅烷站(210A~210C)。	重点防渗区：芯片生产厂房(201A)、动力厂房-1楼池体、甲类仓库(211A~211C)、乙类仓库(221)、甲类冷藏库(214A、214B)、废水处理站、地下雨水收集池、油罐区、发电机房、危险化学品库、污水监测站、废液库(220)、SOD收集间、甲类废品库(219)、危废暂存库（216）； 一般防渗区：丙类废品库2 116D； 简单防渗区：丙类仓库(215A、215B)、大宗特气站(209)、动力厂房1F地面、硅烷库(212A~212C)、硅烷站(210A~210C)。

表5 固废治理设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求

1	按规范设置单独的危废临时贮存场所，项目产生的危险废物应按照《危险废物贮存污染控制标准》集中收集、贮存，定期送有资质的危废处置单位处理；一般固废进行分类收集、处置；生活垃圾委托环卫部门清运。	按规范设置单独的危废临时贮存场所，分别设置1座500m2甲类废品库（219）、1座185.32 m2SOD废液库（220）、1座1030 m2废液收集罐（108）、1间70 m2SOD收集间、1座80 m2危废暂存库（216），危险废物废硫酸委托****、**超越****公司处置，废磷酸委托****公司处置，废氢氟酸委托蚌****公司、**浩悦****公司处置，废硝酸、废刻蚀缓冲液委托**浩悦****公司、**超越****公司处置，废异丙醇委托瑞环****公司、****公司处置，废 SOD、抹布/手套等（**学物质清洗杂物等）、废过滤芯委托******公司、**省****公司处置，废光阻、废剥离液委托******公司、****公司处置，废硫酸铜溶液、含铜污泥委托**省****公司、******公司处置，废矿物油委托******公司处置，废离子交换树脂委托有资质单位处置，废灯管委托**省****公司处置，废化学品容器委托**省****公司、****公司、**嘉朋特****公司处置，废铅酸电池\镉电池（UPS 系统）委托******公司处置，在线仪表药剂废液委托**省****公司处置（污泥在泥斗中贮存，产生及清运）；一般固废废芯片、废研磨垫、废空气净化系统过滤滤芯、****回收站回收，含氟含磷废水处理系统污泥、有机废水处理系统污泥、交由**爱****公司、香农新材料****公司处置，硫酸铵废液交由**爱****公司、****公司处置，废靶材、废铜电极由生产厂商回收，废活性炭****处理厂商回收；生活垃圾和化粪池污泥由市政环卫清运。

表6 生态保护设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求

1	项目应加强环境保护管理，落实环境保护的各项应急措施及制度，加强风险管理，提高企业的清洁生产水平。有关本项目的污染物排放总量控制及其他环境影响减缓措施，按环评报告要求认真落实	厂区建设4228/4828/3028/4341/558m3事故应急池各1个，2个448m3事故应急池，总有效容积合计17879m3。并继续加强环境保护管理，落实环境保护的各项应急措施及制度，加强风险管理，提高企业的清洁生产水平。有关本项目的污染物排放总量控制及其他环境影响减缓措施，按环评报告要求认真落实。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程

环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：

本项目依托现有工程的甲类仓库 1（116A）、丙类废品库 2（116D）	本项目依托现有工程的甲类仓库 1（116A）、丙类废品库 2（116D）
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环保搬迁

环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：

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区域削减

环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：

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生态恢复、补偿或管理

环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：

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功能置换

环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：

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其他

环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：

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6、工程建设对项目周边环境的影响

地表水是否达到验收执行标准： 地下水是否达到验收执行标准： 环境空气是否达到验收执行标准： 土壤是否达到验收执行标准： 海水是否达到验收执行标准： 敏感点噪声是否达到验收执行标准：

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7、验收结论